Paddles de cantilever de carburo de silicio (RBSiC) unidos por reacción: ingeniería de precisión para el manejo de obleas de semiconductores
En el entorno de precisión de la fabricación de semiconductores, cada componente dentro de la cadena de manipulación de obleas debe garantizar la máxima fiabilidad e integridad dimensional.como interfaz crítica en los sistemas de carga automatizados, impactan directamente el rendimiento del proceso, el rendimiento y la escalabilidad.Paddles de carburo de silicio (RBSiC) de palanca de reacciónLas instalaciones de alta calidad están diseñadas para ofrecer un rendimiento excepcional donde más importa, bajo altas temperaturas, ciclos térmicos repetidos y requisitos de limpieza estrictos.
Estabilidad superior gracias a la ingeniería avanzada de materiales
Fabricado a través delproceso de unión por reacción, nuestras paletas logran una combinación única de alta pureza, precisión de forma casi neta y propiedades termomecánicas excepcionales.Esto los convierte en la opción ideal para aplicaciones exigentes en sistemas robóticos de manipulación y transferencia de obleas.
Datos clave de rendimiento
| Propiedad |
Unidad |
Valor típico / datos |
| Temperatura de servicio a largo plazo |
°C |
≤ 1380 |
| Densidad |
G/cm3 |
≥ 3 años02 |
| Porosidad aparente |
% |
≤ 01 |
| Fuerza de flexión |
MPa |
250 (20°C); 281 (1200°C) |
| Modulo elástico |
GPa |
332 (20°C); 300 (1200°C) |
| Conductividad térmica (1200 °C) |
¿Qué es eso? |
45 |
| Coeficiente de expansión térmica |
K−1 * 10−6 |
4.5 |
| Dureza de Mohs |
- |
9 |
| Resistencia al ácido y alcalino |
- |
Es excelente. |
Ventajas fundamentales que ofrece el RBSiC
- Estabilidad dimensional sin igual a altas temperaturas:La estructura ligada a la reacción asegura una deformación mínima y cero arrastramiento bajo carga térmica sostenida, crítico para mantener un posicionamiento preciso de la oblea en los procesos de horno.
- Alta capacidad de carga y rigidez:La excelente resistencia a la flexión y el módulo soportan con fiabilidad cargas altas de obleas, lo que permite un manejo estable en entornos de procesamiento de lotes.
- Optimizado para la automatización robótica:Diseñado para una integración perfecta en puertos de carga automatizados, robots de transferencia y sistemas de manipulación, asegurando un funcionamiento suave, repetible y con mínimo de partículas.
- Compatibilidad de expansión térmica superior:El coeficiente de expansión térmica (CTE) adaptado coincide estrechamente con el de las obleas de silicio y los tubos de horno de cuarzo, reduciendo la tensión térmica y los riesgos de desalineación en procesos como el LPCVD,Difusión, y recocido.
Transformación de la escalabilidad del proceso y la eficiencia operativa
La integración de nuestras paletas RBSiC en voladizo permite avances tangibles tanto en la capacidad del proceso como en la economía de fabricación:
- Habilitar el procesamiento de obleas más grandes en herramientas existentes:La excepcional estabilidad de la sección transversal permite que los tubos de horno existentes se adapten de manera fiable para procesar obeliscos de mayor diámetro, extendiendo el ciclo de vida de los equipos de capital.
- Reducir la contaminación por partículas:La alta densidad y el acabado liso de la superficie minimizan la generación de partículas y la adhesión, mejorando directamente el rendimiento en aplicaciones críticas de salas limpias.
- Extender los ciclos de mantenimiento y limpieza:La resistencia excepcional a la fatiga térmica, la oxidación y la exposición química prolonga significativamente los intervalos de servicio, reduciendo los tiempos de inactividad y los costos de consumo.
- Asegurar la uniformidad del proceso:El rendimiento constante a través de los ciclos térmicos garantiza la colocación y los perfiles de calentamiento de las obleas repetibles, lo que permite la deposición uniforme de la película y el control del proceso.
Excelencia técnica basada en las propiedades de los materiales
La estructura de carburo de silicio unido por reacción proporciona un equilibrio óptimo de propiedades esenciales para el manejo de las obleas:
- Alta resistencia mecánica y resistencia a las fracturas
- Excelente conductividad térmica con baja expansión térmica
- Inertitud a la mayoría de los gases de proceso y entornos de plasma
- Estabilidad a largo plazo en atmósferas oxidantes y reductoras hasta 1380°C
Ideal para la modernización y el diseño de sistemas de próxima generación
Ya sea mejorando los sistemas de manejo de obleas existentes para nodos avanzados o diseñando equipos de fabricación de semiconductores de próxima generación, nuestras paletas de voladizo RBSiC ofrecen una prueba,Solución fiable para una mayor precisión, escalabilidad y rentabilidad.
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