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高性能シリコンカービッド炉部品 極端な温度耐性,優れた機械強度,例外的な熱管理

基本プロパティ
原産地: 中国
ブランド名: KEGU
モデル番号: カスタマイズ可能
取引物件
価格: 200-500 yuan/kg
支払い条件: 信用状、D/A、D/P、T/T、ウェスタンユニオン、マネーグラム
補給能力: 2,000 PC/月
製品概要
シリコンカービード (SiC) 炉の部品 半導体と太陽光発電のためのペドル,ボート,チューブ シリコンカービッド (SiC) 炉部品は 要求の高い半導体と太陽光発電の製造プロセスに 先進的な陶器ソリューションを提供します1900°Cまでの極端な温度に耐えるように設計された高純度な部品は 優れた耐熱性があり 特殊な機械的強度があります汚染のない性能 - 伝統的なクォーツ代替品と比較して,大幅に長い使用寿命とより高い出力を提供します. 主要製品ラインとアプリケーション シリコンパドル:拡散プロセス用 頑丈なワッフルボートホルダー シ・Cボート:シークレット半導体製造におけるボロン/リンゴ拡散用のウ...

製品詳細

ハイライト:

炭化ケイ素セラミックス焼成炉

,

85% Sic パドル

,

85% Sic チューブ

Material: sic
Composition:SiC: >85%
Color:
Density: ≥3.0g/cm3
Max. Service Temp: 1380℃
Flexural Strength: 250MPa
製品の説明
シリコンカービード (SiC) 炉の部品 半導体と太陽光発電のためのペドル,ボート,チューブ
シリコンカービッド (SiC) 炉部品は 要求の高い半導体と太陽光発電の製造プロセスに 先進的な陶器ソリューションを提供します1900°Cまでの極端な温度に耐えるように設計された高純度な部品は 優れた耐熱性があり 特殊な機械的強度があります汚染のない性能 - 伝統的なクォーツ代替品と比較して,大幅に長い使用寿命とより高い出力を提供します.
主要製品ラインとアプリケーション
  • シリコンパドル:拡散プロセス用 頑丈なワッフルボートホルダー
  • シ・Cボート:シークレット半導体製造におけるボロン/リンゴ拡散用のウェーファーキャリア
  • シ・C ドラゴン・ウェーファー・ボート高温拡散用専用ホルダー
  • SiCプロセスチューブ:拡散炉システムの重要な部品
Silicon Carbide ceramics furnace components including SiC paddle, tube, plate and boats Close-up view of high-temperature SiC furnace components for semiconductor manufacturing Various SiC furnace components arranged for industrial processing
主要な 技術 的 利点
  • 極端な温度での性能:1900°Cの動作温度で構造的整合性と化学的安定性を維持する
  • 優れた機械特性:高屈強度 (420 MPa まで) は,高熱負荷下で変形を防止する
  • 特殊な熱管理:優れた熱衝撃耐性は,急速な熱サイクルにおける信頼性を保証します
  • 超高純度構造:酸/アルカリ腐食に耐性があり,敏感なプロセスでウエフルの汚染を防ぐ
  • 熱伝導性を最適化する一貫したプロセス結果のための均質な温度分布を保証
技術性能仕様
性能パラメータ ユニット HS-A HS-P HS-XA
穀物 サイズ μm 4から10 4から10 4から10
密度 g/cm3 ≥31 3.0-3 わかった1 >3.1
硬さ (ノップ) kg/mm2 2800 2800 2800
折りたたみ強度 @ RT MPa 385 240 420
圧縮強度 MPa 3900 - 3900
弾性モジュール @ RT GPa 410 400 410
骨折硬さ @ RT MPa*m1/2 8 8 8
最大 動作温度 (空気) °C 1900 1900 1900
熱伝導性 @ RT W/m*K 125.6 110 125.6
主要産業用途
  • 半導体製造:拡散,CVD,高温処理
  • LEDの生産エピタキシアル成長とウエファー加工の応用
  • 太陽光発電光電池分散炉システム
  • 離散電源装置:ボロンとリンゴの拡散プロセス
競争上の利点
  • 品質保証厳格な品質管理は,すべてのバッチで一貫したパフォーマンスを保証します
  • カスタムエンジニアリング:顧客仕様を正確に設定する部品の製造に関する専門知識
  • 信頼性の高い配達:重要なプロジェクトタイムラインを満たすように設計された効率的な生産システム
  • 技術サポート:総合的なアプリケーションエンジニアリングと顧客サービス
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