logo
مرحباً بك في Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

مجداف من كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل مع درجة حرارة خدمة طويلة الأمد تصل إلى 1380 درجة مئوية، وقدرة تحمل عالية وتوافق تمدد حراري فائق للتعامل مع رقاقة أشباه الموصلات

ملخص المنتج
المجاذيف الكابولية من كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل (RBSiC): تم تصميمها بدقة للتعامل مع رقائق أشباه الموصلات في بيئة تصنيع أشباه الموصلات التي تعتمد على الدقة، يجب أن يضمن كل مكون داخل سلسلة معالجة الرقاقات أقصى قدر من الموثوقية وسلامة الأبعاد. تؤثر المجاذيف الكابولية، باعتبارها الواجهة المهمة في ...

تفاصيل المنتج

إبراز:

1380 درجة حرارة راديل كربيد السيليكون المرتبط بالردود

,

راديل كربيد السيليكون المرتبط بالردود

Long-Term Service Temperature: ≥ 1380 درجة مئوية
Density: ≥ 3.02 جم/سم3
Apparent Porosity: ≤ 0.1 ٪
Flexural Strength: 250 ميجا باسكال (20 درجة مئوية)؛ 281 ميجا باسكال (1200 درجة مئوية)
Elastic Modulus: 332 جيجا باسكال (20 درجة مئوية)؛ 300 جيجا باسكال (1200 درجة مئوية)
Thermal Conductivity (1200 °C): 45 واط/م * ك
Coefficient Of Thermal Expansion: 4.5K⁻¹ * 10⁻⁶
Mohs Hardness: 9
Acid & Alkali Resistance: ممتاز
وصف المنتج
المجاذيف الكابولية من كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل (RBSiC): تم تصميمها بدقة للتعامل مع رقائق أشباه الموصلات
في بيئة تصنيع أشباه الموصلات التي تعتمد على الدقة، يجب أن يضمن كل مكون داخل سلسلة معالجة الرقاقات أقصى قدر من الموثوقية وسلامة الأبعاد. تؤثر المجاذيف الكابولية، باعتبارها الواجهة المهمة في أنظمة التحميل الآلية، بشكل مباشر على إنتاجية العملية والإنتاجية وقابلية التوسع. ملكناالمجاذيف الكابولية من كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل (RBSiC).تم تصميمها لتقديم أداء استثنائي في الأماكن الأكثر أهمية - في ظل درجات الحرارة المرتفعة، والدورات الحرارية المتكررة، ومتطلبات النظافة الصارمة.
استقرار فائق من خلال هندسة المواد المتقدمة
يتم تصنيعها عن طريقعملية ربط التفاعل، تحقق مجاذيفنا مزيجًا فريدًا من النقاء العالي ودقة الشكل القريبة من الشبكة والخصائص الميكانيكية الحرارية الاستثنائية. وهذا يجعلها الخيار الأمثل للتطبيقات الصعبة في أنظمة معالجة ونقل الرقاقات الآلية.
بيانات الأداء الرئيسية
ملكية وحدة القيمة / البيانات النموذجية
درجة حرارة الخدمة على المدى الطويل درجة مئوية ≥ 1380
كثافة جم/سم3 ≥ 3.02
المسامية الظاهرة % ≥ 0.1
قوة العاطفة الآلام والكروب الذهنية 250 (20 درجة مئوية)؛ 281 (1200 درجة مئوية)
معامل مرن المعدل التراكمي 332 (20 درجة مئوية)؛ 300 (1200 درجة مئوية)
الموصلية الحرارية (1200 درجة مئوية) ث / م * ك 45
معامل التمدد الحراري ك⁻¹*10⁻⁶ 4.5
صلابة موس - 9
مقاومة الأحماض والقلويات - ممتاز
المزايا الأساسية التي تم تمكينها بواسطة RBSiC
  • استقرار الأبعاد لا مثيل له عند درجة حرارة عالية:يضمن الهيكل المرتبط بالتفاعل الحد الأدنى من التشوه وعدم الزحف تحت الحمل الحراري المستمر، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على تحديد موضع الرقاقة بدقة في عمليات الفرن.
  • قدرة تحمل عالية وصلابة:تدعم قوة الانحناء والمعامل الممتاز أحمال الرقاقات العالية بشكل موثوق، مما يتيح معالجة مستقرة في بيئات معالجة الدفعات.
  • الأمثل للأتمتة الروبوتية:تم تصميمه للتكامل السلس في منافذ التحميل الآلية، وروبوتات النقل، وأنظمة المناولة، مما يضمن التشغيل السلس والقابل للتكرار وتقليل الجسيمات.
  • مطابقة التمدد الحراري الفائق:يتطابق معامل التمدد الحراري (CTE) المصمم بشكل وثيق مع معامل التمدد الحراري لرقائق السيليكون وأنابيب أفران الكوارتز، مما يقلل من الإجهاد الحراري ومخاطر عدم المحاذاة في عمليات مثل LPCVD والانتشار والتليين.
تحويل قابلية التوسع في العمليات والكفاءة التشغيلية
يتيح دمج مجاذيف RBSiC الكابولية لدينا تحقيق تقدم ملموس في كل من القدرة العملية والاقتصاد الرائع:
  • تمكين معالجة الرقاقات الأكبر حجمًا في الأدوات الموجودة:يسمح الاستقرار الاستثنائي للقطاعات العرضية بتعديل أنابيب الفرن الموجودة بشكل موثوق لمعالجة أقطار الرقاقات الأكبر، مما يطيل دورة حياة المعدات الرأسمالية.
  • تقليل تلوث الجسيمات:تعمل الكثافة العالية والسطح الأملس على تقليل توليد الجسيمات والتصاقها، مما يحسن الإنتاجية بشكل مباشر في التطبيقات الحرجة في غرف الأبحاث.
  • تمديد دورات الصيانة والتنظيف:تعمل المقاومة المتميزة للإجهاد الحراري والأكسدة والتعرض للمواد الكيميائية على إطالة فترات الخدمة بشكل كبير، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل وتكاليف المواد الاستهلاكية.
  • ضمان توحيد العملية:يضمن الأداء المتسق عبر الدورات الحرارية وضع الرقاقة القابلة للتكرار ومقاطع التسخين، مما يدعم ترسيب الفيلم الموحد والتحكم في العملية.
التميز التقني متجذر في خصائص المواد
يوفر هيكل كربيد السيليكون المرتبط بالتفاعل توازنًا مثاليًا للخصائص الأساسية لمعالجة الرقاقات:
  • قوة ميكانيكية عالية وصلابة الكسر
  • الموصلية الحرارية ممتازة مع التمدد الحراري المنخفض
  • الخمول لمعظم الغازات المعالجة وبيئات البلازما
  • ثبات طويل الأمد في أكسدة واختزال الأجواء حتى 1380 درجة مئوية
مثالية لتصميم أنظمة التحديث والجيل القادم
سواء كنت تقوم بترقية أنظمة معالجة الرقاقات الحالية للعقد المتقدمة أو تصميم معدات تصنيع أشباه الموصلات من الجيل التالي، فإن مجاذيف الكابولي RBSiC الخاصة بنا توفر حلاً مثبتًا وموثوقًا لتعزيز الدقة وقابلية التوسع وفعالية التكلفة.
هل أنت مستعد لتحقيق الدقة الهندسية في عملية معالجة الرقاقات لديك؟
اتصل بفريقنا الفني لمناقشة مواصفات التطبيق الخاص بك، أو طلب ملفات التصميم، أو استكشاف حلول مجداف مصممة خصيصًا لتناسب مجموعة الأدوات ومتطلبات العملية الخاصة بك.
المنتجات ذات الصلة

أرسل استفسارًا