logo
Καλώς ήρθατε στο Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

Πλέκα καρβιδίου του πυριτίου που συνδέεται με αντίδραση με θερμοκρασία 1380 °C μακροχρόνιας χρήσης, υψηλή αντοχή φορτίου και ανώτερη θερμική επέκταση για χειρισμό κυψελών ημιαγωγών

Σύνοψη του προϊόντος
Κάντιλιβερ Πάνδρες Καρβιδίου Σίλη (RBSiC) Συνδεδεμένων με Αντίδραση: Τεχνική ακρίβειας για το χειρισμό των ημιαγωγών σφαιρών Στο περιβάλλον της κατασκευής ημιαγωγών, όπου η ακρίβεια καθοδηγείται, κάθε συστατικό μέσα στην αλυσίδα επεξεργασίας των πλακών πρέπει να εγγυάται τη μέγιστη αξιοπιστία και ακ...

Λεπτομέρειες προιόντος

Επισημαίνω:

1380°C Εναρτισμένη με αντιδραστική σύνδεση πλέκα καρβιδίου του πυριτίου

,

Εναρμονισμένη με αντιδραστική σύνδεση πλέκα καρβιδίου του πυριτίου

Long-Term Service Temperature: ≤ 1380°C
Density: ≥ 3,02 g/cm³
Apparent Porosity: ≤ 0,1%
Flexural Strength: 250MPa (20°C); 281 MPa (1200°C)
Elastic Modulus: 332GPa (20°C); 300GPa (1200°C)
Thermal Conductivity (1200 °C): 45W/m*K
Coefficient Of Thermal Expansion: 4,5 K-1 * 10-6
Mohs Hardness: 9
Acid & Alkali Resistance: Εξοχος
Περιγραφή προϊόντων
Κάντιλιβερ Πάνδρες Καρβιδίου Σίλη (RBSiC) Συνδεδεμένων με Αντίδραση: Τεχνική ακρίβειας για το χειρισμό των ημιαγωγών σφαιρών
Στο περιβάλλον της κατασκευής ημιαγωγών, όπου η ακρίβεια καθοδηγείται, κάθε συστατικό μέσα στην αλυσίδα επεξεργασίας των πλακών πρέπει να εγγυάται τη μέγιστη αξιοπιστία και ακεραιότητα των διαστάσεων.ως κρίσιμη διεπαφή σε αυτόματα συστήματα φόρτωσης, άμεση επίδραση στην απόδοση της διαδικασίας, την απόδοση και την επεκτασιμότητα.Εναλλακτικές συσκευές για την κατασκευή ηλεκτρικών συστοιχιώνείναι σχεδιασμένα για να προσφέρουν εξαιρετικές επιδόσεις όπου είναι πιο σημαντικό, υπό υψηλές θερμοκρασίες, επαναλαμβανόμενους θερμικούς κύκλους και αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας.
Ανώτερη σταθερότητα μέσω προηγμένης μηχανικής υλικών
Κατασκευάζεται μέσω τηςδιαδικασία σύνδεσης από αντίδραση, οι κουπίες μας επιτυγχάνουν έναν μοναδικό συνδυασμό υψηλής καθαρότητας, σχεδόν καθαρής ακρίβειας και εξαιρετικών θερμομηχανικών ιδιοτήτων.Αυτό τους καθιστά την ιδανική επιλογή για απαιτητικές εφαρμογές σε ρομποτικά συστήματα επεξεργασίας και μεταφοράς πλακών.
Βασικά δεδομένα απόδοσης
Ιδιοκτησία Μονάδα Τυπική τιμή / δεδομένα
Διαρκής θερμοκρασία λειτουργίας °C ≤ 1380
Σφιχτότητα g/cm3 ≥ 3.02
Φαινομενική πορώς % ≤ 0.1
Δύναμη κάμψης MPa 250 (20°C), 281 (1200°C)
Ελαστικός Μοδούλος ΓΠΑ 332 (20°C); 300 (1200°C)
Θερμική αγωγιμότητα (1200 °C) W/m*K 45
Συντελεστής θερμικής διαστολής K−1 * 10−6 4.5
Σκληρότητα Mohs - 9
Αντίσταση σε οξέα και αλκαλία - Εξαιρετικό.
Βασικά πλεονεκτήματα που παρέχει το RBSiC
  • Αξεπέραστη σταθερότητα διαστάσεων σε υψηλές θερμοκρασίες:Η δομή που συνδέεται με την αντίδραση εξασφαλίζει ελάχιστη παραμόρφωση και μηδενική σύρση υπό διαρκές θερμικό φορτίο, κρίσιμη για τη διατήρηση της ακριβούς τοποθέτησης της πλάκας σε διαδικασίες φούρνου.
  • Υψηλή αντοχή φορτίου και δυσκαμψία:Η εξαιρετική ελαστική αντοχή και το εύρος υποστήριξης υποστηρίζουν αξιόπιστα υψηλά φορτία πλακών, επιτρέποντας σταθερό χειρισμό σε περιβάλλοντα επεξεργασίας παρτίδων.
  • Βελτιστοποιημένο για ρομποτική αυτοματοποίηση:Σχεδιασμένο για απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε αυτοματοποιημένα λιμάνια φόρτωσης, ρομπότ μεταφοράς και συστήματα χειρισμού, εξασφαλίζοντας ομαλή, επαναλαμβανόμενη και ελαχιστοποιημένη λειτουργία σωματιδίων.
  • Αντιστοιχία ανώτερης θερμικής επέκτασης:Ο προσαρμοσμένος συντελεστής θερμικής διαστολής (CTE) ταιριάζει στενά με αυτόν των πλακιδίων πυριτίου και των σωλήνων φούρνου κουαρτζού, μειώνοντας τη θερμική πίεση και τους κινδύνους δυσσύνδεσης σε διαδικασίες όπως η LPCVD,διάχυση, και αναψύκνωση.
Μετατροπή της κλιμακωτότητας διαδικασίας και της λειτουργικής αποτελεσματικότητας
Η ενσωμάτωση των RBSiC ανεξάρτητων πεδίδων μας επιτρέπει απτές εξελίξεις τόσο στην ικανότητα της διαδικασίας όσο και στην οικονομία κατασκευής:
  • Ενεργοποίηση μεγαλύτερων κυψελών σε υπάρχοντα εργαλεία:Η εξαιρετική σταθερότητα της εγκάρσιας τομής επιτρέπει την αξιόπιστη αναβάθμιση των υφιστάμενων σωλήνων φούρνου για την επεξεργασία μεγαλύτερων διαμέτρων πλακιδίων, παρατείνοντας τον κύκλο ζωής του κεφαλαιουχικού εξοπλισμού.
  • Μείωση της μόλυνσης από σωματίδια:Η υψηλή πυκνότητα και η ομαλή επιφάνεια ελαχιστοποιούν την παραγωγή σωματιδίων και την προσκόλληση, βελτιώνοντας άμεσα την απόδοση σε κρίσιμες εφαρμογές καθαρών δωματίων.
  • Διεύρυνση των κύκλων συντήρησης και καθαρισμού:Η εξαιρετική αντοχή στην θερμική κόπωση, την οξείδωση και την έκθεση σε χημικές ουσίες παρατείνει σημαντικά τα διαστήματα συντήρησης, μειώνοντας τον χρόνο στάσης και το κόστος των καταναλωτικών προϊόντων.
  • Διασφάλιση της ομοιομορφίας των διαδικασιών:Η σταθερή απόδοση σε θερμικούς κύκλους εξασφαλίζει επαναλαμβανόμενη τοποθέτηση των πλακιδίων και προφίλ θέρμανσης, υποστηρίζοντας την ομοιόμορφη εναπόθεση φιλμ και τον έλεγχο της διαδικασίας.
Τεχνική Αριστεία Βασισμένη στις Ιδιότητες των Υλικών
Η δομή του καρβιδίου του πυριτίου που συνδέεται με την αντίδραση παρέχει τη βέλτιστη ισορροπία των ιδιτήτων που είναι απαραίτητες για τον χειρισμό των πλακών:
  • Υψηλή μηχανική αντοχή και αντοχή σε σπασμούς
  • Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα με χαμηλή θερμική επέκταση
  • Αδράνεια στα περισσότερα αέρια της διαδικασίας και περιβάλλοντα πλάσματος
  • Μακροχρόνια σταθερότητα σε ατμόσφαιρες οξείδωσης και μείωσης έως 1380 °C
Ιδανικό για αναβάθμιση και σχεδιασμό συστήματος επόμενης γενιάς
Είτε είναι η αναβάθμιση των υφιστάμενων συστημάτων επεξεργασίας πλακιδίων για προηγμένους κόμβους είτε ο σχεδιασμός εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών επόμενης γενιάς, οι ανεξάρτητες πεδάλες RBSiC προσφέρουν μια αποδεδειγμένη,αξιόπιστη λύση για αυξημένη ακρίβεια, κλιμακωτότητα και οικονομική απόδοση.
Έτοιμοι να σχεδιάσετε την ακρίβεια στη διαδικασία επεξεργασίας των κυψελών σας;
Επικοινωνήστε με την τεχνική ομάδα μας για να συζητήσετε τις προδιαγραφές της εφαρμογής σας, να ζητήσετε αρχεία σχεδιασμού ή να εξερευνήσετε προσαρμοσμένες λύσεις paddle προσαρμοσμένες στις απαιτήσεις εργαλείων και διαδικασιών σας.
Σχετικά Προϊόντα

Στείλε Ερευνά