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घर / उत्पादों / सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक / प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पैडल 1380°C दीर्घकालिक सेवा तापमान उच्च भार-वाहक क्षमता और अर्धचालक वेफर हैंडलिंग के लिए बेहतर थर्मल विस्तार मैच के साथ
गुणवत्ता प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पैडल 1380°C दीर्घकालिक सेवा तापमान उच्च भार-वाहक क्षमता और अर्धचालक वेफर हैंडलिंग के लिए बेहतर थर्मल विस्तार मैच के साथ कारखाना
गुणवत्ता प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पैडल 1380°C दीर्घकालिक सेवा तापमान उच्च भार-वाहक क्षमता और अर्धचालक वेफर हैंडलिंग के लिए बेहतर थर्मल विस्तार मैच के साथ कारखाना
गुणवत्ता प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पैडल 1380°C दीर्घकालिक सेवा तापमान उच्च भार-वाहक क्षमता और अर्धचालक वेफर हैंडलिंग के लिए बेहतर थर्मल विस्तार मैच के साथ कारखाना
गुणवत्ता प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पैडल 1380°C दीर्घकालिक सेवा तापमान उच्च भार-वाहक क्षमता और अर्धचालक वेफर हैंडलिंग के लिए बेहतर थर्मल विस्तार मैच के साथ कारखाना
गुणवत्ता प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पैडल 1380°C दीर्घकालिक सेवा तापमान उच्च भार-वाहक क्षमता और अर्धचालक वेफर हैंडलिंग के लिए बेहतर थर्मल विस्तार मैच के साथ कारखाना

प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पैडल 1380°C दीर्घकालिक सेवा तापमान उच्च भार-वाहक क्षमता और अर्धचालक वेफर हैंडलिंग के लिए बेहतर थर्मल विस्तार मैच के साथ

टैग

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक

बिना दबाव वाले सिंटर किए गए एसआईसी

इस प्रकार मिट्टी के पात्र
उत्पाद सारांश
रिएक्शन-बॉन्डेड सिलिकॉन कार्बाइड (आरबीएसआईसी) कैंटिलीवर पैडल: सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग के लिए सटीक इंजीनियर अर्धचालक निर्माण के परिशुद्धता-संचालित वातावरण में, वेफर हैंडलिंग श्रृंखला के प्रत्येक घटक को अत्यधिक विश्वसनीयता और आयामी अखंडता की गारंटी देनी चाहिए। कैंटिलीवर पैडल, स्वचालित लोडिंग सिस्टम ...

उत्पाद का विवरण

प्रमुखता देना:

1380°C प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पेडल

,

प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड पेडल
Long-Term Service Temperature: ≤ 1380°C
Density: ≥ 3.02 ग्राम/सेमी³
Apparent Porosity: ≤ 0.1%
Flexural Strength: 250MPa (20°C); 281MPa (1200°C)
Elastic Modulus: 332GPa (20°C); 300GPa (1200°C)
Thermal Conductivity (1200 °C): 45W/m*K
Coefficient Of Thermal Expansion: 4.5K⁻¹ * 10⁻⁶
Mohs Hardness: 9
Acid & Alkali Resistance: उत्कृष्ट
उत्पाद का वर्णन
रिएक्शन-बॉन्डेड सिलिकॉन कार्बाइड (आरबीएसआईसी) कैंटिलीवर पैडल: सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग के लिए सटीक इंजीनियर
अर्धचालक निर्माण के परिशुद्धता-संचालित वातावरण में, वेफर हैंडलिंग श्रृंखला के प्रत्येक घटक को अत्यधिक विश्वसनीयता और आयामी अखंडता की गारंटी देनी चाहिए। कैंटिलीवर पैडल, स्वचालित लोडिंग सिस्टम में महत्वपूर्ण इंटरफ़ेस के रूप में, सीधे प्रक्रिया उपज, थ्रूपुट और स्केलेबिलिटी को प्रभावित करते हैं। हमारारिएक्शन-बॉन्डेड सिलिकॉन कार्बाइड (आरबीएसआईसी) कैंटिलीवर पैडलइन्हें असाधारण प्रदर्शन देने के लिए इंजीनियर किया गया है जहां यह सबसे अधिक मायने रखता है - उच्च तापमान, बार-बार थर्मल चक्र और कठोर सफाई आवश्यकताओं के तहत।
उन्नत सामग्री इंजीनियरिंग के माध्यम से बेहतर स्थिरता
के माध्यम से निर्मितप्रतिक्रिया-बंधन प्रक्रिया, हमारे पैडल उच्च शुद्धता, निकट-नेट-आकार परिशुद्धता और असाधारण थर्मो-मैकेनिकल गुणों का एक अद्वितीय संयोजन प्राप्त करते हैं। यह उन्हें रोबोटिक वेफर हैंडलिंग और ट्रांसफर सिस्टम में मांग वाले अनुप्रयोगों के लिए आदर्श विकल्प बनाता है।
मुख्य प्रदर्शन डेटा
संपत्ति इकाई विशिष्ट मूल्य/डेटा
दीर्घकालिक सेवा तापमान डिग्री सेल्सियस ≤ 1380
घनत्व जी/सेमी³ ≥ 3.02
स्पष्ट सरंध्रता % ≤ 0.1
आनमनी सार्मथ्य एमपीए 250 (20°C); 281 (1200°C)
लोचदार मापांक जीपीए 332 (20°C); 300 (1200°C)
तापीय चालकता (1200 डिग्री सेल्सियस) डब्ल्यू/एम*के 45
थर्मल विस्तार का गुणांक क⁻¹*10⁻⁶ 4.5
मोहस कठोरता - 9
अम्ल एवं क्षार प्रतिरोध - उत्कृष्ट
आरबीएसआईसी द्वारा सक्षम मुख्य लाभ
  • उच्च तापमान पर बेजोड़ आयामी स्थिरता:प्रतिक्रिया-बंधित संरचना निरंतर तापीय भार के तहत न्यूनतम विरूपण और शून्य रेंगना सुनिश्चित करती है, जो भट्टी प्रक्रियाओं में सटीक वेफर स्थिति बनाए रखने के लिए महत्वपूर्ण है।
  • उच्च भार-वहन क्षमता और कठोरता:उत्कृष्ट लचीली ताकत और मापांक विश्वसनीय रूप से उच्च वेफर लोड का समर्थन करते हैं, जिससे बैच प्रसंस्करण वातावरण में स्थिर हैंडलिंग सक्षम होती है।
  • रोबोटिक स्वचालन के लिए अनुकूलित:स्वचालित लोड पोर्ट, ट्रांसफर रोबोट और हैंडलिंग सिस्टम में निर्बाध एकीकरण के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो सुचारू, दोहराने योग्य और कण-न्यूनतम संचालन सुनिश्चित करता है।
  • सुपीरियर थर्मल विस्तार मैच:थर्मल एक्सपेंशन (सीटीई) का सिलवाया गुणांक सिलिकॉन वेफर्स और क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबों से काफी मेल खाता है, जो एलपीसीवीडी, प्रसार और एनीलिंग जैसी प्रक्रियाओं में थर्मल तनाव और मिसलिग्न्मेंट जोखिम को कम करता है।
परिवर्तन प्रक्रिया स्केलेबिलिटी और परिचालन दक्षता
हमारे आरबीएसआईसी कैंटिलीवर पैडल को एकीकृत करने से प्रक्रिया क्षमता और फैब अर्थशास्त्र दोनों में ठोस प्रगति संभव हो पाती है:
  • मौजूदा उपकरणों में बड़े वेफर प्रसंस्करण को सक्षम करें:असाधारण क्रॉस-सेक्शनल स्थिरता मौजूदा भट्टी ट्यूबों को बड़े वेफर व्यास के प्रसंस्करण के लिए विश्वसनीय रूप से रेट्रोफिट करने की अनुमति देती है, जिससे पूंजीगत उपकरणों के जीवनचक्र का विस्तार होता है।
  • कण संदूषण कम करें:उच्च घनत्व और चिकनी सतह फिनिश कण उत्पादन और आसंजन को कम करती है, जिससे क्लीनरूम-महत्वपूर्ण अनुप्रयोगों में उपज में सीधे सुधार होता है।
  • रखरखाव और सफाई चक्र बढ़ाएँ:थर्मल थकान, ऑक्सीकरण और रासायनिक जोखिम के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध सेवा अंतराल को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाता है, जिससे डाउनटाइम और उपभोज्य लागत कम हो जाती है।
  • प्रक्रिया की एकरूपता सुनिश्चित करें:थर्मल चक्रों में लगातार प्रदर्शन दोहराए जाने योग्य वेफर प्लेसमेंट और हीटिंग प्रोफाइल सुनिश्चित करता है, समान फिल्म जमाव और प्रक्रिया नियंत्रण का समर्थन करता है।
तकनीकी उत्कृष्टता भौतिक गुणों में निहित है
प्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड संरचना वेफर हैंडलिंग के लिए आवश्यक गुणों का इष्टतम संतुलन प्रदान करती है:
  • उच्च यांत्रिक शक्ति और फ्रैक्चर क्रूरता
  • कम तापीय विस्तार के साथ उत्कृष्ट तापीय चालकता
  • अधिकांश प्रक्रिया गैसों और प्लाज्मा वातावरणों में जड़ता
  • 1380 डिग्री सेल्सियस तक वायुमंडल को ऑक्सीकरण और कम करने में दीर्घकालिक स्थिरता
रेट्रोफ़िट और अगली पीढ़ी के सिस्टम डिज़ाइन के लिए आदर्श
चाहे उन्नत नोड्स के लिए मौजूदा वेफर हैंडलिंग सिस्टम को अपग्रेड करना हो या अगली पीढ़ी के सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण को डिजाइन करना हो, हमारे आरबीएसआईसी कैंटिलीवर पैडल उन्नत परिशुद्धता, स्केलेबिलिटी और लागत-प्रभावशीलता के लिए एक सिद्ध, विश्वसनीय समाधान प्रदान करते हैं।
क्या आप अपनी वेफ़र हैंडलिंग प्रक्रिया में परिशुद्धता इंजीनियर करने के लिए तैयार हैं?
अपने एप्लिकेशन विनिर्देशों पर चर्चा करने, डिज़ाइन फ़ाइलों का अनुरोध करने, या अपने टूलसेट और प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुरूप कस्टम-इंजीनियर्ड पैडल समाधान तलाशने के लिए हमारी तकनीकी टीम से संपर्क करें।

Miss. Scarlett.S

Deputy Head of Foreign Trade Department

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