Консольные лопатки из карбида кремния, полученного реакционным спеканием (RBSiC): Прецизионная разработка для работы с полупроводниковыми пластинами
В высокоточном производстве полупроводников каждый компонент в цепочке обработки пластин должен гарантировать максимальную надежность и точность размеров. Консольные лопатки, являясь критическим интерфейсом в автоматизированных системах загрузки, напрямую влияют на выход годных изделий, производительность и масштабируемость. Наши Консольные лопатки из карбида кремния, полученного реакционным спеканием (RBSiC) разработаны для обеспечения исключительной производительности там, где это наиболее важно — при высоких температурах, повторяющихся термических циклах и строгих требованиях к чистоте.
Превосходная стабильность благодаря передовой инженерной обработке материалов
Изготовленные с использованием процесса реакционного спекания, наши лопатки достигают уникального сочетания высокой чистоты, точности формы, близкой к конечной, и исключительных термомеханических свойств. Это делает их идеальным выбором для требовательных применений в роботизированных системах обработки и переноса пластин.
Основные эксплуатационные данные
| Свойство |
Единица измерения |
Типичное значение / данные |
| Допустимая температура длительной эксплуатации |
°C |
≤ 1380 |
| Плотность |
г/см³ |
≥ 3.02 |
| Кажущаяся пористость |
% |
≤ 0.1 |
| Прочность при изгибе |
МПа |
250 (20°C); 281 (1200°C) |
| Модуль упругости |
ГПа |
332 (20°C); 300 (1200°C) |
| Теплопроводность (1200 °C) |
Вт/м*К |
45 |
| Коэффициент теплового расширения |
K⁻¹ * 10⁻⁶ |
4.5 |
| Твердость по шкале Мооса |
- |
9 |
| Стойкость к кислотам и щелочам |
- |
Отличная |
Основные преимущества RBSiC
- Непревзойденная стабильность размеров при высокой температуре: Структура, полученная реакционным спеканием, обеспечивает минимальную деформацию и нулевую ползучесть при длительной термической нагрузке, что критически важно для поддержания точного позиционирования пластин в процессах печи.
- Высокая несущая способность и жесткость: Отличная прочность при изгибе и модуль упругости надежно поддерживают высокие нагрузки на пластины, обеспечивая стабильную обработку в условиях пакетной обработки.
- Оптимизировано для роботизированной автоматизации: Разработано для бесшовной интеграции в автоматизированные порты загрузки, роботов-переносчиков и системы обработки, обеспечивая плавную, повторяемую и минимизированную по частицам работу.
- Превосходное соответствие тепловому расширению: Скорректированный коэффициент теплового расширения (CTE) точно соответствует коэффициенту теплового расширения кремниевых пластин и кварцевых трубок печи, снижая термическое напряжение и риски несоосности в таких процессах, как LPCVD, диффузия и отжиг.
Преобразование масштабируемости процесса и операционной эффективности
Интеграция наших консольных лопаток из RBSiC обеспечивает ощутимые улучшения как в возможностях процесса, так и в экономике производства:
- Обеспечение обработки больших пластин в существующих инструментах: Исключительная стабильность поперечного сечения позволяет надежно модернизировать существующие трубки печи для обработки пластин большего диаметра, продлевая срок службы основного оборудования.
- Уменьшение загрязнения частицами: Высокая плотность и гладкая поверхность сводят к минимуму образование и адгезию частиц, непосредственно улучшая выход годных изделий в критически важных для чистых помещений приложениях.
- Увеличение интервалов технического обслуживания и очистки: Выдающаяся устойчивость к термической усталости, окислению и химическому воздействию значительно продлевает интервалы обслуживания, снижая время простоя и затраты на расходные материалы.
- Обеспечение однородности процесса: Стабильная производительность в течение термических циклов обеспечивает повторяемое размещение пластин и профили нагрева, поддерживая равномерное осаждение пленки и контроль процесса.
Техническое совершенство, основанное на свойствах материала
Структура карбида кремния, полученного реакционным спеканием, обеспечивает оптимальный баланс свойств, необходимых для обработки пластин:
- Высокая механическая прочность и ударная вязкость
- Отличная теплопроводность с низким тепловым расширением
- Инертность к большинству технологических газов и плазменных сред
- Долгосрочная стабильность в окислительных и восстановительных атмосферах до 1380°C
Идеально подходит для модернизации и проектирования систем следующего поколения
Будь то модернизация существующих систем обработки пластин для передовых узлов или проектирование оборудования для производства полупроводников следующего поколения, наши консольные лопатки из RBSiC предлагают проверенное, надежное решение для повышения точности, масштабируемости и экономической эффективности.
Готовы привнести точность в ваш процесс обработки пластин?
Свяжитесь с нашей технической командой, чтобы обсудить спецификации вашего применения, запросить файлы дизайна или изучить индивидуальные решения для лопаток, адаптированные к вашему набору инструментов и требованиям процесса.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
Russian
