|
Detail produk:
|
| Bahan: | Sic | Komposisi:SiC: | >85% |
|---|---|---|---|
| Warna: | Hitam | Kepadatan: | ≥3.65g/cm3 |
| Maks. Suhu Layanan: | 1380 ℃ | Kekuatan Lentur: | 250MPa |
| Kekerasan: | ≥84hra | Penyerapan Air: | ≤0,2% |
| Abrasi: | <0,02% | kekuatan lentur: | ≥290MPa |
| Menyoroti: | Cincin Keramik Alumina Kemurnian Tinggi,Cincin Fokus Keramik Alumina,Cincin Tepi Keramik Alumina |
||
| Fitur | Manfaat untuk Proses Anda |
|---|---|
| Ketahanan Plasma Luar Biasa | Memperpanjang Umur Layanan: Tahan terhadap lingkungan plasma agresif di ruang etsa dan deposisi, mengurangi generasi partikel dan frekuensi penggantian. |
| Kekuatan Dielektrik Tinggi | Isolasi Listrik Unggul: Mencegah kebocoran arus dan busur, memastikan stabilitas proses dan melindungi komponen ruang yang sensitif. |
| Ketahanan Korosi Tinggi | Secara Kimiawi Inert: Tahan terhadap korosi dari halogen (misalnya, CF₄, Cl₂) dan gas proses lainnya, menjaga integritas geometris dan konsistensi proses. |
| Kemurnian Tinggi (A998) | Meminimalkan Kontaminasi: Kandungan alumina 99,8% memastikan tidak ada kontaminasi logam, yang sangat penting untuk manufaktur wafer kemurnian tinggi dan tingkat hasil yang tinggi. |
| Kekuatan Mekanik yang Sangat Baik | Tahan Lama dan Andal: Mempertahankan integritas struktural di bawah tekanan termal dan mekanik, memastikan kinerja jangka panjang dan mengurangi waktu henti yang tidak terjadwal. |
Kontak Person: Ms. Yuki
Tel: 8615517781293