logo
خوش آمدید Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

بادل کربید سیلیکون با واکنش با 1380 درجه سانتیگراد دمای خدمت طولانی مدت ظرفیت حمل بار بالا و تطابق گسترش حرارتی برتر برای دستکاری وافره نیمه هادی

خلاصه محصول
بادکنک های کانتیلیور کربید سیلیکون (RBSiC) که با واکنش مرتبط هستند: طراحی دقیق برای دستکاری وافره نیمه هادی در محیط دقیق تولید نیمه هادی، هر قطعه در زنجیره حمل و نقل و نگهداری وافره باید اطمینان از حداکثر قابلیت اطمینان و یکپارچگی ابعاد را تضمین کند.به عنوان رابط حیاتی در سیستم های بارگذاری خودکار، ...

جزئیات محصول

برجسته کردن:

پدال کاربید سیلیکون با واکنش 1380 درجه سانتی گراد

,

پدال کاربید سیلیکون پیوند شده با واکنش

Long-Term Service Temperature: ≤ 1380 درجه سانتی گراد
Density: ≥ 3.02g/cm³
Apparent Porosity: 0.1 ≤
Flexural Strength: 250 مگا پاسکال (20 درجه سانتیگراد)؛ 281 مگا پاسکال (1200 درجه سانتیگراد)
Elastic Modulus: 332 گیگا پاسکال (20 درجه سانتیگراد)؛ 300 گیگا پاسکال (1200 درجه سانتیگراد)
Thermal Conductivity (1200 °C): 45W/m*K
Coefficient Of Thermal Expansion: 4.5K-1 * 10-6
Mohs Hardness: 9
Acid & Alkali Resistance: عالی
توضیحات محصول
بادکنک های کانتیلیور کربید سیلیکون (RBSiC) که با واکنش مرتبط هستند: طراحی دقیق برای دستکاری وافره نیمه هادی
در محیط دقیق تولید نیمه هادی، هر قطعه در زنجیره حمل و نقل و نگهداری وافره باید اطمینان از حداکثر قابلیت اطمینان و یکپارچگی ابعاد را تضمین کند.به عنوان رابط حیاتی در سیستم های بارگذاری خودکار، به طور مستقیم بر بهره وری فرآیند، خروجی و مقیاس پذیری تاثیر می گذارد.بادکنک های کربید سیلیکون (RBSiC) که با واکنش پیوند خورده اندطراحی شده اند تا عملکرد استثنایی را در درجه حرارت بالا، چرخه های حرارتی مکرر و الزامات سختگیرانه تمیز ارائه دهند.
ثبات برتر از طریق مهندسی مواد پیشرفته
تولید شده از طریقفرآیند اتصال واکنش، بادکنک های ما ترکیبی منحصر به فرد از خلوص بالا، دقت نزدیک به شکل شبکه و خواص فوق العاده ترمو مکانیکی را به دست می آورند.این باعث می شود که آنها انتخاب ایده آل برای درخواست های سخت در سیستم های دستکاری و انتقال وافر رباتیک باشند..
داده های کلیدی عملکرد
مالکیت واحد ارزش / داده های معمولی
دمای خدمت طولانی مدت °C ≤ 1380
تراکم g/cm3 ≥ 302
حفره های ظاهری % ≤ 0.1
قدرت خم شدن MPa 250 (20°C) ؛ 281 (1200°C)
ماژول انعطاف پذیر GPa ۳۳۲ (۲۰ درجه سانتیگراد) ؛ ۳۰۰ (۱۲۰۰ درجه سانتیگراد)
رسانایی حرارتی (1200 °C) W/m*K 45
ضریب گسترش حرارتی K−1 * 10−6 4.5
سختي موس - 9
مقاومت در برابر اسید و قلی - عالی بود
مزایای اصلی که توسط RBSiC فراهم می شود
  • ثبات ابعاد بی نظیر در دمای بالا:ساختار اتصال واکنش تضمین می کند حداقل تغییر شکل و صفر خزیدن تحت بار حرارتی پایدار، برای حفظ موقعیت دقیق وافر در فرآیندهای کوره بسیار مهم است.
  • ظرفیت حمل و تحمل بالا و سفتی:قدرت انعطاف پذیری عالی و ماژول به طور قابل اعتماد از بار های بالای وافره پشتیبانی می کند و امکان پردازش پایدار در محیط های پردازش دسته را فراهم می کند.
  • برای اتوماسیون رباتیک بهینه شده:طراحی شده برای یکپارچه سازی در پورتهای بار خودکار، روبات های انتقال و سیستم های حمل و نقل، اطمینان از عملکرد صاف، قابل تکرار و کمترین ذرات.
  • سازش افزايش حرارتي برتر:ضریب انبساط حرارتی (CTE) متناسب با سیلیکون و لوله های کوره کوارتز، کاهش استرس حرارتی و خطرات عدم تراز در فرآیندهای مانند LPCVD،انتشار، و گرم کردن
تغییر مقیاس پذیری فرآیند و کارایی عملیاتی
ادغام بادکنک های کنتیلیور RBSiC ما باعث پیشرفت های ملموس در قابلیت فرآیند و اقتصاد کارخانه می شود:
  • امکان پردازش وافرهای بزرگتر در ابزار موجود:ثبات قطعی استثنایی اجازه می دهد تا لوله های کوره موجود به طور قابل اعتماد برای پردازش قطر وافرهای بزرگتر مجهز شوند و چرخه عمر تجهیزات سرمایه را افزایش دهند.
  • کاهش آلودگی ذرات:چگالی بالا و پایان سطح صاف تولید ذرات و چسبندگی را به حداقل می رساند و به طور مستقیم بهره را در برنامه های مورد نیاز اتاق تمیز بهبود می بخشد.
  • تمدید چرخه های نگهداری و تمیز کردن:مقاومت برجسته در برابر خستگی حرارتی، اکسیداسیون و قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی به طور قابل توجهی فواصل سرویس را طولانی می کند، زمان توقف و هزینه های مصرف را کاهش می دهد.
  • تضمین یکنواخت فرآیند:عملکرد مداوم در چرخه های حرارتی، قرار دادن و پروفایل های گرمایشی تکراری را تضمین می کند، پشتیبانی از سپرده ی یکنواخت فیلم و کنترل فرآیند.
برتری فنی ریشه در خواص مواد دارد
ساختار کربید سیلیکون مرتبط با واکنش یک تعادل مطلوب از خواص ضروری برای دستکاری وافر را فراهم می کند:
  • قدرت مکانیکی بالا و مقاومت شکستگی
  • رسانایی حرارتی عالی با گسترش حرارتی کم
  • بی عمل بودن در اکثر محیط های گاز و پلاسما
  • ثبات طولانی مدت در اتمسفر اکسید و کاهش تا 1380 °C
ایده آل برای بازسازی و طراحی سیستم نسل بعدی
خواه ارتقاء سیستم های دستکاری وافرهای موجود برای گره های پیشرفته باشد یا طراحی تجهیزات تولید نیمه هادی نسل بعدی، بادل های کانتیلیور RBSiC ما یک راه حل اثبات شده،راه حل قابل اعتماد برای افزایش دقت، مقیاس پذیری و هزینه-کارایی.
آماده اید تا دقت را در فرآیند دستکاری وافرهای خود ایجاد کنید؟
با تیم فنی ما تماس بگیرید تا مشخصات برنامه خود را مورد بحث قرار دهید، فایل های طراحی را درخواست کنید یا راه حل های بادکنک طراحی شده سفارشی را که متناسب با مجموعه ابزار و الزامات فرآیند شما است، کشف کنید.
محصولات مرتبط

درخواست ارسال کنید