حلقات سيراميك ألومينا عالية النقاء A998 (99.8٪) لأدوات أشباه الموصلات 200 مم و 300 مم مع مقاومة استثنائية للبلازما
الخصائص الأساسية
مكان المنشأ:
الصين
اسم العلامة التجارية:
KEGU
رقم الموديل:
قابلة للتخصيص
تداول العقارات
سعر:
200-500 yuan/kg
شروط الدفع:
L/C,D/A,D/P,T/T,ويسترن يونيون,MoneyGram
القدرة على العرض:
2000 قطعة / شهر
ملخص المنتج
حلقات سيراميك الألومينا المتقدمة لمعدات أشباه الموصلات نحن نصنع حلقات سيراميك الألومينا عالية الأداء مصممة خصيصًا للتطبيقات الهامة في معدات معالجة البلازما لأشباه الموصلات. مصنوعة من الألومينا عالية النقاء A998 (99.8%)، توفر مكوناتنا مقاومة لا مثيل لها للبلازما وموثوقية في غرف الحفر والترسيب الكيميا...
تفاصيل المنتج
إبراز:
حلقة السيراميك من الألومينا ذات النقاء العالي
,حلقة التركيز السيراميكية من الألومينا
,حلقة الحافة السيراميكية من الألومينا
Material:
كذا
Composition:SiC:
>85%
Color:
أسود
Density:
≥3.65g/cm3
Max. Service Temp:
1380 ℃
Flexural Strength:
250 ميجا باسكال
Hardness:
≥84hra
Water Absorption:
≤0.2 ٪
Abrasion:
<0.02 ٪
Bending Strength:
≥290MPa
وصف المنتج
حلقات سيراميك الألومينا المتقدمة لمعدات أشباه الموصلات
نحن نصنع حلقات سيراميك الألومينا عالية الأداء مصممة خصيصًا للتطبيقات الهامة في معدات معالجة البلازما لأشباه الموصلات. مصنوعة من الألومينا عالية النقاء A998 (99.8%)، توفر مكوناتنا مقاومة لا مثيل لها للبلازما وموثوقية في غرف الحفر والترسيب الكيميائي بالبخار (CVD) الصعبة.
نظرة عامة على المنتج
- حلقات حافة الياقة / حلقات الإيداع
- حلقات التركيز
- حشوات وغلافات الغرفة
- مكونات مجموعة العمليات المخصصة الأخرى
تم تصميم هذه المكونات بدقة لتلبية المتطلبات الصارمة لـ أدوات تصنيع أشباه الموصلات 200 مم و 300 مم، مما يضمن استقرار العملية وإنتاجيتها.
الخصائص والمزايا الرئيسية للمادة
| الميزة | الفائدة لعمليتك |
|---|---|
| مقاومة البلازما الاستثنائية | تطيل عمر الخدمة: تتحمل بيئات البلازما القوية في غرف الحفر والترسيب، مما يقلل من توليد الجسيمات وتكرار الاستبدال. |
| قوة عزل كهربائي عالية | عزل كهربائي فائق: يمنع تسرب التيار والتقوس، مما يضمن استقرار العملية وحماية مكونات الغرفة الحساسة. |
| مقاومة عالية للتآكل | خامل كيميائيًا: يقاوم التآكل من الغازات القائمة على الهالوجين (مثل CF₄، Cl₂) والغازات الأخرى المستخدمة في العملية، مع الحفاظ على السلامة الهندسية واتساق العملية. |
| نقاء عالي (A998) | يقلل من التلوث: يضمن محتوى الألومينا بنسبة 99.8% عدم وجود تلوث معدني، وهو أمر بالغ الأهمية لتصنيع الرقائق عالية النقاء ومعدلات الإنتاجية المرتفعة. |
| قوة ميكانيكية ممتازة | متين وموثوق: يحافظ على السلامة الهيكلية في ظل الضغط الحراري والميكانيكي، مما يضمن الأداء على المدى الطويل وتقليل وقت التوقف غير المجدول. |
التطبيقات الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات
تعتبر حلقات السيراميك الخاصة بنا من المواد الاستهلاكية والمكونات الحيوية داخل غرف البلازما:
- أنظمة الحفر: تستخدم كـ حلقات التركيز و بطانات الغرفة في أدوات الحفر العازلة والموصلة للتحكم بدقة في كثافة البلازما وحماية جدران الغرفة.
- أنظمة CVD/PVD: تعمل كـ حلقات حافة الياقة و حشوات لتحديد بيئة المعالجة ومنع الترسيب غير المرغوب فيه.
- غرف تنظيف البلازما: تعمل كـ بطانات متينة تقاوم التآكل من بلازما O₂ أو NF₃، مما يطيل دورات الصيانة.
لماذا تختار حلقات سيراميك الألومينا الخاصة بنا؟
- مصممة بدقة: نحن متخصصون في إنتاج مكونات ذات تفاوتات ضيقة وتشطيبات سطحية فائقة، مما يضمن ملاءمة مثالية وأداء بلازما مثالي في مجموعة الأدوات الخاصة بك.
- مصممة للأداء: ينتج عن تركيزنا على علوم وهندسة المواد أجزاء توفر عمر خدمة أطول، وعدد جسيمات أقل، وتحسين قابلية تكرار العملية.
- متوافقة مع المنصات الرئيسية: تم تصميم منتجاتنا للاستخدام في مجموعة واسعة من معدات أشباه الموصلات 200 مم و 300 مم من الشركات المصنعة الأصلية الرائدة.
هل تبحث عن شريك موثوق به لمكونات السيراميك لأشباه الموصلات الخاصة بك؟ اتصل بنا اليوم للحصول على المواصفات الفنية والتسعير ومناقشة الحلول المخصصة لتطبيقك.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- البريد الإلكتروني: scarlett.s@kegugroup.com
- الهاتف: 8616602956098
- واتس اب: 8613390790728
-
(ويتشات):
Scarlettseren533
المنتجات ذات الصلة
-
حلقات الختم الكربيد السيليكون مع 1650 درجة مئوية الحرارة الخدمة القصوى، 380MPa قوة الانحناء، ومقاومة التآكل
حلقات إحكام كربيد السيليكون (SiC) أداء متقدم للتطبيقات الصعبة نظرة عامة على المنتج تمثل حلقات إحكام كربيد السيليكون المتلبدة بدون ضغط ذروة تكنولوجيا الإحكام، وهي مصممة لتقديم أداء لا مثيل له في ظروف التشغيل القاسية. باستخدام عمليات تصنيع متقدمة بما في ذلك الضغط الجاف للحلقات صغيرة الحجم والضغط المتس... -
محترقات أنابيب السيراميكية ذات الكربيد السيليكوني المخصصة مع 1650 درجة مئوية الحرارة القصوى للخدمة ، وتقليل الوقود بنسبة 20٪ ، ومقاومة الصدمات الحرارية
محروقات أنابيب الكربيد السيليكونية السيراميكية المخصصة أنابيب مشعقة شركة (زيغ إندستريال) توفر أجهزة حرق أنابيب السيراميكية ذات الكربيد السيليكوني عالية الأداءأنابيبنا المركبة من الـ Si/SiC توفر نقل حرارة ممتاز، متانة استثنائية، وتوفير طاقة كبير لتطبيقات التدفئة الصناعية. متاح للتثبيت الفوري في الأنظ... -
فوهة رمل الكربيد السيليكوني بمقاومة ارتداء متفوقة ، وعمر خدمة مطول ، وهندسة دقة للتطبيقات الصناعية
فوهات السفع الرملي من كربيد السيليكون (SiC) مقاومة فائقة للتآكل لتطبيقات المعالجة السطحية الصناعية تم تصميم فوهات السفع الرملي من كربيد السيليكون الخاصة بنا لتحمل أقصى درجات المتانة والدقة في تطبيقات المعالجة السطحية الصعبة. يتم تصنيع هذه الفوهات من خلال تقنية الضغط المتساوي المتقدمة والتلبيد بدون ض... -
الدرع الجسدي من كربيد السيليكون مع قدرة ضربات متعددة والدفاع الخفيف للحماية الباليستية
درع السيراميك من كربيد السيليكون: حماية باليستية متفوقة لدينا الدروع السيراميكية المتقدمة من كربيد السيليكون (SiC) تمثل قمة تكنولوجيا المواد الباليستية، والجمع بين صلابة استثنائية (9.5 موهس) مع انخفاض كبير في الوزن لتوفير حماية لا مثيل لها للأفراد والمركبات ضد التهديدات عالية السرعة وخرق الدروع. الم...
