logo
Добро пожаловать в Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098
Дом / продукты / Керамика из карбида кремния / Реакционно-связанная гребля из карбида кремния с длительной эксплуатационной температурой 1380 °C, высокой грузоподъемностью и превосходным тепловым расширением для обработки полупроводниковых пластин
Качество Реакционно-связанная гребля из карбида кремния с длительной эксплуатационной температурой 1380 °C, высокой грузоподъемностью и превосходным тепловым расширением для обработки полупроводниковых пластин Фабрика
Качество Реакционно-связанная гребля из карбида кремния с длительной эксплуатационной температурой 1380 °C, высокой грузоподъемностью и превосходным тепловым расширением для обработки полупроводниковых пластин Фабрика
Качество Реакционно-связанная гребля из карбида кремния с длительной эксплуатационной температурой 1380 °C, высокой грузоподъемностью и превосходным тепловым расширением для обработки полупроводниковых пластин Фабрика
Качество Реакционно-связанная гребля из карбида кремния с длительной эксплуатационной температурой 1380 °C, высокой грузоподъемностью и превосходным тепловым расширением для обработки полупроводниковых пластин Фабрика
Качество Реакционно-связанная гребля из карбида кремния с длительной эксплуатационной температурой 1380 °C, высокой грузоподъемностью и превосходным тепловым расширением для обработки полупроводниковых пластин Фабрика

Реакционно-связанная гребля из карбида кремния с длительной эксплуатационной температурой 1380 °C, высокой грузоподъемностью и превосходным тепловым расширением для обработки полупроводниковых пластин

Тэги

Керамика из карбида кремния

Беснагнетательная сцинтерованная СИК

Керамика Sic
Резюме продукта
Консольные лопатки из реакционно-связанного карбида кремния (RBSiC): прецизионная конструкция для работы с полупроводниковыми пластинами В условиях прецизионного производства полупроводников каждый компонент в цепочке обработки пластин должен гарантировать максимальную надежность и целостность разме...

Детали продукта

Выделить:

1380°C Реакционно-связанная гребля из карбида кремния

,

Реакционно-связанная гребля из карбида кремния
Long-Term Service Temperature: ≤ 1380°С
Density: ≥ 3,02 г/см³
Apparent Porosity: ≤ 0,1%
Flexural Strength: 250 МПа (20°С); 281МПа (1200°С)
Elastic Modulus: 332ГПа (20°С); 300 ГПа (1200°С)
Thermal Conductivity (1200 °C): 45 Вт/м*К
Coefficient Of Thermal Expansion: 4,5 тыс.⁻¹ * 10⁻⁶
Mohs Hardness: 9
Acid & Alkali Resistance: Отличный
Характер продукции
Консольные лопатки из реакционно-связанного карбида кремния (RBSiC): прецизионная конструкция для работы с полупроводниковыми пластинами
В условиях прецизионного производства полупроводников каждый компонент в цепочке обработки пластин должен гарантировать максимальную надежность и целостность размеров. Консольные лопасти, являющиеся важнейшим интерфейсом в автоматизированных системах загрузки, напрямую влияют на производительность, пропускную способность и масштабируемость процесса. НашКонсольные лопатки из реакционно-связанного карбида кремния (RBSiC)разработаны для обеспечения исключительной производительности там, где это наиболее важно — при высоких температурах, повторяющихся термических циклах и строгих требованиях к чистоте.
Превосходная стабильность благодаря передовой технологии материалов
Изготовлено черезпроцесс реакции-связыванияНаши лопасти обеспечивают уникальное сочетание высокой чистоты, точности формы, близкой к заданной, и исключительных термомеханических свойств. Это делает их идеальным выбором для требовательных приложений в роботизированных системах обработки и транспортировки пластин.
Ключевые данные о производительности
Свойство Единица Типичное значение/данные
Температура долгосрочной эксплуатации °С ≤ 1380
Плотность г/см³ ≥ 3,02
Видимая пористость % ≤ 0,1
изгибная прочность МПа 250 (20°С); 281 (1200°С)
Модуль упругости ГПа 332 (20°С); 300 (1200°С)
Теплопроводность (1200 °C) Вт/м*К 45
Коэффициент теплового расширения К⁻¹ * 10⁻⁶ 4,5
Твердость по Моосу - 9
Устойчивость к кислотам и щелочам - Отличный
Основные преимущества, предоставляемые RBSiC
  • Непревзойденная стабильность размеров при высокой температуре:Реакционно-связанная структура обеспечивает минимальную деформацию и нулевую ползучесть при постоянной тепловой нагрузке, что крайне важно для поддержания точного позиционирования пластины в печных процессах.
  • Высокая несущая способность и жесткость:Превосходная прочность на изгиб и модуль упругости надежно выдерживают высокие нагрузки на пластины, обеспечивая стабильную работу в условиях пакетной обработки.
  • Оптимизирован для роботизированной автоматизации:Разработан для плавной интеграции в автоматизированные погрузочные порты, передаточные роботы и системы обработки, обеспечивая плавную, повторяемую работу и минимальное количество частиц.
  • Превосходное соответствие термическому расширению:Специально разработанный коэффициент теплового расширения (КТР) точно соответствует коэффициенту теплового расширения кремниевых пластин и кварцевых печных трубок, снижая термическое напряжение и риски смещения в таких процессах, как LPCVD, диффузия и отжиг.
Преобразование масштабируемости процессов и операционной эффективности
Интеграция наших консольных лопастей RBSiC обеспечивает ощутимый прогресс как в технологических возможностях, так и в экономической эффективности производства:
  • Включите обработку пластин большего размера в существующих инструментах:Исключительная стабильность поперечного сечения позволяет надежно модернизировать существующие печные трубы для обработки пластин большего диаметра, продлевая срок службы основного оборудования.
  • Уменьшите загрязнение частиц:Высокая плотность и гладкая поверхность сводят к минимуму образование и прилипание частиц, что напрямую повышает производительность в критически важных чистых помещениях.
  • Продлите циклы обслуживания и очистки:Выдающаяся устойчивость к термической усталости, окислению и химическому воздействию значительно продлевает интервалы технического обслуживания, сокращая время простоя и затраты на расходные материалы.
  • Обеспечьте единообразие процесса:Стабильная производительность во всех тепловых циклах обеспечивает повторяемость размещения пластин и профилей нагрева, поддерживая равномерное осаждение пленки и контроль процесса.
Техническое совершенство, основанное на свойствах материалов
Реакционно-связанная структура карбида кремния обеспечивает оптимальный баланс свойств, необходимых для работы с пластинами:
  • Высокая механическая прочность и вязкость разрушения
  • Отличная теплопроводность с низким тепловым расширением.
  • Инертность к большинству технологических газов и плазменных сред.
  • Долговременная стабильность в окислительных и восстановительных средах до 1380°C.
Идеально подходит для модернизации и проектирования систем нового поколения
Будь то модернизация существующих систем обработки пластин для усовершенствованных узлов или разработка оборудования для производства полупроводников нового поколения, наши консольные лопатки RBSiC предлагают проверенное и надежное решение для повышения точности, масштабируемости и экономической эффективности.
Готовы обеспечить точность в процессе обработки пластин?
Свяжитесь с нашей технической командой, чтобы обсудить спецификации вашего приложения, запросить файлы проекта или изучить индивидуально разработанные лопастные решения, адаптированные к вашему набору инструментов и требованиям процесса.

Miss. Scarlett.S

Deputy Head of Foreign Trade Department

Сопутствующие товары

Отправить запрос