200mm ve 300mm Yarı İletken Araçları için Yüksek Saflıkta Alümina A998 (%99,8) Seramik Halkalar, Olağanüstü Plazma Direnciyle

Alüminyum Oksit Seramik
December 18, 2025
Kategori Bağlantısı: Alüminyum Oksit Seramik
Brief: Yarı iletken araçlar için Yüksek Saflıkta Alümina A998 Seramik Halkaların performans noktalarını vurgulayan uygulamalı bir gösteri için takip edin. Bu video, bu hassas bileşenlerin 200 mm ve 300 mm aşındırma ve CVD odalarında agresif plazma ortamlarına nasıl dayandığını, gerçek dünya yarı iletken üretimi uygulamalarında olağanüstü plazma dirençlerini ve güvenilirliklerini gösteriyor.
Related Product Features:
  • Olağanüstü plazma direnci, aşındırma ve biriktirme odalarındaki agresif plazma ortamlarına dayanarak hizmet ömrünü uzatır.
  • Yüksek dielektrik dayanıklılık, akım sızıntısını ve yaylanmasını önlemek için üstün elektrik yalıtımı sağlar.
  • Yüksek korozyon direnci, halojen bazlı ve diğer proses gazlarına karşı geometrik bütünlüğü korur.
  • %99,8 alümina saflığı, yüksek saflıkta gofret üretimi için metalik kontaminasyonu en aza indirir.
  • Mükemmel mekanik dayanıklılık, termal ve mekanik stres altında yapısal bütünlüğü sağlar.
  • 200 mm ve 300 mm'lik yarı iletkenler üreten aletler için sıkı toleranslarla hassas tasarlanmış.
  • Aşındırma sistemleri, CVD/PVD sistemleri ve plazma temizleme odaları dahil olmak üzere başlıca OEM platformlarıyla uyumludur.
  • Üstün yüzey kalitesi, belirli araç takımlarında optimum plazma performansı ve proses kararlılığı sağlar.
Sorular:
  • Bu alümina seramik halkalar hangi yarı iletken alet boyutlarıyla uyumludur?
    Yüksek Saflıkta Alümina A998 Seramik Halkalarımız, hem 200 mm hem de 300 mm yarı iletken imalat araçları için hassas bir şekilde tasarlanmış olup, büyük OEM platformlarıyla uyumluluk ve farklı levha boyutlarında süreç stabilitesi sağlar.
  • %99,8 saflık seviyesi yarı iletken üretim süreçlerine nasıl fayda sağlar?
    %99,8 alümina saflığı (A998 sınıfı), yüksek saflıkta plaka üretim standartlarını korumak ve hassas yarı iletken işlemlerde optimum verim oranlarına ulaşmak için kritik olan metalik kirlenmeyi en aza indirir.
  • Bu seramik halkalar tipik olarak hangi spesifik yarı iletken uygulamalarda kullanılıyor?
    Bu bileşenler, odak halkaları ve hazne astarları olarak aşındırma sistemlerinde, yaka kenar halkaları ve kesici uçlar olarak CVD/PVD sistemlerinde ve O₂ veya NF₃ plazmalarından kaynaklanan erozyona dirençli dayanıklı astarlar olarak plazma temizleme odalarında hayati önem taşıyan sarf malzemeleridir.
  • Bu seramik halkaları plazma ortamlarına karşı dayanıklı kılan nedir?
    Olağanüstü plazma direnci, yüksek saflıkta alümina malzeme özelliklerinden kaynaklanır ve bu özellikler, aşındırma ve biriktirme odalarındaki agresif plazma ortamlarına dayanarak parçacık oluşumunu azaltır ve bileşenlerin hizmet ömrünü uzatır.
İlişkili Videolar

Bu lav değil, bu bizim sırrımız.

Basınçsız sinterlenmiş silisyum karbür
September 11, 2025

Kalın Duvarlı Basınçsız Sinterli SiC Roleri

Basınçsız sinterlenmiş silisyum karbür
August 11, 2025