उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम ए 998 (99.8%) 200 मिमी और 300 मिमी के अर्धचालक उपकरण के लिए सिरेमिक रिंग

एल्यूमिनियम ऑक्साइड सिरेमिक
December 18, 2025
Brief: सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए हाई-प्योरिटी एल्यूमिना A998 सिरेमिक रिंगों के प्रदर्शन बिंदुओं को उजागर करने वाले एक व्यावहारिक प्रदर्शन के लिए साथ चलें। यह वीडियो दिखाता है कि कैसे ये सटीक घटक 200 मिमी और 300 मिमी एट और CVD चैंबरों में आक्रामक प्लाज्मा वातावरण का सामना करते हैं, जो वास्तविक दुनिया के सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों में उनके असाधारण प्लाज्मा प्रतिरोध और विश्वसनीयता का प्रदर्शन करते हैं।
Related Product Features:
  • असाधारण प्लाज्मा प्रतिरोध, नक़्क़ाशी और जमाव कक्षों में आक्रामक प्लाज्मा वातावरण का सामना करके सेवा जीवन को बढ़ाता है।
  • उच्च परावैद्युत शक्ति करंट रिसाव और आर्किंग को रोकने के लिए बेहतर विद्युत इन्सुलेशन प्रदान करती है।
  • उच्च संक्षारण प्रतिरोध हाइड्रोजन आधारित और अन्य प्रक्रिया गैसों के खिलाफ ज्यामितीय अखंडता बनाए रखता है।
  • 99.8% एल्युमिना शुद्धता उच्च शुद्धता वाले वेफर निर्माण के लिए धातु दूषितता को कम करती है।
  • उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति तापीय और यांत्रिक तनाव के तहत संरचनात्मक अखंडता सुनिश्चित करती है।
  • सटीक सहनशीलता के साथ 200 मिमी और 300 मिमी सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरणों के लिए सटीक रूप से इंजीनियर किया गया।
  • ईच सिस्टम, सीवीडी/पीवीडी सिस्टम और प्लाज्मा सफाई कक्षों सहित प्रमुख ओईएम प्लेटफार्मों के साथ संगत।
  • बेहतर सतह फिनिश विशिष्ट टूलसेट में इष्टतम प्लाज्मा प्रदर्शन और प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करती है।
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न:
  • ये एल्यूमिना सिरेमिक रिंग्स किस अर्धचालक उपकरण आकार के साथ संगत हैं?
    हमारे उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिना A998 सिरेमिक रिंग्स 200 मिमी और 300 मिमी सेमीकंडक्टर निर्माण उपकरण दोनों के लिए सटीक-इंजीनियर किए गए हैं, जो प्रमुख ओईएम प्लेटफार्मों के साथ संगतता और विभिन्न वेफर आकारों में प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करते हैं।
  • 99.8% शुद्धता स्तर अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं को कैसे लाभ पहुँचाता है?
    99.8% एल्यूमिना शुद्धता (ए998 ग्रेड) धातु संदूषण को कम करती है, जो उच्च शुद्धता वाले वेफर विनिर्माण मानकों को बनाए रखने और संवेदनशील अर्धचालक प्रक्रियाओं में इष्टतम उपज दर प्राप्त करने के लिए महत्वपूर्ण है।
  • इन सिरेमिक रिंगों का उपयोग आमतौर पर किस विशिष्ट अर्धचालक अनुप्रयोगों में किया जाता है?
    ये घटक ईच सिस्टम में फोकस रिंग और चैम्बर लाइनर के रूप में, सीवीडी/पीवीडी सिस्टम में कॉलर एज रिंग और इंसर्ट के रूप में और प्लाज्मा सफाई कक्ष में टिकाऊ लाइनर के रूप में महत्वपूर्ण उपभोग्य हैं जो O₂ या NF₃ प्लाज्मा से क्षरण का विरोध करते हैं।
  • इन सिरेमिक रिंगों को प्लाज्मा वातावरण के प्रतिरोधी क्या बनाता है?
    असाधारण प्लाज्मा प्रतिरोध उच्च-शुद्धता एल्यूमिना सामग्री गुणों से आता है, जो नक़्क़ाशी और जमाव कक्षों में आक्रामक प्लाज्मा वातावरण का सामना करता है, कण उत्पादन को कम करता है और घटक सेवा जीवन को बढ़ाता है।
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