ช่องวีดีโอของจีน Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
การพูดคุย ติดต่อเรา
บ้าน วิดีโอ รายการเล่น เว็บไซต์

วงแหวนเซรามิกอะลูมินาบริสุทธิ์สูง A998 (99.8%) สำหรับเครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม. พร้อมความทนทานต่อพลาสมาเป็นพิเศษ

อะลูมิเนียมออกไซด์ เซรามิก
December 18, 2025
ประเภท การเชื่อมโยง: อะลูมิเนียมออกไซด์ เซรามิก
การพูดคุย ติดต่อเรา
แท็ก:
#เครื่องบรรจุแคตอลิสเตอร์อะลูมิเนีย #อัลมิเนียเซรามิก สับสราท #อลูมินาเซรามิค
Brief: ติดตามเพื่อการแสดงเชิงปฏิบัติการที่เน้นจุดประสิทธิภาพของแหวนเซรามิกอัลมิเนียความบริสุทธิ์สูง A998 สําหรับเครื่องมือครึ่งนําวิดีโอนี้แสดงให้เห็นว่าส่วนประกอบความแม่นยําเหล่านี้ทนต่อสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรงใน 200 มิลลิเมตรและ 300 มิลลิเมตร etch และห้อง CVD, แสดงถึงความทนทานและความน่าเชื่อถือที่โดดเด่นของพลาสมาในการใช้งานในการผลิตครึ่งตัวนําในโลกจริง
Related Product Features:
  • ความต้านทานกับพลาสมาที่พิเศษขยายอายุการใช้งานโดยทนต่อสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรงในห้อง etch และ deposition
  • ความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูง ให้ความคุ้มกันไฟฟ้าที่ดีกว่า เพื่อป้องกันการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าและการบุก
  • ความต้านทานต่อการกัดกรองสูง ช่วยรักษาความสมบูรณ์แบบทางกณิตศาสตร์ต่อก๊าซที่มีฐานฮาโลเจนและก๊าซกระบวนการอื่นๆ
  • 99ความบริสุทธิ์ของอะลูมิเนีย 0.8% ลดการปนเปื้อนโลหะให้น้อยที่สุด สําหรับการผลิตแผ่นขีดความบริสุทธิ์สูง
  • ความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยมรับประกันความสมบูรณ์แบบของโครงสร้างภายใต้ความเครียดทางอุณหภูมิและทางกล
  • ออกแบบมาอย่างแม่นยำสำหรับเครื่องมือผลิตสารกึ่งตัวนำขนาด 200 มม. และ 300 มม. ที่มีค่าความคลาดเคลื่อนต่ำ
  • ใช้งานได้กับแพลตฟอร์ม OEM หลักๆ รวมถึงระบบกัดกรด ระบบ CVD/PVD และห้องทำความสะอาดพลาสมา
  • การตกแต่งพื้นผิวที่เหนือกว่าช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพของพลาสมาที่เหมาะสมที่สุดและความเสถียรของกระบวนการในชุดเครื่องมือเฉพาะ
คำถามที่พบบ่อย:
  • แหวนเซรามิกอลูมินาเหล่านี้เข้ากันได้กับเครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใด
    วงแหวนเซรามิกอลูมินา A998 ความบริสุทธิ์สูงของเราได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำสำหรับเครื่องมือการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้ง 200 มม. และ 300 มม. ทำให้มั่นใจได้ถึงความเข้ากันได้กับแพลตฟอร์ม OEM ที่สำคัญและความเสถียรของกระบวนการในเวเฟอร์ขนาดต่างๆ
  • ระดับความบริสุทธิ์ 99.8% มีประโยชน์ต่อกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อย่างไร
    ความบริสุทธิ์ของอลูมินา 99.8% (เกรด A998) ลดการปนเปื้อนของโลหะ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรักษามาตรฐานการผลิตแผ่นเวเฟอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและบรรลุอัตราผลตอบแทนที่เหมาะสมที่สุดในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อน
  • โดยทั่วไปแล้ววงแหวนเซรามิกเหล่านี้จะใช้ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์เฉพาะประเภทใด
    ส่วนประกอบเหล่านี้เป็นวัสดุสิ้นเปลืองที่สำคัญในระบบกัดกรดเป็นวงแหวนโฟกัสและไลเนอร์ห้อง ในระบบ CVD/PVD เป็นวงแหวนขอบคอหอยและส่วนแทรก และในห้องทำความสะอาดพลาสมาเป็นไลเนอร์ที่ทนทานซึ่งต้านทานการกัดกร่อนจากพลาสมา O₂ หรือ NF₃
  • อะไรทำให้วงแหวนเซรามิกเหล่านี้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมพลาสมา?
    ความทนทานกับพลาสมาที่โดดเด่นมาจากคุณสมบัติของวัสดุอะลูมิเนียความบริสุทธิ์สูง ที่ทนต่อสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรงในห้องถักและฝังลดการสร้างอนุภาคและขยายอายุการใช้งานขององค์ประกอบ.
วิดีโอที่เกี่ยวข้อง
รอลเลอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ซินเตอร์ไร้แรงกด - 1650 °C ทนต่อความร้อนสําหรับอุปกรณ์ประกอบเตาอบและเตาอบ 00:28

รอลเลอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ซินเตอร์ไร้แรงกด - 1650 °C ทนต่อความร้อนสําหรับอุปกรณ์ประกอบเตาอบและเตาอบ
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้ความดัน
August 27, 2025
กุ้ง SiC ที่ทนความร้อนสูงที่มีความร้อนในการใช้งานสูงสุด 1650 °C และความแข็งแรงในการบิด 3800MPa สําหรับการผลิตครึ่งประสาท 00:27

กุ้ง SiC ที่ทนความร้อนสูงที่มีความร้อนในการใช้งานสูงสุด 1650 °C และความแข็งแรงในการบิด 3800MPa สําหรับการผลิตครึ่งประสาท
เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
December 18, 2025
เบ้าซิลิคอนคาร์ไบด์ชนิด Reaction-Bonded ที่มีรูปร่างเฉพาะ พร้อมความเสถียรสูงที่อุณหภูมิสูง (1380°C) และการนำความร้อนสูง (45 W/m*K) 00:24

เบ้าซิลิคอนคาร์ไบด์ชนิด Reaction-Bonded ที่มีรูปร่างเฉพาะ พร้อมความเสถียรสูงที่อุณหภูมิสูง (1380°C) และการนำความร้อนสูง (45 W/m*K)
Reaction Bonded Silicon Carbide
December 18, 2025
เกี่ยวกับโรงงานผลิตของเรา | Kegu SiC 00:30

เกี่ยวกับโรงงานผลิตของเรา | Kegu SiC
วิดีโออื่น ๆ
September 10, 2025
สายดัดร้อนซิลิคอนคาร์ไบด์ระบอบสองแบบ SCR ความร้อนสูง หน่วยเตาอุตสาหกรรม 00:42

สายดัดร้อนซิลิคอนคาร์ไบด์ระบอบสองแบบ SCR ความร้อนสูง หน่วยเตาอุตสาหกรรม
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้ความดัน
August 15, 2025
นี่ไม่ใช่ลาวา มันคือเคล็ดลับความทนทานสูงสุดของลูกกลิ้งของเรา 00:29

นี่ไม่ใช่ลาวา มันคือเคล็ดลับความทนทานสูงสุดของลูกกลิ้งของเรา
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้ความดัน
September 11, 2025
ลูกกลิ้ง SiC: ยุติการเปลี่ยนบ่อยด้วยลูกกลิ้งที่ใช้งานได้นานขึ้น 30% 00:31

ลูกกลิ้ง SiC: ยุติการเปลี่ยนบ่อยด้วยลูกกลิ้งที่ใช้งานได้นานขึ้น 30%
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้ความดัน
September 04, 2025
ลูกกลิ้ง SiC เผาผนังหนาแบบไร้แรงดัน – อุณหภูมิสูง 1650°C, ทนต่อการกัดกร่อน 00:25

ลูกกลิ้ง SiC เผาผนังหนาแบบไร้แรงดัน – อุณหภูมิสูง 1650°C, ทนต่อการกัดกร่อน
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้ความดัน
August 11, 2025
บอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอล 00:32

บอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอลบอล
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้ความดัน
September 10, 2025
ซิลิคอนคาร์ไบด อุปกรณ์ทําความร้อนไฟฟ้า สายกลม ซิค ไฮเตอร์รูปร่าง U สําหรับเตาอบ 1400 °C 00:35

ซิลิคอนคาร์ไบด อุปกรณ์ทําความร้อนไฟฟ้า สายกลม ซิค ไฮเตอร์รูปร่าง U สําหรับเตาอบ 1400 °C
วิดีโออื่น ๆ
August 25, 2025