logo
خانه محصولاتکربید سیلیکون با واکنش

پدل کاربید سیلیکون واکنشی-پیوندی با دمای سرویس طولانی‌مدت 1380 درجه سانتی‌گراد، ظرفیت باربری بالا و تطابق انبساط حرارتی برتر برای جابجایی ویفر نیمه‌رسانا

گواهی
چین Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd گواهینامه ها
چین Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd گواهینامه ها
نظرات مشتریان
NGK برای شراکت دیرینه خود با Shaanxi Kegu ارزش قائل است. سرامیک‌های SSiC آن‌ها در کیفیت و نوآوری عالی هستند و موفقیت متقابل ما را رقم می‌زنند. به همکاری مستمر!

—— شرکت فناوری حرارتی NGK

در هویک، ما به شراکت دیرینه خود با شرکت فناوری مواد جدید شاآنشی کگو، با همکاری ریشه در اعتماد، نوآوری و برتری مشترک، افتخار می کنیم. تخصص آنها در سرامیک SSiC و راه حل های قابل اعتماد به طور مداوم از پروژه های ما پشتیبانی کرده است.

—— شرکت فناوری سوزو هویک

ما در "کدا" به شدت از همکاری های طولانی مدتمان با شرکت فناوری مواد جدید شانسی کگو (Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd) قدردانی می کنیم.راه حل های سرامیکی SSiC با کیفیت بالا آنها بخش مهمی از پروژه های ما بوده و ما به دنبال ادامه همکاری و موفقیت مشترک هستیم.

—— گروه صنعتی Keda Co.,Ltd.

چت IM آنلاین در حال حاضر

پدل کاربید سیلیکون واکنشی-پیوندی با دمای سرویس طولانی‌مدت 1380 درجه سانتی‌گراد، ظرفیت باربری بالا و تطابق انبساط حرارتی برتر برای جابجایی ویفر نیمه‌رسانا

پدل کاربید سیلیکون واکنشی-پیوندی با دمای سرویس طولانی‌مدت 1380 درجه سانتی‌گراد، ظرفیت باربری بالا و تطابق انبساط حرارتی برتر برای جابجایی ویفر نیمه‌رسانا

شرح
برجسته کردن:

پدل کنسولی RBSiC با دمای سرویس طولانی‌مدت 1380 درجه سانتی‌گراد,دست و پا زدن ویفر کاربید سیلیکون با ظرفیت باربری بالا,پدل کاربید سیلیکون واکنشی-پیوندی با تطابق انبساط حرارتی برتر

,

High Load-Bearing Capacity Silicon Carbide Wafer Handling Paddle

,

Superior Thermal Expansion Match Reaction-Bonded Silicon Carbide Paddle

بادکنک های کانتیلیور کربید سیلیکون (RBSiC) که با واکنش مرتبط هستند: طراحی دقیق برای دستکاری وافره نیمه هادی
در محیط دقیق تولید نیمه هادی، هر قطعه در زنجیره حمل و نقل و نگهداری وافره باید اطمینان از حداکثر قابلیت اطمینان و یکپارچگی ابعاد را تضمین کند.به عنوان رابط حیاتی در سیستم های بارگذاری خودکار، به طور مستقیم بر بهره وری فرآیند، خروجی و مقیاس پذیری تاثیر می گذارد.بادکنک های کربید سیلیکون (RBSiC) که با واکنش پیوند خورده اندطراحی شده اند تا عملکرد استثنایی را در درجه حرارت بالا، چرخه های حرارتی مکرر و الزامات سختگیرانه تمیز ارائه دهند.
ثبات برتر از طریق مهندسی مواد پیشرفته
تولید شده از طریقفرآیند اتصال واکنش، بادکنک های ما ترکیبی منحصر به فرد از خلوص بالا، دقت نزدیک به شکل خالص و خواص فوق العاده ترمو مکانیکی را به دست می آورند.این باعث می شود که آنها انتخاب ایده آل برای درخواست های سخت در سیستم های دستکاری و انتقال وافر رباتیک باشند..
داده های کلیدی عملکرد
مالکیت واحد ارزش / داده های معمولی
دمای خدمت طولانی مدت °C ≤ 1380
تراکم g/cm3 ≥ 302
حفره های ظاهری % ≤ 0.1
قدرت خم شدن MPa 250 (20°C) ؛ 281 (1200°C)
ماژول انعطاف پذیر GPa ۳۳۲ (۲۰ درجه سانتیگراد) ؛ ۳۰۰ (۱۲۰۰ درجه سانتیگراد)
رسانایی حرارتی (1200 °C) W/m*K 45
ضریب گسترش حرارتی K−1 * 10−6 4.5
سختي موس - 9
مقاومت در برابر اسید و قلی - عالی بود
مزایای اصلی که توسط RBSiC فراهم می شود
  • ثبات ابعاد بی نظیر در دمای بالا:ساختار اتصال واکنش تضمین می کند حداقل تغییر شکل و صفر خزیدن تحت بار حرارتی پایدار، برای حفظ موقعیت دقیق وافر در فرآیندهای کوره حیاتی است.
  • ظرفیت حمل و تحمل بالا و سفتی:قدرت انعطاف پذیری عالی و ماژول به طور قابل اعتماد از بار های بالای وافره پشتیبانی می کند و امکان پردازش پایدار در محیط های پردازش دسته را فراهم می کند.
  • برای اتوماسیون رباتیک بهینه شده:طراحی شده برای یکپارچه سازی در پورتهای بار خودکار، روبات های انتقال و سیستم های حمل و نقل، اطمینان از عملکرد صاف، قابل تکرار و کمترین ذرات.
  • سازش افزايش حرارتي برتر:ضریب انبساط حرارتی (CTE) متناسب با سیلیکون و لوله های کوره کوارتز، کاهش استرس حرارتی و خطرات عدم تراز در فرآیندهای مانند LPCVD،انتشار، و گرم کردن
تغییر مقیاس پذیری فرآیند و کارایی عملیاتی
ادغام بادکنک های کنتیلیور RBSiC ما باعث پیشرفت های ملموس در قابلیت فرآیند و اقتصاد کارخانه می شود:
  • امکان پردازش وافرهای بزرگتر در ابزار موجود:ثبات قطعی استثنایی اجازه می دهد تا لوله های کوره موجود به طور قابل اعتماد برای پردازش قطر وافرهای بزرگتر مجهز شوند و چرخه عمر تجهیزات سرمایه را افزایش دهند.
  • کاهش آلودگی ذرات:چگالی بالا و پایان سطح صاف تولید ذرات و چسبندگی را به حداقل می رساند و به طور مستقیم بهره را در برنامه های مورد نیاز اتاق تمیز بهبود می بخشد.
  • تمدید چرخه های نگهداری و تمیز کردن:مقاومت برجسته در برابر خستگی حرارتی، اکسیداسیون و قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی به طور قابل توجهی فواصل سرویس را طولانی می کند، زمان توقف و هزینه های مصرف را کاهش می دهد.
  • تضمین یکنواخت فرآیند:عملکرد مداوم در چرخه های حرارتی، قرار دادن و پروفایل های گرمایشی تکرار پذیر را تضمین می کند، پشتیبانی از سپرده ی یکنواخت فیلم و کنترل فرآیند.
برتری فنی ریشه در خواص مواد دارد
ساختار کربید سیلیکون مرتبط با واکنش یک تعادل مطلوب از خواص ضروری برای دستکاری وافر را فراهم می کند:
  • قدرت مکانیکی بالا و مقاومت شکستگی
  • رسانایی حرارتی عالی با گسترش حرارتی کم
  • بی عمل بودن در اکثر محیط های گاز و پلاسما
  • ثبات طولانی مدت در اتمسفر اکسید و کاهش تا 1380 °C
ایده آل برای بازسازی و طراحی سیستم نسل بعدی
خواه ارتقاء سیستم های دستکاری وافرهای موجود برای گره های پیشرفته باشد یا طراحی تجهیزات تولید نیمه هادی نسل بعدی، بادل های کانتیلیور RBSiC ما ارائه می دهند،راه حل قابل اعتماد برای افزایش دقت، مقیاس پذیری و هزینه-کارایی.
آماده اید تا دقت را در فرآیند دستکاری وافرهای خود ایجاد کنید؟
با تیم فنی ما تماس بگیرید تا مشخصات برنامه خود را مورد بحث قرار دهید، فایل های طراحی را درخواست کنید یا راه حل های بادکنک طراحی شده سفارشی را که متناسب با مجموعه ابزار و الزامات فرآیند شما است، کشف کنید.

اطلاعات تماس
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

تماس با شخص: Ms. Yuki

تلفن: 8615517781293

ارسال درخواست خود را به طور مستقیم به ما (0 / 3000)