Vòng gốm Alumina A998 (99.8%) độ tinh khiết cao cho dụng cụ bán dẫn 200mm và 300mm với khả năng kháng plasma vượt trội

gốm oxit nhôm
December 18, 2025
Liên kết danh mục: gốm oxit nhôm
Brief: Theo dõi cùng để chứng minh thực tế làm nổi bật các điểm hiệu suất của Vòng gốm nhôm A998 tinh khiết cao cho các công cụ bán dẫn.Video này cho thấy cách các thành phần chính xác này chịu được môi trường plasma hung hăng trong 200mm và 300mm khắc và buồng CVD, chứng minh khả năng kháng plasma và độ tin cậy đặc biệt của chúng trong các ứng dụng sản xuất bán dẫn thực tế.
Related Product Features:
  • Khả năng kháng plasma vượt trội kéo dài tuổi thọ bằng cách chịu được môi trường plasma khắc nghiệt trong buồng khắc và lắng đọng.
  • Sức mạnh điện đệm cao cung cấp cách điện vượt trội để ngăn chặn rò rỉ và cung điện hiện tại.
  • Chống ăn mòn cao duy trì tính toàn vẹn hình học chống lại khí halogen và các khí quá trình khác.
  • Độ tinh khiết 99,8% alumina giảm thiểu ô nhiễm kim loại để sản xuất wafer có độ tinh khiết cao.
  • Độ bền cơ học tuyệt vời đảm bảo tính toàn vẹn cấu trúc dưới áp lực nhiệt và cơ học.
  • Được thiết kế chính xác cho các công cụ chế tạo chất bán dẫn 200mm và 300mm với dung sai chặt chẽ.
  • Tương thích với các nền tảng OEM chính bao gồm hệ thống khắc, hệ thống CVD/PVD và buồng làm sạch plasma.
  • Bề mặt hoàn thiện cao cấp đảm bảo hiệu suất plasma tối ưu và độ ổn định của quy trình trong các bộ công cụ cụ thể.
Câu hỏi thường gặp:
  • Những vòng gốm alumina này tương thích với kích thước dụng cụ bán dẫn nào?
    Vòng gốm Alumina A998 có độ tinh khiết cao của chúng tôi được thiết kế chính xác cho cả công cụ chế tạo chất bán dẫn 200mm và 300mm, đảm bảo khả năng tương thích với các nền tảng OEM chính và độ ổn định của quy trình trên các kích thước wafer khác nhau.
  • Mức độ tinh khiết 99,8% mang lại lợi ích như thế nào cho quy trình sản xuất chất bán dẫn?
    Độ tinh khiết alumina 99,8% (loại A998) giảm thiểu ô nhiễm kim loại, điều này rất quan trọng để duy trì các tiêu chuẩn sản xuất tấm bán dẫn có độ tinh khiết cao và đạt được tỷ lệ năng suất tối ưu trong các quy trình bán dẫn nhạy cảm.
  • Những vòng gốm này thường được sử dụng trong những ứng dụng bán dẫn cụ thể nào?
    Các thành phần này là vật tư tiêu hao quan trọng trong hệ thống khắc như vòng lấy nét và lớp lót buồng, trong hệ thống CVD/PVD như vòng đệm và miếng đệm ở mép vòng đệm, cũng như trong buồng làm sạch plasma dưới dạng lớp lót bền chống ăn mòn từ plasma O₂ hoặc NF₃.
  • Điều gì khiến những vòng gốm này có khả năng chống lại môi trường plasma?
    Khả năng kháng plasma đặc biệt đến từ các tính chất nguyên chất cao của vật liệu nhôm, chịu được môi trường plasma hung hăng trong buồng khắc và lắng đọng,Giảm sản xuất hạt và kéo dài tuổi thọ của thành phần.
Các video liên quan