Brief: تابعوا معنا عرضًا عمليًا يسلط الضوء على نقاط أداء حلقات السيراميك من الألومينا عالية النقاء A998 لأدوات أشباه الموصلات. يعرض هذا الفيديو كيف تتحمل هذه المكونات الدقيقة بيئات البلازما القوية في غرف النقش والترسيب الكيميائي للبخار (CVD) بحجم 200 ملم و 300 ملم، موضحًا مقاومتها الاستثنائية للبلازما وموثوقيتها في تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات الواقعية.
Related Product Features:
مقاومة البلازما الاستثنائية تمدد عمر الخدمة من خلال مقاومة بيئات البلازما العدوانية في غرف الحفر والترسب.
توفر قوة العزل الكهربائي العالية عزلًا كهربائيًا فائقًا لمنع تسرب التيار والتقوس.
المقاومة العالية للتآكل تحافظ على النزاهة الهندسية ضد الغازات المعتمدة على الهالوجين وغيرها من غازات العملية.
نقاء الألومينا بنسبة 99.8% يقلل من التلوث المعدني لتصنيع رقائق عالية النقاء.
تضمن القوة الميكانيكية الممتازة السلامة الهيكلية تحت الضغط الحراري والميكانيكي.
مصممة بدقة لأدوات تصنيع أشباه الموصلات من 200 و 300 ملم مع تساهلات ضيقة
متوافق مع منصات تصنيع المعدات الأصلية الرئيسية بما في ذلك أنظمة الحفر وأنظمة CVD/PVD وغرف تنظيف البلازما.
تضمن التشطيبات السطحية الفائقة الأداء الأمثل للبلازما واستقرار العملية في مجموعات أدوات محددة.
الأسئلة:
ما هي أحجام أدوات أشباه الموصلات التي تتوافق معها حلقات سيراميك الألومينا هذه؟
تم تصميم حلقات سيراميك الألومينا A998 عالية النقاء لدينا بدقة هندسية لكل من أدوات تصنيع أشباه الموصلات مقاس 200 مم و300 مم، مما يضمن التوافق مع منصات تصنيع المعدات الأصلية الرئيسية واستقرار العملية عبر أحجام الرقائق المختلفة.
كيف يفيد مستوى النقاء بنسبة 99.8% عمليات تصنيع أشباه الموصلات؟
تعمل نقاء الألومينا بنسبة 99.8% (درجة A998) على تقليل التلوث المعدني، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على معايير تصنيع الرقائق عالية النقاء وتحقيق معدلات الإنتاجية المثلى في عمليات أشباه الموصلات الحساسة.
في أي تطبيقات محددة لأشباه الموصلات تُستخدم عادةً هذه الحلقات الخزفية؟
تعتبر هذه المكونات مواد استهلاكية حيوية في أنظمة الحفر مثل حلقات التركيز وبطانات الحجرة، وفي أنظمة CVD/PVD مثل حلقات حافة الياقة وإدراجها، وفي غرف تنظيف البلازما كبطانات متينة تقاوم التآكل الناتج عن بلازما O₂ أو NF₃.
ما الذي يجعل هذه الحلقات السيراميكية مقاومة لبيئات البلازما؟
تأتي مقاومة البلازما الاستثنائية من خصائص مادة الألومينا عالية النقاء، والتي تصمد أمام بيئات البلازما العدوانية في غرف النقش والترسيب، مما يقلل من توليد الجسيمات ويطيل عمر خدمة المكونات.