Yarı İletken Üretimi için Premium SiC Silindir Çubukları | KEGU
Koreli bir yarı iletken malzeme lideri, yüksek sıcaklıklı fırınlarında (1600°C+) kritik sorunlarla karşılaştı:
- Boyutsal Kararsızlık: Geleneksel alümina silindir çubukları yüksek sıcaklıklarda deforme olur ve alt tabakanın yanlış hizalanmasına ve verim kaybına neden olur.
- Korozyon Arızaları: Yarı iletken üretimindeki agresif yan ürünler (örn. HCl, Cl₂) alümina çubukları aşındırır ve her 3 ayda bir değiştirilmesini gerektirir.
- Kesinti Maliyetleri: Sık yapılan bakımlar üretimi durdurdu ve bu durumAyda 120.000 USD zarar.
- Hassas yarı iletken alt tabakalar için katı termal kararlılık gereksinimlerini karşılayamama.
- Aşındırıcı ortamlarda bileşenlerin kısa servis ömrü.
- Planlanmamış kesintilerden kaynaklanan yüksek işletme maliyetleri.
Kegu teslim edildiRulo Ocak Fırınları İçin Özelleştirilmiş Basınçsız Sinterlenmiş SiC Rulo 1650 OC Isıya Dayanıklımüşterinin teknik ve lojistik ihtiyaçlarına göre uyarlanmıştır:
-
Özel Mühendislik
- Boyutlar: 50mm çap * 1200mm uzunluk, müşterinin fırın geometrisine göre optimize edilmiştir.
- Yüzey İşlemi: Substrat kaplama sırasında çamurun yapışmasını önlemek için Ra ≤ 0,8μm'ye kadar cilalanmıştır.
-
Performans Geliştirmeleri
SSiC silindir bileşenlerigösterdi:
- 1650°C'ye kadar stabil çalışma,
- yüksek yük kapasitesi,
- ve HCl içeren ortamlarda önemli ölçüde geliştirilmiş korozyon direnci.
-
Tam İzlenebilirlik Sistemi
- İşlenmemiş içerikler: Shaanxi'nin birinci sınıf kuvars madenlerinden elde edilen (SGS sertifikalı) %99,5 saf SiC tozu.
- Üretim Verileri: 2100°C vakum sinterleme (12 saatlik döngü) ve fırın parametrelerinin gerçek zamanlı kayıtları.
- Kalite Güvencesi:
- Dahili: 3 noktalı bükülme testi (mukavemet ≥600 MPa), XRD faz analizi.
- Harici: Kore Test Laboratuvarı (KTL) tarafından kimyasal direnç açısından sertifikalı testler.
- Korece Konuşan Ekip: Kesintisiz iletişim için özel teknik danışmanlar.
- Hızlı Prototipleme: Uyumluluğu doğrulamak için 7 gün içinde ücretsiz numune testi.
- Kısa Teslim Süresi: Sipariş onayından itibaren 3 haftada teslimat.
Kullanmabasınçsız sinterlenmiş silisyum karbür silindirler, yüksek sıcaklıkta yarı iletken işleme koşulları altında hizmet ömrü 3 aydan 24 aya çıkarken kesinti süresi %80 oranında azaldı.
-
Kalite ve Verim İyileştirmeleri
- Yüzey Kusur Oranı %65 Düştü: Tutarlı makaralı çubuk performansı, termal deformasyon sorunlarını ortadan kaldırdı.
- SEMI Standartlarına Uygunluk: Müşterinin Kore'deki önde gelen yonga üreticilerine (örneğin Samsung Electronics) tedarik sağlamasına olanak sağlandı.
-
Stratejik Ortaklık
- Sipariş Hacmi %300 Arttı: Güvenilirlik ve veri şeffaflığı sayesinde 12 ay içinde.
- Ortak Ar-Ge Projeleri: 5G yarı iletken üretimi için yeni nesil SiC bileşenleri üzerinde işbirliği yapıyoruz.
| Parametre | Kegu SiC Makaralı Çubuklar | Geleneksel Alümina Çubuklar |
|---|---|---|
| Maksimum Servis Sıcaklığı | 1650°C | 1400°C |
| Korozyon Hızı (HCl) | <0,01 mm/yıl | 0,5 mm/yıl |
| Servis Ömrü | 24+ ay | 3 ay |
| Birim Başına Maliyet (USD) | 1.800$ | 600 $ (sık değiştirmelerle) |
Basınçsız sinterlenmiş silisyum karbür (SSiC) silindirler aşağıdaki alanlarda yaygın olarak kullanılır:
- yarı iletken termal işlem,
- lityum pil fırınları,
- silindirli ocak fırınları,
- ve yüksek sıcaklıktaki aşındırıcı ortamlar.
Temel avantajlar şunları içerir:
- yüksek termal kararlılık,
- mükemmel korozyon direnci,
- yüksek sıcaklıkta düşük deformasyon,
- ve uzun servis ömrü.
Keşfetmek: