Palettes en carbure de silicium lié par réaction (RBSiC) pour porte-plaquettes : Conçues avec précision pour la manipulation des plaquettes de semi-conducteurs
Dans l'environnement de fabrication de semi-conducteurs axé sur la précision, chaque composant de la chaîne de manipulation des plaquettes doit garantir une fiabilité et une intégrité dimensionnelle maximales. Les palettes en porte-à-faux, en tant qu'interface critique dans les systèmes de chargement automatisés, ont un impact direct sur le rendement des procédés, le débit et l'évolutivité. Nos Palettes en carbure de silicium lié par réaction (RBSiC) pour porte-plaquettes sont conçues pour offrir des performances exceptionnelles là où cela compte le plus : à des températures élevées, lors de cycles thermiques répétés et en respectant des exigences de propreté strictes.
Stabilité supérieure grâce à une ingénierie des matériaux avancée
Fabriquées via le procédé de liaison par réaction, nos palettes atteignent une combinaison unique de haute pureté, de précision proche de la forme nette et de propriétés thermo-mécaniques exceptionnelles. Cela en fait le choix idéal pour les applications exigeantes dans les systèmes robotiques de manipulation et de transfert de plaquettes.
Données de performance clés
| Propriété |
Unité |
Valeur/Donnée typique |
| Température de service à long terme |
°C |
≤ 1380 |
| Densité |
g/cm³ |
≥ 3.02 |
| Porosité apparente |
% |
≤ 0.1 |
| Résistance à la flexion |
MPa |
250 (20°C) ; 281 (1200°C) |
| Module d'élasticité |
GPa |
332 (20°C) ; 300 (1200°C) |
| Conductivité thermique (1200 °C) |
W/m*K |
45 |
| Coefficient de dilatation thermique |
K⁻¹ * 10⁻⁶ |
4.5 |
| Dureté Mohs |
- |
9 |
| Résistance aux acides et aux alcalis |
- |
Excellente |
Principaux avantages offerts par le RBSiC
- Stabilité dimensionnelle inégalée à haute température : La structure liée par réaction garantit une déformation minimale et un fluage nul sous charge thermique soutenue, ce qui est essentiel pour maintenir un positionnement précis des plaquettes dans les procédés de four.
- Capacité de charge et rigidité élevées : Une excellente résistance à la flexion et un module élevé supportent de manière fiable des charges de plaquettes élevées, ce qui permet une manipulation stable dans les environnements de traitement par lots.
- Optimisé pour l'automatisation robotique : Conçu pour une intégration transparente dans les ports de chargement automatisés, les robots de transfert et les systèmes de manipulation, garantissant un fonctionnement fluide, reproductible et minimisant les particules.
- Correspondance supérieure de la dilatation thermique : Le coefficient de dilatation thermique (CTE) adapté correspond étroitement à celui des plaquettes de silicium et des tubes de four en quartz, ce qui réduit les contraintes thermiques et les risques de désalignement dans les procédés tels que le LPCVD, la diffusion et le recuit.
Transformer l'évolutivité des procédés et l'efficacité opérationnelle
L'intégration de nos palettes en porte-à-faux RBSiC permet des avancées tangibles en termes de capacité de traitement et d'économie de fabrication :
- Permettre le traitement de plaquettes plus grandes dans les outils existants : Une stabilité transversale exceptionnelle permet de moderniser de manière fiable les tubes de four existants pour le traitement de diamètres de plaquettes plus grands, prolongeant ainsi le cycle de vie des équipements.
- Réduire la contamination particulaire : La densité élevée et la finition de surface lisse minimisent la génération et l'adhérence des particules, améliorant directement le rendement dans les applications critiques en salle blanche.
- Prolonger les cycles de maintenance et de nettoyage : Une résistance exceptionnelle à la fatigue thermique, à l'oxydation et à l'exposition chimique prolonge considérablement les intervalles d'entretien, réduisant ainsi les temps d'arrêt et les coûts des consommables.
- Garantir l'uniformité du procédé : Des performances constantes sur les cycles thermiques garantissent un placement et des profils de chauffage reproductibles des plaquettes, favorisant le dépôt uniforme de films et le contrôle des procédés.
L'excellence technique enracinée dans les propriétés des matériaux
La structure en carbure de silicium lié par réaction offre un équilibre optimal des propriétés essentielles pour la manipulation des plaquettes :
- Haute résistance mécanique et ténacité à la rupture
- Excellente conductivité thermique avec faible dilatation thermique
- Inertie à la plupart des gaz de procédé et aux environnements plasma
- Stabilité à long terme dans les atmosphères oxydantes et réductrices jusqu'à 1380°C
Idéal pour la modernisation et la conception de systèmes de nouvelle génération
Qu'il s'agisse de moderniser les systèmes de manipulation de plaquettes existants pour les nœuds avancés ou de concevoir des équipements de fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération, nos palettes en porte-à-faux RBSiC offrent une solution éprouvée et fiable pour une précision, une évolutivité et une rentabilité accrues.
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