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Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle

Ceramique à base d'oxyde d'aluminium
December 18, 2025
Connexion De Catégorie: Ceramique à base d'oxyde d'aluminium
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Les étiquettes:
#Porteur de catalyseur en aluminium #substrats en céramique d'alumine #Alumine en céramique
Brief: Suivez-nous pour une démonstration pratique qui met en évidence les points de performance des anneaux en céramique d'aluminium A998 de haute pureté pour outils semi-conducteurs.Cette vidéo montre comment ces composants de précision résistent à des environnements de plasma agressifs dans des chambres de gravure et de CVD de 200 mm et 300 mm, démontrant leur résistance au plasma exceptionnelle et leur fiabilité dans les applications réelles de fabrication de semi-conducteurs.
Related Product Features:
  • Une résistance au plasma exceptionnelle prolonge la durée de vie en résistant à des environnements de plasma agressifs dans les chambres de gravure et de dépôt.
  • Une résistance diélectrique élevée fournit une isolation électrique supérieure pour empêcher les fuites et les arcs de courant.
  • Une haute résistance à la corrosion maintient l'intégrité géométrique contre les gaz halogénés et autres gaz de procédé.
  • La pureté de 99,8 % d'alumine minimise la contamination métallique pour la fabrication de plaquettes de haute pureté.
  • Une excellente résistance mécanique assure l'intégrité de la structure sous contrainte thermique et mécanique.
  • Conçu avec précision pour les outils de fabrication de semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec des tolérances serrées.
  • Compatible avec les principales plates-formes OEM, notamment les systèmes de gravure, les systèmes CVD/PVD et les chambres de nettoyage au plasma.
  • Des finitions de surface supérieures garantissent des performances plasma optimales et une stabilité du processus dans des ensembles d'outils spécifiques.
FAQ:
  • Avec quelles tailles d'outils semi-conducteurs ces anneaux en céramique d'alumine sont-ils compatibles ?
    Nos anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté sont conçus avec précision pour les outils de fabrication de semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm, garantissant la compatibilité avec les principales plates-formes OEM et la stabilité des processus sur différentes tailles de tranches.
  • Comment le niveau de pureté de 99,8 % profite-t-il aux processus de fabrication de semi-conducteurs ?
    La pureté de l'alumine de 99,8 % (qualité A998) minimise la contamination métallique, ce qui est essentiel pour maintenir les normes de fabrication de plaquettes de haute pureté et atteindre des taux de rendement optimaux dans les processus de semi-conducteurs sensibles.
  • Dans quelles applications spécifiques de semi-conducteurs ces anneaux en céramique sont-ils généralement utilisés ?
    Ces composants sont des consommables essentiels dans les systèmes de gravure comme les bagues de focalisation et les revêtements de chambre, dans les systèmes CVD/PVD comme les bagues et inserts de bord de collier, et dans les chambres de nettoyage au plasma comme revêtements durables qui résistent à l'érosion des plasmas O₂ ou NF₃.
  • Qu'est-ce qui rend ces bagues en céramique résistantes aux environnements plasma ?
    La résistance au plasma exceptionnelle provient des propriétés du matériau d'alumine de haute pureté, qui résiste à des environnements de plasma agressifs dans les chambres de gravure et de dépôt,réduire la production de particules et prolonger la durée de vie des composants.
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