中国のビデオ チャネル Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
チャット お問い合わせ
ホーム ビデオ 再生リスト ウェブサイト

高純度アルミナA998 (99.8%) セラミックリング、200mmおよび300mm半導体ツール用、優れた耐プラズマ性

アルミオキシドセラミック
December 18, 2025
カテゴリー 接続: アルミオキシドセラミック
チャット お問い合わせ
タグ:
#アルミニウム触媒の持ち体 #アルミナの陶磁器の基質 #陶磁器アルミナ
Brief: 半導体ツールの高純度アルミナA998セラミックリングの性能ポイントを強調する 実用的なデモをご覧くださいこのビデオは,これらの精密部品が 200mmと300mmのエッチとCVD室で攻撃的なプラズマ環境に耐える方法を示しています半導体製造の実用的なアプリケーションにおける卓越したプラズマ耐性と信頼性を実証しています
Related Product Features:
  • 特殊なプラズマ耐性により,エッチと堆積室で攻撃的なプラズマ環境に耐えるため使用寿命が延長されます.
  • 高電圧強度は,電流の漏れや弧を防ぐ優れた電圧隔離を提供します.
  • 高耐腐食性により,ハロゲンベースのガスや他のプロセスガスに対して幾何学的整合性を維持する.
  • 99純度0.8%のアルミナ素は高純度ウエファー製造のために金属汚染を最小限に抑える.
  • 優れた機械的強度により、熱的および機械的ストレス下でも構造的完全性が保証されます。
  • 200mmと300mmの半導体製造ツールに精密設計され 容量も狭い
  • エッチング システム、CVD/PVD システム、プラズマ クリーニング チャンバーなどの主要な OEM プラットフォームと互換性があります。
  • 優れた表面仕上げにより、特定のツールセットで最適なプラズマパフォーマンスとプロセスの安定性が保証されます。
FAQ:
  • これらのアルミナ セラミック リングはどのような半導体ツール サイズと互換性がありますか?
    当社の高純度アルミナ A998 セラミック リングは、200mm と 300mm の両方の半導体製造ツール向けに精密設計されており、主要な OEM プラットフォームとの互換性と、さまざまなウェーハ サイズにわたるプロセスの安定性を保証します。
  • 99.8% の純度レベルは半導体製造プロセスにどのようなメリットをもたらしますか?
    99.8% のアルミナ純度 (A998 グレード) により、金属汚染が最小限に抑えられます。これは、高純度のウェーハ製造基準を維持し、繊細な半導体プロセスで最適な歩留まりを達成するために重要です。
  • これらのセラミックリングは通常どのような半導体用途に使用されますか?
    これらのコンポーネントは、エッチング システムではフォーカス リングやチャンバー ライナーとして、CVD/PVD システムではカラー エッジ リングやインサートとして、プラズマ クリーニング チャンバーでは O2 または NF3 プラズマからの侵食に耐える耐久性のあるライナーとして、重要な消耗品です。
  • これらのセラミックリングがプラズマ環境に耐性を持つ理由は？
    特殊なプラズマ耐性は 高純度アルミニウム材料の特性から 生まれます粒子の生成を削減し,部品の使用寿命を延長する.
関連動画
圧力をかけないシリコンカービッドローラー - 1650°C 熱耐性 炉と炉の用途 00:28

圧力をかけないシリコンカービッドローラー - 1650°C 熱耐性 炉と炉の用途
Pressurelessは炭化ケイ素を焼結させた
August 27, 2025
半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa 00:27

半導体製造用の高温耐性SiCフォーク,最大使用温度1650°C,屈曲強度3800MPa
炭化ケイ素セラミック
December 18, 2025
高温安定性（1380℃）と高熱伝導率（45 W/m*K）を備えたカスタム形状の反応焼結炭化ケイ素サガー 00:24

高温安定性（1380℃）と高熱伝導率（45 W/m*K）を備えたカスタム形状の反応焼結炭化ケイ素サガー
Reaction Bonded Silicon Carbide
December 18, 2025
Kegu SiCの工場について 00:30

Kegu SiCの工場について
その他の動画
September 10, 2025
高温 SCR ダブルスピラル シリコンカービッド熱棒 1650°C 工業炉の要素 00:42

高温 SCR ダブルスピラル シリコンカービッド熱棒 1650°C 工業炉の要素
Pressurelessは炭化ケイ素を焼結させた
August 15, 2025
これは溶岩ではありません。極限のローラー耐久性の秘密です。 00:29

これは溶岩ではありません。極限のローラー耐久性の秘密です。
Pressurelessは炭化ケイ素を焼結させた
September 11, 2025
SiC ロール: 30% 耐久性のあるロールで恒常的な交換を終了 00:31

SiC ロール: 30% 耐久性のあるロールで恒常的な交換を終了
Pressurelessは炭化ケイ素を焼結させた
September 04, 2025
厚壁型圧感のないシシンタリングシシンタリング 00:25

厚壁型圧感のないシシンタリングシシンタリング
Pressurelessは炭化ケイ素を焼結させた
August 11, 2025
無圧焼結SiC研削ボール 鉱業セラミックス化学品用研削メディア 00:32

無圧焼結SiC研削ボール 鉱業セラミックス化学品用研削メディア
Pressurelessは炭化ケイ素を焼結させた
September 10, 2025
シリコンカービッド電気暖房エレメント 渦巻きシックヒーター U形 1400°Cの炉用 00:35

シリコンカービッド電気暖房エレメント 渦巻きシックヒーター U形 1400°Cの炉用
その他の動画
August 25, 2025