Brief: Ακολουθήστε για μια πρακτική επίδειξη που αναδεικνύει τα σημεία απόδοσης των υψηλής καθαρότητας αλουμινένιων κεραμικών δακτυλίων A998 για εργαλεία ημιαγωγών.Αυτό το βίντεο δείχνει πώς αυτά τα εξαρτήματα ακρίβειας αντέχουν τα επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος σε 200mm και 300mm κεντή και CVD θαλάμους, αποδεικνύοντας την εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα και την αξιοπιστία τους σε εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών στον πραγματικό κόσμο.
Related Product Features:
Εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα παρατείνει τη διάρκεια ζωής, αντέχοντας σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος σε θαλάμους χάραξης και εναπόθεσης.
Η υψηλή διηλεκτρική αντοχή παρέχει ανώτερη ηλεκτρική μόνωση για την πρόληψη διαρροής ρεύματος και τόξου.
Η υψηλή αντοχή στη διάβρωση διατηρεί τη γεωμετρική ακεραιότητα έναντι των αερίων αλογόνων και άλλων αερίων διαδικασίας.
99Η καθαρότητα του 0,8% αλουμινίου ελαχιστοποιεί τη μεταλλική μόλυνση για την κατασκευή πλακιδίων υψηλής καθαρότητας.
Εξαιρετική μηχανική αντοχή εξασφαλίζει δομική ακεραιότητα υπό θερμική και μηχανική καταπόνηση.
Σχεδιασμένο με ακρίβεια για εργαλεία κατασκευής ημιαγωγών 200mm και 300mm με στενές ανοχές.
Συμβατό με κύριες πλατφόρμες OEM, συμπεριλαμβανομένων των συστημάτων χάραξης, συστημάτων CVD/PVD και θαλάμων καθαρισμού πλάσματος.
Τα ανώτερα φινιρίσματα επιφανειών εξασφαλίζουν βέλτιστη απόδοση πλάσματος και σταθερότητα διαδικασίας σε συγκεκριμένα σύνολα εργαλείων.
Ερωτήσεις:
Με ποια μεγέθη εργαλείων ημιαγωγών είναι συμβατοί αυτοί οι κεραμικοί δακτύλιοι αλουμίνας;
Οι κεραμικοί δακτύλιοι υψηλής καθαρότητας Alumina A998 έχουν σχεδιαστεί με ακρίβεια για εργαλεία κατασκευής ημιαγωγών 200mm και 300mm, διασφαλίζοντας συμβατότητα με μεγάλες πλατφόρμες OEM και σταθερότητα διεργασιών σε διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτας.
Πώς ωφελεί το επίπεδο καθαρότητας 99,8% τις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών;
Η καθαρότητα αλουμίνας 99,8% (βαθμός A998) ελαχιστοποιεί τη μεταλλική μόλυνση, η οποία είναι κρίσιμη για τη διατήρηση των προτύπων κατασκευής γκοφρετών υψηλής καθαρότητας και την επίτευξη βέλτιστων ρυθμών απόδοσης σε ευαίσθητες διεργασίες ημιαγωγών.
Σε ποιες συγκεκριμένες εφαρμογές ημιαγωγών χρησιμοποιούνται συνήθως αυτοί οι κεραμικοί δακτύλιοι;
Αυτά τα εξαρτήματα είναι ζωτικής σημασίας αναλώσιμα σε συστήματα χάραξης ως δακτύλιοι εστίασης και επενδύσεις θαλάμου, σε συστήματα CVD/PVD ως δακτύλιοι και ένθετα άκρων κολάρου και σε θαλάμους καθαρισμού πλάσματος ως ανθεκτικές επενδύσεις που αντιστέκονται στη διάβρωση από πλάσμα O2 ή NF3.
Τι κάνει αυτούς τους κεραμικούς δακτυλίους ανθεκτικούς σε περιβάλλοντα πλάσματος;
Η εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα προέρχεται από τις ιδιότητες του υλικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, το οποίο αντέχει σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος σε θαλάμους χάραξης και εναπόθεσης, μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων.