Paddle z węglem krzemu związanym reakcją o długotrwałej temperaturze 1380 °C, wysokiej zdolności nośnej i lepszej rozszerzalności termicznej do obsługi półprzewodników
Podsumowanie produktu
Łopatki wspornikowe z węglika krzemu wiązane reakcyjnie (RBSiC): precyzyjnie zaprojektowane do obsługi płytek półprzewodnikowych W wymagającym precyzji środowisku produkcji półprzewodników każdy komponent w łańcuchu przenoszenia płytek musi gwarantować najwyższą niezawodność i integralność wymiarową...
Szczegóły produktu
Podkreślić:
Paddle do węglowodorów krzemowych połączonych w reakcji 1380°C
,Paddle z węglem krzemowym związanym reakcją
Long-Term Service Temperature:
≤ 1380°C
Density:
≥ 3,02 g/cm3
Apparent Porosity:
≤ 0,1%
Flexural Strength:
250 MPa (20°C); 281 MPa (1200°C)
Elastic Modulus:
332GPa (20°C); 300GPa (1200°C)
Thermal Conductivity (1200 °C):
45 W/m*K
Coefficient Of Thermal Expansion:
4,5K⁻¹ * 10⁻⁶
Mohs Hardness:
9
Acid & Alkali Resistance:
Doskonały
Opis produktu
Łopatki wspornikowe z węglika krzemu wiązane reakcyjnie (RBSiC): precyzyjnie zaprojektowane do obsługi płytek półprzewodnikowych
W wymagającym precyzji środowisku produkcji półprzewodników każdy komponent w łańcuchu przenoszenia płytek musi gwarantować najwyższą niezawodność i integralność wymiarową. Łopatki wspornikowe, jako krytyczny interfejs w zautomatyzowanych systemach ładowania, bezpośrednio wpływają na wydajność procesu, przepustowość i skalowalność. NaszŁopatki wspornikowe z węglika krzemu wiązane reakcyjnie (RBSiC).zostały zaprojektowane tak, aby zapewniać wyjątkową wydajność tam, gdzie ma to największe znaczenie — w wysokich temperaturach, powtarzających się cyklach termicznych i rygorystycznych wymaganiach dotyczących czystości.
Doskonała stabilność dzięki zaawansowanej inżynierii materiałowej
Wyprodukowano poprzezproces wiązania reakcyjnegonasze łopatki osiągają unikalne połączenie wysokiej czystości, precyzji kształtu bliskiej siatce i wyjątkowych właściwości termomechanicznych. To sprawia, że są idealnym wyborem do wymagających zastosowań w zrobotyzowanych systemach transportu i przenoszenia płytek.
Kluczowe dane dotyczące wydajności
| Nieruchomość | Jednostka | Typowa wartość/dane |
|---|---|---|
| Długoterminowa temperatura pracy | °C | ≤ 1380 |
| Gęstość | g/cm3 | ≥ 3,02 |
| Pozorna porowatość | % | ≤ 0,1 |
| Wytrzymałość na zginanie | MPa | 250 (20°C); 281 (1200°C) |
| Moduł sprężystości | GPa | 332 (20°C); 300 (1200°C) |
| Przewodność cieplna (1200°C) | W/m*K | 45 |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej | K⁻¹ * 10⁻⁶ | 4,5 |
| Twardość Mohsa | - | 9 |
| Odporność na kwasy i zasady | - | Doskonały |
Podstawowe zalety możliwe dzięki RBSiC
- Niezrównana stabilność wymiarowa w wysokiej temperaturze:Struktura łączona reakcyjnie zapewnia minimalne odkształcenie i zerowe pełzanie pod długotrwałym obciążeniem termicznym, co ma kluczowe znaczenie dla utrzymania precyzyjnego pozycjonowania płytek w procesach piecowych.
- Wysoka nośność i sztywność:Doskonała wytrzymałość na zginanie i moduł niezawodnie wytrzymują duże obciążenia płytek, umożliwiając stabilną obsługę w środowiskach przetwarzania wsadowego.
- Zoptymalizowany pod kątem automatyzacji robotycznej:Zaprojektowany z myślą o bezproblemowej integracji z zautomatyzowanymi portami załadunkowymi, robotami transferowymi i systemami manipulacyjnymi, zapewniając płynną, powtarzalną i minimalną ilość cząstek.
- Doskonałe dopasowanie rozszerzalności cieplnej:Dostosowany współczynnik rozszerzalności cieplnej (CTE) ściśle odpowiada współczynnikowi rozszerzalności płytek krzemowych i rur pieca kwarcowego, zmniejszając naprężenia termiczne i ryzyko niewspółosiowości w procesach takich jak LPCVD, dyfuzja i wyżarzanie.
Transformacja skalowalności procesów i wydajności operacyjnej
Integracja naszych łopatek wspornikowych RBSiC umożliwia wymierne postępy zarówno w zakresie wydajności procesu, jak i ekonomiki fabryki:
- Włącz większe przetwarzanie płytek w istniejących narzędziach:Wyjątkowa stabilność przekroju poprzecznego umożliwia niezawodną modernizację istniejących rur piecowych do obróbki płytek o większych średnicach, wydłużając cykl życia wyposażenia kapitałowego.
- Zmniejsz zanieczyszczenie cząstkami:Wysoka gęstość i gładkie wykończenie powierzchni minimalizują powstawanie cząstek i przyczepność, bezpośrednio poprawiając wydajność w zastosowaniach o krytycznym znaczeniu dla pomieszczeń czystych.
- Wydłuż cykle konserwacji i czyszczenia:Wyjątkowa odporność na zmęczenie cieplne, utlenianie i działanie substancji chemicznych znacznie wydłuża okresy międzyobsługowe, redukując przestoje i koszty materiałów eksploatacyjnych.
- Zapewnij jednolitość procesu:Stała wydajność w cyklach termicznych zapewnia powtarzalne umieszczanie płytek i profile ogrzewania, wspierając równomierne osadzanie folii i kontrolę procesu.
Doskonałość techniczna zakorzeniona we właściwościach materiału
Reakcyjnie związana struktura węglika krzemu zapewnia optymalną równowagę właściwości niezbędnych do obsługi płytek:
- Wysoka wytrzymałość mechaniczna i odporność na pękanie
- Doskonała przewodność cieplna przy niskiej rozszerzalności cieplnej
- Obojętność na większość gazów procesowych i środowisk plazmowych
- Długoterminowa stabilność w atmosferze utleniającej i redukującej do 1380°C
Idealny do modernizacji i projektowania systemów nowej generacji
Niezależnie od tego, czy modernizujesz istniejące systemy obsługi płytek w zaawansowanych węzłach, czy projektujesz sprzęt do produkcji półprzewodników nowej generacji, nasze łopatki wspornikowe RBSiC oferują sprawdzone, niezawodne rozwiązanie zapewniające większą precyzję, skalowalność i opłacalność.
Gotowy do wprowadzenia precyzji w procesie obsługi płytek?
Skontaktuj się z naszym zespołem technicznym, aby omówić specyfikacje aplikacji, poprosić o pliki projektowe lub zapoznać się z niestandardowymi rozwiązaniami łopatkowymi dostosowanymi do Twojego zestawu narzędzi i wymagań procesowych.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- Wiadomość e-mail: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel.: 8616602956098
- WhatsApp: 8613390790728
-
WeChat:
Scarlettseren533
Powiązane produkty
-
Pierścienie uszczelniające z węglanu krzemowego o maksymalnej temperaturze użytkowania 1650 °C, wytrzymałości na gięcie 380 MPa i odporności na korozję
Pierścienie uszczelniające z węglanu krzemu (SiC) Zaawansowana wydajność dla wymagających zastosowań Przegląd produktu Nasze bezciśnieniowe zsinterowane pierścienie uszczelniające z węglanu krzemowego stanowią szczyt technologii uszczelniającej, zaprojektowane tak, by zapewnić niezrównaną wydajność ... -
Niestandardowe płomienie rur keramicznych z węglem krzemowym o maksymalnej temperaturze eksploatacji 1650 °C, 20% redukcji zużycia paliwa i odporności na wstrząsy termiczne
Specjalnie zaprojektowane paliwa do rur z węglowodorku krzemowego ZG Industrial dostarcza wysokiej wydajności specjalnie zaprojektowane płomienie do rur z węglem krzemu i rury promieniowania z płetwami.Nasze kompozytowe rurki Si/SiC zapewniają lepszy transfer ciepła, wyjątkowa trwałość i znaczne ... -
Dysza do piaskowania z węglika krzemu o doskonałej odporności na zużycie, wydłużonej żywotności i precyzyjnej konstrukcji do zastosowań przemysłowych
Dźwiedzi do piaskowania z węglanu krzemowego (SiC) Wyższa odporność na zużycie w zastosowaniach przemysłowych do obróbki powierzchni Nasze dyszki do piaskowania węglem krzemowym są zaprojektowane z myślą o ekstremalnej trwałości i precyzji w wymagających zastosowaniach do obróbki powierzchni... -
Certyfikowana przez NIJ zbroja z węglanu krzemowego z możliwością wielokrotnego uderzenia i lekką obroną przeciw balistycznej ochronie
Ceramiczna zbroja z węglanu krzemowego: lepsza ochrona balistyczna Nasze zaawansowane ceramiczne pancerze z węglanu krzemu (SiC) stanowią szczyt technologii materiałów balistycznych, łącząc wyjątkową twardość (9.5 Mohs) o znacząco zmniejszonej masie, zapewniając niezrównaną ochronę personelu i ...
