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Produktdetails:
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| Material: | Sic | Komposition: sic: | > 85% |
|---|---|---|---|
| Farbe: | Schwarz | Dichte: | ≥3,0 g/cm3 |
| Max. Service -Temperatur: | 1380 ℃ | Biegefestigkeit: | 250mpa |
| Hervorheben: | Silikonkarbid-Keramiköfen,85% Sic Paddle,85% Sic Tube |
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Parameter:
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Leistung |
Einheit |
HS-A |
HS-P |
HS-XA |
|
Größe des Körners |
μm |
4 bis 10 |
4 bis 10 |
4 bis 10 |
|
Dichte |
G/cm |
≥ 3.1 |
3.0 bis 3.1 |
> 3 Jahre1 |
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Härte (Knoop) |
Gewichtsanteil |
2800 |
2800 |
2800 |
|
Flexuralfestigkeit 4 pt @ RT |
MPa*m1/2 |
385 |
240 |
420 |
|
*1031b/in2 |
55 |
55 |
55 |
|
|
Druckfestigkeit @ RT |
MPa |
3900 |
|
3900 |
|
*1031b/in2 |
560 |
560 |
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|
Modul der Elastizität @ RT |
Durchschnitt |
410 |
400 |
410 |
|
*1031b/in2 |
59 |
58 |
59 |
|
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Weibull-Modul (2 Parameter) |
|
8 |
19 |
12 |
|
Fischverhältnis |
|
0.14 |
0.14 |
0.14 |
|
Bruchfestigkeit @ RT Doppelttorsion & SENB |
MPa*m1/2 |
8 |
8 |
8 |
|
*131b/in2in1⁄2 |
||||
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Koeffizient der thermischen Ausdehnung RT bis 700°C |
X10-6 mm/mmK |
4.02 |
4.2 |
4.02 |
|
X10-6 in/in°F |
2.2 |
2.3 |
2.2 |
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|
Maximale Betriebstemperatur.Mittel spezifische Luftwärme @ RT |
°C |
1900 |
1900 |
1900 |
|
J/gmK |
0.67 |
0.59 |
0.67 |
|
|
Wärmeleitfähigkeit @ RT |
W/mK |
125.6 |
110 |
125.6 |
|
Btu/ft h°F |
72.6 |
64 |
72.6 |
|
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@ 200°C |
W/mK |
102.6 |
|
102.6 |
|
Btu/ft h°F |
59.3 |
59.3 |
||
|
@ 400°C |
W/mK |
77.5 |
|
77.5 |
|
Btu/ft h°F |
44.8 |
44.8 |
||
|
Durchlässigkeit @ RT bis 1000°C |
Unter 31 MPa Keine Gasleckagen |
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Elektrische Widerstandsfähigkeit @ RT |
Ohm-cm |
102 bis 106 |
N/A |
102 bis 106 |
|
Emissivität |
|
0.9 |
0.9 |
0.9 |
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SiC-Paddel wird als Waferboothalter für Diffusionsprozesse in der Halbleiter-, LED- und Solarenergieindustrie verwendet.
SiC-Verfahrensrohr wird in der Diffusionsöfenanlage in der Halbleiter-, LED- und Solarenergieindustrie verwendet.
SiC-Boot wird als Waferhalter in Bor- oder Phosphordiffusionsverfahren verwendet und in der diskreten Halbleiterindustrie weit verbreitet.
SiC-Drachen-Waferboote werden in Hochtemperatur-Diffusionsprozessen häufig als Waferhalter verwendet.
Hochtemperaturchemische Stabilität
Überlegene Hochtemperaturfestigkeit
Wärmeschlagfestigkeit
Korrosionsbeständigkeit von Säure und Alkali
Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit
Personalisierte Dienstleistungen
Stabile Qualität und schnelle Lieferung
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