Brief: Ikuti untuk demonstrasi langsung yang menyoroti poin kinerja High-Purity Alumina A998 Ceramic Rings untuk alat semikonduktor.Video ini menunjukkan bagaimana komponen presisi ini menahan lingkungan plasma agresif di 200mm dan 300mm etch dan CVD kamar, menunjukkan ketahanan plasma yang luar biasa dan keandalan dalam aplikasi manufaktur semikonduktor dunia nyata.
Related Product Features:
Resistensi plasma yang luar biasa memperpanjang umur layanan dengan menahan lingkungan plasma yang agresif di ruang etch dan deposisi.
Kekuatan dielektrik yang tinggi memberikan isolasi listrik yang unggul untuk mencegah kebocoran arus dan busur.
Ketahanan korosi yang tinggi mempertahankan integritas geometris terhadap gas berbasis halogen dan gas proses lainnya.
Kekuatan mekanik yang sangat baik memastikan integritas struktural di bawah tekanan termal dan mekanik.
Teknik presisi untuk alat pembuatan semikonduktor 200mm dan 300mm dengan toleransi yang ketat.
Kompatibel dengan platform OEM utama termasuk sistem etsa, sistem CVD/PVD, dan ruang pembersih plasma.
Penyelesaian permukaan yang unggul memastikan kinerja plasma optimal dan stabilitas proses pada rangkaian peralatan tertentu.
Pertanyaan:
Berapa ukuran alat semikonduktor yang kompatibel dengan cincin keramik alumina ini?
Cincin Keramik Alumina A998 Kemurnian Tinggi kami dirancang secara presisi untuk alat fabrikasi semikonduktor 200mm dan 300mm, memastikan kompatibilitas dengan platform OEM utama dan stabilitas proses di berbagai ukuran wafer.
Apa manfaat tingkat kemurnian 99,8% pada proses manufaktur semikonduktor?
Kemurnian alumina 99,8% (kelas A998) meminimalkan kontaminasi logam, yang sangat penting untuk mempertahankan standar manufaktur wafer dengan kemurnian tinggi dan mencapai tingkat hasil optimal dalam proses semikonduktor yang sensitif.
Dalam aplikasi semikonduktor spesifik manakah cincin keramik ini biasanya digunakan?
Komponen-komponen ini merupakan bahan habis pakai yang penting dalam sistem etsa sebagai cincin fokus dan pelapis ruang, dalam sistem CVD/PVD sebagai cincin dan sisipan tepi kerah, dan dalam ruang pembersih plasma sebagai pelapis tahan lama yang menahan erosi dari plasma O₂ atau NF₃.
Apa yang membuat cincin keramik ini tahan terhadap lingkungan plasma?
Ketahanan plasma yang luar biasa berasal dari sifat material alumina kemurnian tinggi, yang tahan terhadap lingkungan plasma agresif di ruang etsa dan deposisi, mengurangi pembentukan partikel dan memperpanjang masa pakai komponen.