Reaksiyona Bağlı Silisyum Karbür (RBSiC) Konsol Kürekler: Yarı İletken Plaka İşleme için Hassas Tasarım
Yarı iletken imalatının hassas odaklı ortamında, levha işleme zincirindeki her bileşen, en yüksek güvenilirliği ve boyutsal bütünlüğü garanti etmelidir. Otomatik yükleme sistemlerinde kritik arayüz olan konsol kanatçıkları, süreç verimini, verimi ve ölçeklenebilirliği doğrudan etkiler. BizimReaksiyon Bağlı Silisyum Karbür (RBSiC) Konsol Kanatlarıen önemli yerlerde (yüksek sıcaklıklar, tekrarlanan termal döngüler ve katı temizlik gereksinimleri) olağanüstü performans sunmak üzere tasarlanmıştır.
Gelişmiş Malzeme Mühendisliği Sayesinde Üstün Kararlılık
aracılığıyla üretilmiştirreaksiyon bağlanma süreci, küreklerimiz yüksek saflık, net şekle yakın hassasiyet ve olağanüstü termo-mekanik özelliklerin benzersiz bir kombinasyonunu elde eder. Bu da onları robotik levha işleme ve transfer sistemlerindeki zorlu uygulamalar için ideal seçim haline getiriyor.
Temel Performans Verileri
| Mülk |
Birim |
Tipik Değer / Veri |
| Uzun Süreli Servis Sıcaklığı |
°C |
≤ 1380 |
| Yoğunluk |
g/cm³ |
≥ 3,02 |
| Görünür Gözeneklilik |
% |
≤ 0,1 |
| Eğilme Dayanımı |
MPa |
250 (20°C); 281 (1200°C) |
| Elastik Modül |
not ortalaması |
332 (20°C); 300 (1200°C) |
| Isıl İletkenlik (1200 °C) |
W/m*K |
45 |
| Termal Genleşme Katsayısı |
K⁻¹ * 10⁻⁶ |
4.5 |
| Mohs Sertliği |
- |
9 |
| Asit ve Alkali Direnci |
- |
Harika |
RBSiC'nin Sağladığı Temel Avantajlar
- Yüksek Sıcaklıkta Eşsiz Boyutsal Kararlılık:Reaksiyona bağlı yapı, sürekli termal yük altında minimum deformasyon ve sıfır kayma sağlar; bu, fırın proseslerinde hassas levha konumlandırmasının korunması için kritik öneme sahiptir.
- Yüksek Yük Taşıma Kapasitesi ve Sertlik:Mükemmel bükülme mukavemeti ve modül, yüksek levha yüklerini güvenilir bir şekilde destekleyerek toplu işleme ortamlarında istikrarlı kullanım sağlar.
- Robotik Otomasyon için Optimize Edildi:Otomatik yükleme bağlantı noktalarına, transfer robotlarına ve taşıma sistemlerine kusursuz entegrasyon sağlayacak şekilde tasarlanmış olup sorunsuz, tekrarlanabilir ve partikülleri en aza indirilmiş çalışma sağlar.
- Üstün Termal Genleşme Eşleşmesi:Özel olarak tasarlanmış Termal Genleşme Katsayısı (CTE), silikon plakalar ve kuvars fırın tüplerininkiyle yakından eşleşerek LPCVD, difüzyon ve tavlama gibi işlemlerde termal stresi ve yanlış hizalama risklerini azaltır.
Süreç Ölçeklenebilirliğini ve Operasyonel Verimliliği Dönüştürüyor
RBSiC konsol kanatlarımızın entegre edilmesi, hem proses kapasitesinde hem de fabrika ekonomisinde somut ilerlemeler sağlar:
- Mevcut Araçlarda Daha Büyük Gofret İşlemeyi Etkinleştirin:Olağanüstü kesit stabilitesi, mevcut fırın borularının daha büyük levha çaplarının işlenmesi için güvenilir bir şekilde yenilenmesine olanak tanıyarak sermaye ekipmanının ömrünü uzatır.
- Parçacık Kirliliğini Azaltın:Yüksek yoğunluk ve pürüzsüz yüzey kalitesi, partikül oluşumunu ve yapışmayı en aza indirerek temiz oda açısından kritik uygulamalarda verimi doğrudan artırır.
- Bakım ve Temizleme Döngülerini Uzatın:Termal yorgunluğa, oksidasyona ve kimyasal maddelere maruz kalmaya karşı olağanüstü direnç, servis aralıklarını önemli ölçüde uzatarak arıza süresini ve sarf malzemesi maliyetlerini azaltır.
- Proses Tekdüzeliğini Sağlayın:Termal döngüler boyunca tutarlı performans, tekrarlanabilir levha yerleştirme ve ısıtma profilleri sağlayarak, tek biçimli film birikimini ve süreç kontrolünü destekler.
Malzeme Özelliklerine Dayalı Teknik Mükemmellik
Reaksiyona bağlı silisyum karbür yapısı, levha kullanımı için gerekli olan özelliklerin optimal dengesini sağlar:
- Yüksek mekanik mukavemet ve kırılma tokluğu
- Düşük termal genleşme ile mükemmel termal iletkenlik
- Proses gazlarının ve plazma ortamlarının çoğuna karşı eylemsizlik
- 1380°C'ye kadar oksitleyici ve indirgeyici atmosferlerde uzun vadeli stabilite
Güçlendirme ve Yeni Nesil Sistem Tasarımı için İdeal
Gelişmiş düğümler için mevcut levha işleme sistemlerini yükseltirken veya yeni nesil yarı iletken üretim ekipmanı tasarlarken, RBSiC konsol kanatçıklarımız gelişmiş hassasiyet, ölçeklenebilirlik ve maliyet etkinliği için kanıtlanmış, güvenilir bir çözüm sunar.
Gofret İşleme Sürecinize Hassasiyet katmaya hazır mısınız?
Uygulama spesifikasyonlarınızı görüşmek, tasarım dosyaları talep etmek veya araç setinize ve proses gereksinimlerinize göre özel olarak tasarlanmış kürek çözümlerini keşfetmek için teknik ekibimizle iletişime geçin.
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
Turkish
