Brief: برای یک نمایش عملی همراه باشید که نکات عملکردی حلقههای سرامیکی آلومینا با خلوص بالا A998 را برای ابزارهای نیمهرسانا برجسته میکند. این ویدئو نشان میدهد که چگونه این قطعات دقیق در برابر محیطهای پلاسما تهاجمی در محفظههای اچ و CVD 200 میلیمتری و 300 میلیمتری مقاومت میکنند و مقاومت استثنایی پلاسما و قابلیت اطمینان آنها را در کاربردهای تولید نیمهرسانای دنیای واقعی نشان میدهد.
Related Product Features:
مقاومت استثنایی پلاسما، عمر سرویس را با مقاومت در برابر محیطهای پلاسما تهاجمی در محفظههای اچ و رسوبگذاری افزایش میدهد.
مقاومت دی الکتریک بالا عایق الکتریکی برتر را برای جلوگیری از نشت جریان و قوس فراهم می کند.
مقاومت در برابر خوردگی بالا حفظ یکپارچگی هندسی در برابر گازهای آلوجنی و دیگر گازهای فرآیند است.
خلوص 99.8% آلومینا، آلودگی فلزی را برای تولید ویفرهای با خلوص بالا به حداقل می رساند.
قدرت مکانیکی عالی یکپارچگی ساختاری را تحت فشار حرارتی و مکانیکی تضمین می کند.
ساخت دقیق برای ابزار ساخت نیمه هادی 200 میلی متری و 300 میلی متری با تحمل های تنگ
سازگار با پلتفرم های اصلی OEM از جمله سیستم های اچ، سیستم های CVD/PVD و محفظه های تمیز کننده پلاسما.
پرداخت های سطح برتر عملکرد مطلوب پلاسما و ثبات فرآیند را در مجموعه ابزارهای خاص تضمین می کند.
متداول:
این حلقه های سرامیکی آلومینا با چه اندازه های ابزار نیمه هادی سازگار است؟
حلقه های سرامیکی آلومینا A998 ما با خلوص بالا برای ابزارهای ساخت نیمه هادی 200 میلی متری و 300 میلی متری با مهندسی دقیق طراحی شده اند و از سازگاری با پلت فرم های اصلی OEM و ثبات فرآیند در اندازه های مختلف ویفر اطمینان می دهند.
سطح خلوص 99.8 درصد چه سودی برای فرآیندهای تولید نیمه هادی دارد؟
خلوص آلومینا 99.8٪ (درجه A998) آلودگی فلزی را به حداقل می رساند، که برای حفظ استانداردهای تولید ویفر با خلوص بالا و دستیابی به نرخ بازده بهینه در فرآیندهای نیمه هادی حساس بسیار مهم است.
این حلقه های سرامیکی معمولاً در کدام کاربردهای نیمه هادی خاص استفاده می شوند؟
این اجزا در سیستمهای اچ به عنوان حلقههای فوکوس و آستر محفظه، در سیستمهای CVD/PVD بهعنوان حلقههای لبه یقه و درجها، و در اتاقهای تمیزکننده پلاسما بهعنوان آسترهای بادوام که در برابر فرسایش پلاسمای O2 یا NF3 مقاومت میکنند، مواد مصرفی حیاتی هستند.
چي باعث ميشه اين حلقه هاي سراميکي در برابر محیط پلازما مقاوم باشند؟
مقاومت استثنایی پلاسما ناشی از ویژگیهای مواد آلومینا با خلوص بالا است که در برابر محیطهای خشن پلاسما در محفظههای اچ و رسوبگذاری مقاومت میکند، تولید ذرات را کاهش میدهد و عمر مفید قطعات را افزایش میدهد.