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홈 제품 소개반응 결합 실리콘 탄화물

1380°C 장기 사용 온도, 높은 하중 지지력, 반도체 웨이퍼 핸들링에 적합한 우수한 열팽창 계수를 가진 반응 소결 탄화규소 패들

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중국 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd 인증
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고객 검토
NGK는 산시 케구와의 오랜 파트너십을 소중히 여기고 있습니다. 그들의 SSiC 세라믹은 품질과 혁신에 탁월하며, 우리의 상호 성공을 이끌고 있습니다.

—— NGK 열 기술 회사

후이커는 신뢰, 혁신, 그리고 공동의 우수성을 바탕으로 하는 산시 커구 신소재 기술 유한 회사와의 오랜 파트너십에 자부심을 느낍니다. SSiC 세라믹에 대한 그들의 전문 지식과 안정적인 솔루션은 지속적으로 저희 프로젝트를 지원해 왔습니다.

—— 쑤저우 후이커 기술 유한 회사

케다에서 우리는 산시 케구 신소재 기술 회사와 오랜 파트너십을 매우 높이 평가합니다.그들의 고품질의 SSiC 세라믹 솔루션은 우리의 프로젝트에 필수 요소였습니다. 우리는 지속적인 협업과 공동의 성공을 기대합니다..

—— 케다 산업 그룹 (Keda Industrial Group Co.,Ltd)

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1380°C 장기 사용 온도, 높은 하중 지지력, 반도체 웨이퍼 핸들링에 적합한 우수한 열팽창 계수를 가진 반응 소결 탄화규소 패들

Reaction-Bonded Silicon Carbide Paddle with 1380°C Long-term Service Temperature, High Load-Bearing Capacity, and Superior Thermal Expansion Match for Semiconductor Wafer Handling
Reaction-Bonded Silicon Carbide Paddle with 1380°C Long-term Service Temperature, High Load-Bearing Capacity, and Superior Thermal Expansion Match for Semiconductor Wafer Handling Reaction-Bonded Silicon Carbide Paddle with 1380°C Long-term Service Temperature, High Load-Bearing Capacity, and Superior Thermal Expansion Match for Semiconductor Wafer Handling Reaction-Bonded Silicon Carbide Paddle with 1380°C Long-term Service Temperature, High Load-Bearing Capacity, and Superior Thermal Expansion Match for Semiconductor Wafer Handling Reaction-Bonded Silicon Carbide Paddle with 1380°C Long-term Service Temperature, High Load-Bearing Capacity, and Superior Thermal Expansion Match for Semiconductor Wafer Handling

큰 이미지 :  1380°C 장기 사용 온도, 높은 하중 지지력, 반도체 웨이퍼 핸들링에 적합한 우수한 열팽창 계수를 가진 반응 소결 탄화규소 패들

제품 상세 정보:
접촉

1380°C 장기 사용 온도, 높은 하중 지지력, 반도체 웨이퍼 핸들링에 적합한 우수한 열팽창 계수를 가진 반응 소결 탄화규소 패들

설명
장기 서비스 온도: ≤ 1380°C 밀도: ≥ 3.02g/cm³
겉보기 다공성: ≤ 0.1% 굴곡강도: 250MPa(20°C); 281MPa(1200°C)
탄성률: 332GPa(20°C); 300GPa(1200°C) 열전도율(1200°C): 45W/m*K
열 팽창 계수: 4.5K⁻¹ * 10⁻⁶ 모스 경도: 9
산 & 내알칼리성: 훌륭한
강조하다:

1380°C 장기 사용 온도 RBSiC 캔틸레버 패들

,

높은 내하중 용량의 실리콘 카바이드 웨이퍼 핸들링 패들

,

우수한 열팽창 계수를 가진 반응 소결 탄화규소 패들

반응 결합 탄화 규소(RBSiC) 캔틸레버 패들: 반도체 웨이퍼 처리를 위해 정밀하게 설계됨
반도체 제조의 정밀한 환경에서 웨이퍼 처리 체인 내의 모든 구성 요소는 최고의 신뢰성과 치수 무결성을 보장해야 합니다. 자동화된 로딩 시스템의 중요한 인터페이스인 캔틸레버 패들은 공정 수율, 처리량 및 확장성에 직접적인 영향을 미칩니다. 우리의반응 결합 탄화 규소(RBSiC) 캔틸레버 패들고온, 반복적인 열 주기, 엄격한 청결 요구 사항 등 가장 중요한 부분에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다.
첨단 소재공학을 통한 뛰어난 안정성
을 통해 제조반응 결합 과정, 당사의 패들은 고순도, 거의 그물 모양의 정밀도 및 뛰어난 열-기계적 특성의 독특한 조합을 달성합니다. 따라서 로봇식 웨이퍼 처리 및 이송 시스템의 까다로운 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
주요 성과 데이터
재산 단위 일반적인 값 / 데이터
장기 서비스 온도 ℃ ≤ 1380
밀도 g/cm3 ≥ 3.02
겉보기 다공성 % ≤ 0.1
굴곡강도 MPa 250(20°C); 281 (1200°C)
탄성률 평점 332(20℃); 300 (1200°C)
열전도율(1200°C) W/m*K 45
열팽창 계수 K⁻¹ * 10⁻⁶ 4.5
모스 경도 - 9
산 및 알칼리 저항 - 훌륭한
RBSiC가 제공하는 핵심 이점
  • 고온에서 비교할 수 없는 치수 안정성:반응 결합 구조는 지속적인 열 부하 하에서 최소한의 변형과 제로 크리프를 보장하며, 이는 용광로 공정에서 정밀한 웨이퍼 포지셔닝을 유지하는 데 중요합니다.
  • 높은 내하중 용량 및 강성:탁월한 굴곡 강도와 모듈러스는 높은 웨이퍼 로드를 안정적으로 지원하여 일괄 처리 환경에서 안정적인 핸들링을 가능하게 합니다.
  • 로봇 자동화에 최적화됨:자동화된 로드 포트, ​​이송 로봇 및 핸들링 시스템에 원활하게 통합되도록 설계되어 원활하고 반복 가능하며 입자를 최소화한 작동을 보장합니다.
  • 우수한 열팽창 매치:맞춤형 열팽창 계수(CTE)는 실리콘 웨이퍼 및 석영 용광로 튜브의 계수와 밀접하게 일치하여 LPCVD, 확산 및 어닐링과 같은 공정에서 열 응력 및 오정렬 위험을 줄입니다.
프로세스 확장성 및 운영 효율성 혁신
RBSiC 캔틸레버 패들을 통합하면 공정 능력과 제조공장 경제성 모두에서 실질적인 발전이 가능해집니다.
  • 기존 도구에서 더 큰 웨이퍼 처리 가능:탁월한 단면 안정성을 통해 기존의 용광로 튜브를 보다 큰 웨이퍼 직경을 처리하기 위해 안정적으로 개조할 수 있으며, 자본 장비의 수명 주기가 연장됩니다.
  • 입자 오염 감소:고밀도 및 매끄러운 표면 마감으로 입자 생성 및 접착을 최소화하여 클린룸이 중요한 응용 분야에서 수율을 직접적으로 향상시킵니다.
  • 유지 관리 및 청소 주기 연장:열피로, 산화 및 화학물질 노출에 대한 뛰어난 저항성은 서비스 간격을 크게 연장하고 가동 중지 시간과 소모품 비용을 줄입니다.
  • 프로세스 균일성 보장:열 주기 전반에 걸쳐 일관된 성능을 통해 반복 가능한 웨이퍼 배치 및 가열 프로파일을 보장하고 균일한 필름 증착 및 공정 제어를 지원합니다.
재료 특성에 뿌리를 둔 기술적 우수성
반응 결합된 탄화규소 구조는 웨이퍼 핸들링에 필수적인 특성의 최적 균형을 제공합니다.
  • 높은 기계적 강도와 파괴인성
  • 낮은 열팽창으로 우수한 열전도율
  • 대부분의 공정 가스 및 플라즈마 환경에 대한 불활성
  • 최대 1380°C의 산화 및 환원 분위기에서 장기 안정성
개조 및 차세대 시스템 설계에 이상적
고급 노드를 위한 기존 웨이퍼 처리 시스템을 업그레이드하든 차세대 반도체 제조 장비를 설계하든 당사의 RBSiC 캔틸레버 패들은 향상된 정밀도, 확장성 및 비용 효율성을 위한 검증되고 안정적인 솔루션을 제공합니다.
웨이퍼 처리 공정에 정밀성을 적용할 준비가 되셨습니까?
당사 기술팀에 문의하여 애플리케이션 사양에 대해 논의하고, 설계 파일을 요청하거나, 도구 세트 및 프로세스 요구 사항에 맞는 맞춤형 엔지니어링 패들 솔루션을 살펴보세요.

태그:

합성 실리콘 카비드,

반응 결합 SIC,

탄화규소계 세라믹스

연락처 세부 사항
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

담당자: Ms. Yuki

전화 번호: 8615517781293

회사에 직접 문의 보내기 (0 / 3000)

약

실리콘카바이드 세라믹

반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

맞춤형 무압 소결 SiC 롤러 1650°C 내열 롤러 하스 가마용

반응 결합 실리콘 탄화물

1 380°C 최대 서비스 온도와 250MPa 굴절 강도와 함께 고온 산업 냉각용 반응 합성 실리콘 탄화탄 공기 냉각 튜브

산업용 오븐용 열 충격 및 염화 저항성 높은 온도 안정성 SiC 연장기

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