logo
บ้าน ผลิตภัณฑ์ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยา

ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์แบบรีแอคชันบอนด์พร้อมอุณหภูมิการใช้งานระยะยาว 1380°C, ความสามารถในการรับน้ำหนักสูง และการขยายตัวทางความร้อนที่เข้ากันได้ดีเยี่ยมสำหรับการจัดการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ได้รับการรับรอง
จีน Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd รับรอง
จีน Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd รับรอง
ความคิดเห็นของลูกค้า
เอ็นจีเคให้ความสำคัญกับความร่วมมือระยะยาวกับ Shaanxi Kegu เซรามิก SSiC ของพวกเขามีความเป็นเลิศด้านคุณภาพและนวัตกรรม ซึ่งเป็นแรงผลักดันความสำเร็จร่วมกันของเรา ขอให้ความร่วมมือดำเนินต่อไป!

—— บริษัท เอ็นจีเค เทอร์มอล เทคโนโลยี จำกัด

ที่ Huike เราภูมิใจในความเป็นหุ้นส่วนระยะยาวของเรากับ Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. ซึ่งเป็นความร่วมมือที่หยั่งรากลึกในความไว้วางใจ นวัตกรรม และความเป็นเลิศร่วมกัน ความเชี่ยวชาญของพวกเขาในเซรามิก SSiC และโซลูชันที่เชื่อถือได้ได้สนับสนุนโครงการของเราอย่างต่อเนื่อง

—— ซูโจว ฮุ่ยเค่อ เทคโนโลยี จำกัด

เราในเคด้าชื่นชมมากต่อความร่วมมือที่ยาวนานของเรากับ บริษัท ชานซี เคกู นิวแมเทอเรียล เทคโนโลยี จํากัดโซลูชั่นเซรามิก SSiC คุณภาพสูงของพวกเขาเป็นส่วนสําคัญของโครงการของเรา และเราหวังที่จะร่วมมือต่อและประสบความสําเร็จร่วมกัน.

—— บริษัท เคดา อินดัสเตรียล กรุ๊ป จํากัด

สนทนาออนไลน์ตอนนี้ฉัน

ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์แบบรีแอคชันบอนด์พร้อมอุณหภูมิการใช้งานระยะยาว 1380°C, ความสามารถในการรับน้ำหนักสูง และการขยายตัวทางความร้อนที่เข้ากันได้ดีเยี่ยมสำหรับการจัดการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์แบบรีแอคชันบอนด์พร้อมอุณหภูมิการใช้งานระยะยาว 1380°C, ความสามารถในการรับน้ำหนักสูง และการขยายตัวทางความร้อนที่เข้ากันได้ดีเยี่ยมสำหรับการจัดการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

ลักษณะ
อุณหภูมิบริการระยะยาว: ≤ 1380°ซ ความหนาแน่น: ≥ 3.02 ก./ซม.3
ปรากฏความพรุน: ≤ 0.1% ความแข็งแรงของแรงดัดงอ: 250MPa (20°ซ); 281MPa (1200°C)
โมดูลัสยืดหยุ่น: 332GPa (20°ซ); 300GPa (1200°C) ค่าการนำความร้อน (1200 °C): 45 วัตต์/เมตร*เค
สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน: 4.5K⁻¹ * 10⁻⁶ ความแข็งของโมห์ส: 9
ความต้านทานต่อกรดและด่าง: ยอดเยี่ยม
เน้น:

ไม้พาย RBSiC แบบยื่นยาว อุณหภูมิการใช้งานระยะยาว 1380°C

,

พายจับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ความจุสูงรับน้ำหนัก

,

ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์แบบรีแอคชันบอนด์ที่เข้ากันได้ดีเยี่ยมในการขยายตัวทางความร้อน

แปดลิสต์คาร์ไบดซิลิคอน (RBSiC) ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยา: การออกแบบความแม่นยําสําหรับการจัดการแผ่นแผ่นครึ่งตัวนํา
ในสภาพแวดล้อมที่ขับเคลื่อนด้วยความแม่นยําของการผลิตครึ่งตัวนํา ทุกส่วนประกอบภายในโซ่การจัดการกับแผ่นต้องรับประกันความน่าเชื่อถือสูงสุดและความสมบูรณ์แบบของมิติในฐานะอินเตอร์เฟซที่สําคัญในระบบการบรรทุกอัตโนมัติผลกระทบโดยตรงผลผลิตกระบวนการ ผ่านและ scalabilityเครื่องพัดลมคาร์บائدซิลิคอน (RBSiC) ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยาได้ถูกออกแบบมาเพื่อให้เกิดผลงานที่พิเศษ ที่สําคัญที่สุด ภายใต้อุณหภูมิสูง วงจรความร้อนซ้ําๆ และความสะอาดที่เข้มงวด
ความมั่นคงสูงสุด ผ่านวิศวกรรมวัสดุที่ก้าวหน้า
ผลิตผ่านกระบวนการปฏิกิริยาผูกพันกล่องของเราสามารถประกอบความบริสุทธิ์สูง ความแม่นยําเกือบเป็นรูปเครือข่าย และคุณสมบัติทางอุณหภูมิที่พิเศษทําให้พวกเขาเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสําหรับการใช้งานที่ต้องการในระบบการจัดการและการถ่ายทอดโวฟเฟอร์หุ่นยนต์.
ข้อมูลประสิทธิภาพหลัก
อสังหาริมทรัพย์ หน่วย ค่าเฉพาะ / ข้อมูล
อุณหภูมิการใช้งานระยะยาว °C ≤ 1380
ความหนาแน่น g/cm3 ≥ 302
ความเปลือก % ≤ 0.1
ความแข็งแรงในการบิด MPa 250 (20°C); 281 (1200°C)
โมดูลัสยืดหยุ่น GPa 332 (20°C); 300 (1200°C)
ความสามารถในการนําความร้อน (1200 °C) W/m*K 45
คออฟเฟกชันการขยายความร้อน K−1 * 10−6 4.5
ความแข็งแรงของโมห์ - 9
ความทนทานต่อกรดและแอลคาลี - ดีมาก
ข้อดีหลักของ RBSiC
  • ความมั่นคงในมิติที่ไม่มีคู่แข่งในอุณหภูมิสูงโครงสร้างที่เชื่อมโยงด้วยปฏิกิริยาให้ความสับสนอย่างน้อยและการเคลื่อนไหวที่ไม่มีค่าใด ๆ ภายใต้ภาระความร้อนที่ยั่งยืน, สําคัญในการรักษาตําแหน่งของโฟฟร์ที่แม่นยําในกระบวนการอบ
  • ความสามารถในการแบกภาระสูงและความแข็งแรง:ความแข็งแรงในการบิดและโมดูลัสที่ดีเยี่ยมรองรับภาระของวอฟเฟอร์ที่สูงอย่างน่าเชื่อถือ ทําให้การจัดการที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมการแปรรูปชุด
  • ปรับปรุงให้เหมาะกับอัตโนมัติหุ่นยนต์ออกแบบมาเพื่อการบูรณาการอย่างต่อเนื่องในท่าเรือบรรทุกอัตโนมัติ โรบอตโอนและระบบการจัดการ เพื่อให้การทํางานเรียบร้อย, สามารถซ้ําได้ และมีอนุภาคน้อยที่สุด
  • สูปเปอร์เทอร์มัล เอ็กซ์เพนชั่นแมทช์:คออฟเซนเตอร์การขยายความร้อน (CTE) ที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสมกับกระบอกซิลิคอนและหลอดเตาควอตซ์ ลดความเครียดทางความร้อนและความเสี่ยงจากการไม่ตรงกันในกระบวนการเช่น LPCVDการกระจายและการผสมผสม
การแปลงความสามารถในการปรับขนาดกระบวนการและประสิทธิภาพการดําเนินงาน
การบูรณาการปัด RBSiC cantilever ของเรา ทําให้มีการพัฒนาที่สัมผัสได้ ทั้งในความสามารถในการดําเนินงานและเศรษฐกิจการผลิต
  • ทําให้การประมวลผลแผ่นขนาดใหญ่ในเครื่องมือที่มีอยู่:ความมั่นคงทางตัดข้ามที่ไม่ธรรมดา ทําให้ท่อเตาปูนที่มีอยู่สามารถปรับปรุงต่อได้อย่างน่าเชื่อถือ สําหรับการแปรรูปกระบอกขนาดใหญ่
  • ลดการปนเปื้อนด้วยอนุภาค:ความหนาแน่นสูงและผิวเรียบลื่นลดการสร้างอนุภาคและการผูกพันให้น้อยที่สุด โดยช่วยเพิ่มผลผลิตได้โดยตรงในแอพลิเคชั่นที่สําคัญในห้องสะอาด
  • ขยายวงจรการบํารุงรักษาและทําความสะอาด:ความทนทานที่โดดเด่นต่อความเหนื่อยร้อน, การออกซิเดชั่น, และการเผชิญหน้ากับสารเคมีทําให้ระยะเวลาการบริการยาวนานอย่างมาก, ลดเวลาหยุดทํางานและค่าใช้จ่ายในการใช้งาน
  • รับประกันความเหมือนกันของกระบวนการ:ผลงานที่คงที่ตลอดวงจรความร้อนให้ความมั่นคงในการวางแผ่นและโปรไฟล์การทําความร้อนที่ซ้ําซ้ํา, สนับสนุนการฝากหนังแบบเรียบร้อยและควบคุมกระบวนการ
ความ ดี ที่ สุด ทาง เทคนิค ที่ ราก จาก คุณสมบัติ ของ วัสดุ
โครงสร้างซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยาให้ความสมดุลที่ดีที่สุดของคุณสมบัติที่จําเป็นสําหรับการจัดการกับวอฟเฟอร์:
  • ความแข็งแรงทางกลสูงและความแข็งแรงในการแตก
  • ความสามารถในการนําความร้อนได้ดีเยี่ยม กับการขยายความร้อนที่ต่ํา
  • ความอ่อนแอต่อก๊าซกระบวนการและสภาพแวดล้อมพลาสมาส่วนใหญ่
  • ความมั่นคงระยะยาวในบรรยากาศที่ออกซิเดียนและลดลงถึง 1380 °C
เหมาะสําหรับการปรับปรุงและการออกแบบระบบรุ่นใหม่
ไม่ว่าจะเป็นการปรับปรุงระบบการจัดการแผ่นที่มีอยู่ เพื่อพัฒนาหน่วยงานที่ทันสมัย หรือการออกแบบอุปกรณ์การผลิตครึ่งตัวนํารุ่นใหม่การแก้ไขที่น่าเชื่อถือเพื่อการเพิ่มความแม่นยํา, ความสามารถในการปรับขนาด และประหยัด
เตรียมพร้อมที่จะออกแบบความแม่นยํา ในกระบวนการการจัดการกับขีดขีดของคุณ?
ติดต่อกับทีมงานเทคนิคของเรา เพื่อหารือเกี่ยวกับรายละเอียดการใช้งานของคุณ ขอไฟล์การออกแบบ หรือสํารวจการแก้ไขปัดแบบที่กําหนดเอง

รายละเอียดการติดต่อ
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

ผู้ติดต่อ: Ms. Yuki

โทร: 8615517781293

ส่งคำถามของคุณกับเราโดยตรง (0 / 3000)

ผลิตภัณฑ์อื่น ๆ