ปลาซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยาที่มีอุณหภูมิการใช้งานยาวนาน 1380 °C ความสามารถในการแบกภาระสูงและความสามารถในการขยายความร้อนที่ดีกว่าสําหรับการจัดการแผ่นแผ่นครึ่งตัว
สรุปผลิตภัณฑ์
Reaction-Bonded Silicon Carbide (RBSiC) Cantilever Paddles: ออกแบบอย่างแม่นยำสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ในสภาพแวดล้อมที่ขับเคลื่อนด้วยความแม่นยำของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทุกส่วนประกอบภายในห่วงโซ่การจัดการเวเฟอร์จะต้องรับประกันความน่าเชื่อถือและความสมบูรณ์ของมิติสูงสุด Cantilever ...
รายละเอียดสินค้า
เน้น:
1380 °C การปฏิกิริยาผูกซิลิคอนคาร์ไบด์พัด
,เครื่องปั่นซิลิคอนคาร์ไบดที่ผูกต่อด้วยปฏิกิริยา
Long-Term Service Temperature:
≤ 1380°ซ
Density:
≥ 3.02 ก./ซม.3
Apparent Porosity:
≤ 0.1%
Flexural Strength:
250MPa (20°ซ); 281MPa (1200°C)
Elastic Modulus:
332GPa (20°ซ); 300GPa (1200°C)
Thermal Conductivity (1200 °C):
45 วัตต์/เมตร*เค
Coefficient Of Thermal Expansion:
4.5K⁻¹ * 10⁻⁶
Mohs Hardness:
9
Acid & Alkali Resistance:
ยอดเยี่ยม
คําอธิบายสินค้า
Reaction-Bonded Silicon Carbide (RBSiC) Cantilever Paddles: ออกแบบอย่างแม่นยำสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
ในสภาพแวดล้อมที่ขับเคลื่อนด้วยความแม่นยำของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทุกส่วนประกอบภายในห่วงโซ่การจัดการเวเฟอร์จะต้องรับประกันความน่าเชื่อถือและความสมบูรณ์ของมิติสูงสุด Cantilever Paddles ซึ่งเป็นส่วนต่อประสานที่สำคัญในระบบการโหลดแบบอัตโนมัติ ส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตของกระบวนการ ปริมาณงาน และความสามารถในการปรับขนาด ของเราReaction-Bonded Silicon Carbide (RBSiC) ไม้พายยื่นยื่นออกมาได้รับการออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่โดดเด่นในจุดที่สำคัญที่สุด—ภายใต้อุณหภูมิสูง รอบการให้ความร้อนซ้ำๆ และข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวด
ความเสถียรที่เหนือกว่าผ่านวิศวกรรมวัสดุขั้นสูง
ผลิตผ่านทางกระบวนการสร้างพันธะปฏิกิริยาไม้พายของเรามีการผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ระหว่างความบริสุทธิ์สูง ความแม่นยำในรูปร่างใกล้เคียงตาข่าย และคุณสมบัติทางเทอร์โมกลที่ยอดเยี่ยม ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการใช้งานที่ต้องการในระบบการจัดการและถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์แบบหุ่นยนต์
ข้อมูลประสิทธิภาพที่สำคัญ
| คุณสมบัติ | หน่วย | ค่าทั่วไป / ข้อมูล |
|---|---|---|
| อุณหภูมิบริการระยะยาว | องศาเซลเซียส | ≤ 1380 |
| ความหนาแน่น | กรัม/ซม.³ | ≥ 3.02 |
| ปรากฏความพรุน | % | ≤ 0.1 |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | MPa | 250 (20°ซ); 281 (1200°ซ) |
| โมดูลัสยืดหยุ่น | เกรดเฉลี่ย | 332 (20°ซ); 300 (1200°ซ) |
| ค่าการนำความร้อน (1200 °C) | W/ม*เค | 45 |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | K⁻¹ * 10⁻⁶ | 4.5 |
| ความแข็งของโมห์ | - | 9 |
| ความต้านทานต่อกรดและด่าง | - | ยอดเยี่ยม |
ข้อดีหลักที่เปิดใช้งานโดย RBSiC
- ความเสถียรของมิติที่ไม่มีใครเทียบได้ที่อุณหภูมิสูง:โครงสร้างที่เชื่อมด้วยปฏิกิริยาช่วยให้มั่นใจได้ถึงการเสียรูปน้อยที่สุดและการคืบคลานเป็นศูนย์ภายใต้ภาระความร้อนที่ยั่งยืน ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรักษาตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำในกระบวนการเตาเผา
- ความสามารถในการรับน้ำหนักและความแข็งสูง:ความต้านทานแรงดัดงอและโมดูลัสที่ดีเยี่ยมรองรับโหลดเวเฟอร์สูงได้อย่างน่าเชื่อถือ ช่วยให้การจัดการมีเสถียรภาพในสภาพแวดล้อมการประมวลผลเป็นชุด
- ปรับให้เหมาะสมสำหรับระบบอัตโนมัติของหุ่นยนต์:ออกแบบมาเพื่อการรวมเข้ากับพอร์ตโหลดอัตโนมัติ หุ่นยนต์ขนถ่าย และระบบการจัดการอย่างราบรื่น ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่ราบรื่น ทำซ้ำได้ และลดอนุภาคลง
- การจับคู่การขยายตัวทางความร้อนที่เหนือกว่า:ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ที่ปรับแต่งมาโดยเฉพาะนั้นตรงกับค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ของเวเฟอร์ซิลิคอนและท่อเตาควอทซ์อย่างใกล้ชิด ซึ่งช่วยลดความเครียดจากความร้อนและความเสี่ยงในการวางแนวที่ไม่ตรงในกระบวนการต่างๆ เช่น LPCVD การแพร่กระจาย และการหลอม
การเปลี่ยนแปลงความสามารถในการปรับขนาดกระบวนการและประสิทธิภาพการดำเนินงาน
การบูรณาการไม้พายยื่นได้ RBSiC ของเราทำให้เกิดความก้าวหน้าที่จับต้องได้ทั้งในด้านขีดความสามารถของกระบวนการและความประหยัดที่ยอดเยี่ยม:
- เปิดใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใหญ่ขึ้นในเครื่องมือที่มีอยู่:ความเสถียรภาคตัดขวางที่ยอดเยี่ยมช่วยให้สามารถติดตั้งท่อเตาเผาที่มีอยู่เพิ่มเติมได้อย่างน่าเชื่อถือสำหรับการประมวลผลเส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์ที่ใหญ่ขึ้น ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ทุน
- ลดการปนเปื้อนของอนุภาค:ความหนาแน่นสูงและพื้นผิวเรียบช่วยลดการสร้างและการยึดเกาะของอนุภาค ช่วยเพิ่มผลผลิตในการใช้งานที่มีความสำคัญต่อห้องคลีนรูมโดยตรง
- ขยายรอบการบำรุงรักษาและการทำความสะอาด:ความต้านทานที่โดดเด่นต่อความเหนื่อยล้าจากความร้อน ออกซิเดชัน และการสัมผัสสารเคมีช่วยยืดระยะเวลาการบริการได้อย่างมาก ลดการหยุดทำงานและต้นทุนสิ้นเปลือง
- ตรวจสอบความสม่ำเสมอของกระบวนการ:ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอตลอดวงจรความร้อนช่วยให้มั่นใจได้ว่าการวางแผ่นเวเฟอร์และโปรไฟล์การทำความร้อนสามารถทำซ้ำได้ ซึ่งสนับสนุนการสะสมฟิล์มที่สม่ำเสมอและการควบคุมกระบวนการ
ความเป็นเลิศทางเทคนิคที่มาจากคุณสมบัติของวัสดุ
โครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมด้วยปฏิกิริยาทำให้เกิดความสมดุลที่เหมาะสมของคุณสมบัติที่จำเป็นสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์:
- ความแข็งแรงทางกลสูงและความเหนียวแตกหัก
- การนำความร้อนที่ดีเยี่ยมพร้อมการขยายตัวทางความร้อนต่ำ
- ความเฉื่อยต่อก๊าซและสภาพแวดล้อมพลาสมาในกระบวนการผลิตส่วนใหญ่
- ความเสถียรในระยะยาวในการออกซิไดซ์และลดบรรยากาศได้ถึง 1380°C
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการติดตั้งเพิ่มและการออกแบบระบบยุคหน้า
ไม่ว่าจะอัปเกรดระบบการจัดการแผ่นเวเฟอร์ที่มีอยู่สำหรับโหนดขั้นสูงหรือการออกแบบอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ยุคใหม่ ไม้พายคานยื่น RBSiC ของเรานำเสนอโซลูชันที่ได้รับการพิสูจน์แล้วและเชื่อถือได้เพื่อเพิ่มความแม่นยำ ความสามารถในการปรับขนาด และความคุ้มค่า
พร้อมที่จะออกแบบความแม่นยำให้กับกระบวนการจัดการแผ่นเวเฟอร์ของคุณแล้วหรือยัง?
ติดต่อทีมเทคนิคของเราเพื่อหารือเกี่ยวกับข้อกำหนดการใช้งานของคุณ ขอไฟล์การออกแบบ หรือสำรวจโซลูชันไม้พายที่ออกแบบเป็นพิเศษซึ่งปรับให้เหมาะกับชุดเครื่องมือและข้อกำหนดกระบวนการของคุณ
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- อีเมล: scarlett.s@kegugroup.com
- โทรศัพท์: 8616602956098
- Whatsapp: 8613390790728
-
Wechat:
Scarlettseren533
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
-
แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีอุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1650 °C ความแข็งแรงในการบิด 380MPa และความทนทานต่อการกัดกร่อน
แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ผลงานที่พัฒนาขึ้นสําหรับการใช้งานที่ต้องการ ภาพรวมสินค้า แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์แบบไม่กระตุ้นแรงกดของเรา เป็นจุดสูงสุดของเทคโนโลยีปิดซิลิคอนการใช้กระบวนการผลิตที่ก้าวหน้ารวมถึงการกดแหวนแหวนขนาดเล็กและการกดไอโซสแตติกสําหรับส่วนประกอบขนาดใหญ่, เราให้บริการแก้ไขการปิดที่ถูกต... -
เครื่องเผาท่อซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกที่กําหนดเองที่มีอุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1650 °C ลดน้ํามัน 20% และมีความทนต่อการกระแทกทางอุณหภูมิ
ท่อเผาไหม้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองและท่อแผ่รังสีแบบมีครีบ ZG Industrial จัดหาท่อเผาไหม้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองและท่อแผ่รังสีแบบมีครีบประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาสำหรับสภาวะที่รุนแรง ท่อคอมโพสิต Si/SiC ของเราให้การถ่ายเทความร้อนที่เหนือกว่า ความทนทานเป็นพิเศษ และการประหยัดพลังงานอย่างมา... -
ช่องฉีดทรายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความทนทานต่อการใช้งานที่ดีกว่า, อายุการใช้งานยาวนานและวิศวกรรมแม่นยําสําหรับการใช้งานอุตสาหกรรม
เครื่องฉีดทรายจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ความทนทานต่อการสวมใส่ที่ดีกว่าสําหรับการใช้งานในการบําบัดพื้นผิวอุตสาหกรรม เครื่องฉีดทรายซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรา ถูกออกแบบมาเพื่อความทนทานและความแม่นยําสูงสุด ในการใช้งานในการบํารุงผิวที่ต้องการผลิตโดยใช้เทคโนโลยีบดแบบไอโซสแตติกที่ทันสมัยและบดความดันโดยไม่ใช้น้ํา... -
เกราะป้องกันร่างกายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ได้รับการรับรองจาก NIJ พร้อมความสามารถในการรับแรงกระแทกหลายครั้งและการป้องกันน้ำหนักเบาเพื่อการป้องกันขีปนาวุธ
เกราะเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์: การป้องกันขีปนาวุธที่เหนือกว่า เกราะเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ขั้นสูงของเราเป็นสุดยอดของเทคโนโลยีวัสดุขีปนาวุธ ผสมผสานความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ (9.5 Mohs) เข้ากับน้ำหนักที่ลดลงอย่างมาก เพื่อมอบการป้องกันที่ไม่เหมือนใครสำหรับบุคลากรและยานพาหนะจากภัยคุกคามความเร็วสูงและเจา...
