Pływy z węglem krzemowym związanym reakcją (RBSiC): precyzyjnie zaprojektowane do obróbki płyt półprzewodnikowych
W precyzyjnym środowisku produkcji półprzewodników każdy komponent w łańcuchu obróbki płytek musi gwarantować najwyższą niezawodność i integralność wymiarową.jako interfejs krytyczny w zautomatyzowanych systemach załadunku, bezpośrednio wpływają na wydajność procesu, przepustowość i skalowalność.Płyty z węglem krzemowym związanym reakcją (RBSiC)są zaprojektowane tak, aby zapewniały wyjątkową wydajność tam, gdzie jest to najważniejsze, w warunkach wysokich temperatur, powtarzających się cykli termicznych i rygorystycznych wymogów czystości.
Wyższa stabilność dzięki zaawansowanej inżynierii materiałowej
Produkowane przezproces reakcyjnego wiązaniaNasze wiosły osiągają wyjątkowe połączenie wysokiej czystości, precyzji w kształcie sieci i wyjątkowych właściwości termo-mechanicznych.Dzięki temu są idealnym wyborem dla wymagających zastosowań w systemach obróbki i przenoszenia płytek.
Kluczowe dane dotyczące wydajności
| Nieruchomości |
Jednostka |
Typowa wartość / dane |
| Długotrwała temperatura użytkowania |
°C |
≤ 1380 |
| Gęstość |
g/cm3 |
≥ 3.02 |
| Widoczna porowatość |
% |
≤ 0.1 |
| Siła zgięcia |
MPa |
250 (20°C); 281 (1200°C) |
| Elastyczny moduł |
GPa |
332 (20°C); 300 (1200°C) |
| Przewodność cieplna (1200 °C) |
W/m*K |
45 |
| Współczynnik rozszerzania cieplnego |
K−1 * 10−6 |
4.5 |
| Twardość Mohsa |
- |
9 |
| Odporność na kwasy i alkalie |
- |
Świetnie. |
Podstawowe zalety RBSiC
- Bezkonkurencyjna stabilność wymiarowa w wysokich temperaturach:Struktura związana z reakcją zapewnia minimalne deformacje i zerowe schodzenie pod trwałym obciążeniem termicznym, co jest kluczowe dla utrzymania precyzyjnego położenia płytki w procesach piecowych.
- Wysoka wytrzymałość i sztywność:Doskonała wytrzymałość gięcia i moduł podtrzymują niezawodnie duże obciążenia płytek, umożliwiając stabilną obsługę w środowiskach przetwarzania partii.
- Optymalizowane do automatyzacji robotycznej:Zaprojektowany do bezproblemowej integracji z zautomatyzowanymi portami załadunku, robotami przenoszącymi i systemami obsługi, zapewniając płynną, powtarzalną i zminimalizowaną emisję cząstek.
- Wyższa dopasowanie rozszerzenia termicznego:Dostosowany współczynnik rozszerzenia termicznego (CTE) ściśle odpowiada współczynnikowi rozszerzenia termicznego płytek krzemowych i rur piecowych kwarcowych, zmniejszając naprężenie termiczne i ryzyko nieprawidłowego wyrównania w procesach takich jak LPCVD,dyfuzja, i wygrzewanie.
Transformacja skalowalności procesów i efektywności operacyjnej
Zintegrowanie naszych wiatrów RBSiC pozwala na wyraźne postępy zarówno w zakresie zdolności procesów, jak i ekonomii fabryki:
- Umożliwienie przetwarzania większych płytek w istniejących narzędziach:Wyjątkowa stabilność przekroju poprzecznego umożliwia niezawodną modernizację istniejących rur piecowych do obróbki większych średnic płytek, wydłużając cykl życia urządzeń inwestycyjnych.
- Zmniejszenie zanieczyszczenia cząstkami:Wysoka gęstość i gładkie wykończenie powierzchni minimalizują wytwarzanie cząstek i przyczepność, bezpośrednio poprawiając wydajność w krytycznych zastosowaniach w czystych pomieszczeniach.
- Rozszerzenie cykli konserwacji i czyszczenia:Wyjątkowa odporność na zmęczenie termiczne, utlenianie i narażenie na działanie chemiczne znacznie przedłuża interwał serwisowania, zmniejsza czas przestojów i koszty zużycia.
- Zapewnienie jednolitego procesu:Konsekwentna wydajność w cyklach termicznych zapewnia powtarzalne umieszczanie płytek i profile grzewcze, wspierające jednolite osadzanie folii i kontrolę procesu.
Doskonałość techniczna oparta na właściwościach materiału
Struktura węglika krzemowego związana reakcją zapewnia optymalną równowagę właściwości niezbędnych do obsługi płytek:
- Wysoka wytrzymałość mechaniczna i wytrzymałość na złamania
- Doskonała przewodność cieplna przy niskiej ekspansji cieplnej
- Bezczynność w większości gazów procesowych i środowisk plazmowych
- Długotrwała stabilność w atmosferze utleniającej i redukującej do 1380°C
Idealne do modernizacji i projektowania systemów nowej generacji
Niezależnie od tego, czy jest to modernizacja istniejących systemów obróbki płytek dla zaawansowanych węzłów, czy projektowanie nowej generacji sprzętu do produkcji półprzewodników, nasze płotki RBSiC oferują sprawdzone,niezawodne rozwiązanie dla zwiększonej precyzji, skalowalność i opłacalność.
Gotowi na wprowadzenie precyzji w procesy obróbki płytek?
Skontaktuj się z naszym zespołem technicznym, aby omówić specyfikacje aplikacji, poprosić o pliki projektowe lub zbadać niestandardowo zaprojektowane rozwiązania wiosłowe dostosowane do Twojego zestawu narzędzi i wymagań procesów.
Twoja wiadomość musi mieć od 20 do 3000 znaków!
Polish
