Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью

Керамика из оксида алюминия
December 18, 2025
Brief: Следуйте за практической демонстрацией, которая подчеркивает показатели производительности высокочистых керамических колец из алюминия A998 для полупроводниковых инструментов.В этом видео показано, как эти высокоточные компоненты выдерживают агрессивные плазменные среды в 200-миллиметровых и 300-миллиметровых камерах., демонстрируя их исключительную плазменную устойчивость и надежность в реальных приложениях производства полупроводников.
Related Product Features:
  • Исключительная плазмостойкость продлевает срок службы, выдерживая агрессивные плазменные среды в камерах травления и осаждения.
  • Высокая диэлектрическая прочность обеспечивает превосходную электрическую изоляцию для предотвращения утечки тока и дуги.
  • Высокая коррозионная устойчивость обеспечивает геометрическую целостность при использовании галогенов и других процессуальных газов.
  • 990,8% чистота алюминия минимизирует металлическое загрязнение для производства высокочистых пластинок.
  • Отличная механическая прочность обеспечивает целостность конструкции при тепловых и механических нагрузках.
  • Разработано с высокой точностью для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с жесткими допусками.
  • Совместимость с основными платформами OEM, включая системы травления, системы CVD/PVD и камеры плазменной очистки.
  • Превосходное качество поверхности обеспечивает оптимальную производительность плазмы и стабильность процесса при использовании определенных наборов инструментов.
Вопросы:
  • С какими полупроводниковыми инструментами совместимы эти кольца из глиноземной керамики?
    Наши керамические кольца из оксида алюминия высокой чистоты A998 специально разработаны для инструментов для изготовления полупроводников диаметром 200 и 300 мм, что обеспечивает совместимость с основными платформами OEM и стабильность процесса при различных размерах пластин.
  • Какую пользу приносит уровень чистоты 99,8% процессам производства полупроводников?
    Чистота оксида алюминия 99,8% (марка A998) сводит к минимуму металлические загрязнения, что имеет решающее значение для поддержания стандартов производства пластин высокой чистоты и достижения оптимальных показателей выхода продукции в чувствительных полупроводниковых процессах.
  • В каких конкретных полупроводниковых приложениях обычно используются эти керамические кольца?
    Эти компоненты являются жизненно важными расходными материалами в системах травления в качестве фокусирующих колец и вкладышей камеры, в системах CVD/PVD в качестве краевых колец и вставок воротника, а также в камерах плазменной очистки в качестве прочных вкладышей, устойчивых к эрозии под воздействием плазмы O₂ или NF₃.
  • Что делает эти керамические кольца устойчивыми к плазменным средам?
    Исключительная устойчивость к плазме обусловлена высокой чистотой алюминиевого материала, который выдерживает агрессивные плазменные среды в камерах для гравирования и осаждения.сокращение генерации частиц и увеличение срока службы компонента.
Связанные видео