Wysokiej czystości aluminium A998 (99,8%) Pierścienie ceramiczne do narzędzi półprzewodnikowych o średnicy 200 mm i 300 mm o wyjątkowej odporności na plazmę
Brief: Zobaczcie praktyczną demonstrację, która podkreśla punkty wydajności wysokiej czystości pierścieni ceramicznych z aluminium A998 dla narzędzi półprzewodnikowych.To wideo pokazuje, jak te precyzyjne komponenty wytrzymują agresywne środowiska plazmowe w komorach 200mm i 300mm etch i CVD, wykazując ich wyjątkową odporność plazmową i niezawodność w rzeczywistych zastosowaniach w produkcji półprzewodników.
Related Product Features:
Wyjątkowa odporność plazmowa wydłuża żywotność przez wytrzymanie agresywnych środowisk plazmowych w komorach etkowych i osadniczych.
Wysoka wytrzymałość dielektryczna zapewnia lepszą izolację elektryczną, aby zapobiec wyciekom prądu i łukowi.
Wysoka odporność na korozję utrzymuje integralność geometryczną w przypadku gazu halogenowego i innych gazów procesowych.
990,8% czystość aluminu minimalizuje zanieczyszczenie metalowe do produkcji płytek o wysokiej czystości.
Doskonała wytrzymałość mechaniczna zapewnia integralność konstrukcji w warunkach obciążenia termicznego i mechanicznego.
Dokładna konstrukcja dla narzędzi do produkcji półprzewodników o średnicy 200 mm i 300 mm z ciasnymi tolerancjami.
Kompatybilny z głównymi platformami OEM, w tym systemami wytrawiania, systemami CVD/PVD i komorami czyszczenia plazmowego.
Doskonałe wykończenie powierzchni zapewnia optymalną wydajność plazmy i stabilność procesu w określonych zestawach narzędzi.
Pytania:
Z jakimi rozmiarami narzędzi półprzewodnikowych są kompatybilne te pierścienie ceramiczne z tlenku glinu?
Nasze pierścienie ceramiczne z tlenku glinu A998 o wysokiej czystości są precyzyjnie zaprojektowane dla narzędzi do produkcji półprzewodników o średnicy 200 mm i 300 mm, zapewniając kompatybilność z głównymi platformami OEM i stabilność procesu w przypadku różnych rozmiarów płytek.
W jaki sposób poziom czystości 99,8% wpływa na procesy produkcyjne półprzewodników?
Czystość tlenku glinu wynosząca 99,8% (gatunek A998) minimalizuje zanieczyszczenia metaliczne, które mają kluczowe znaczenie dla utrzymania standardów produkcji płytek o wysokiej czystości i osiągnięcia optymalnych współczynników wydajności we wrażliwych procesach półprzewodnikowych.
W jakich konkretnych zastosowaniach półprzewodników zwykle stosuje się te pierścienie ceramiczne?
Komponenty te są niezbędnymi materiałami eksploatacyjnymi w systemach trawienia jako pierścienie ogniskujące i wykładziny komór, w systemach CVD/PVD jako pierścienie i wkładki krawędziowe kołnierzy oraz w komorach czyszczenia plazmowego jako trwałe wykładziny odporne na erozję pod wpływem plazmy O₂ lub NF₃.
Co sprawia, że te ceramiczne pierścienie są odporne na środowiska plazmowe?
Wyjątkowa odporność na plazmy wynika z właściwości materiału aluminiowego o wysokiej czystości, który wytrzymuje agresywne środowiska plazmowe w komorach etku i osadzenia,zmniejszenie wytwarzania cząstek i wydłużenie czasu użytkowania części.