Vòng gốm Alumina A998 (99.8%) độ tinh khiết cao cho dụng cụ bán dẫn 200mm và 300mm với khả năng kháng plasma vượt trội
Thuộc tính cơ bản
Nơi xuất xứ:
Trung Quốc
Tên thương hiệu:
KEGU
Số mô hình:
Có thể tùy chỉnh
Giao dịch Bất động sản
Giá:
200-500 yuan/kg
Điều khoản thanh toán:
L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Khả năng cung cấp:
2.000 chiếc / tháng
Tóm tắt sản phẩm
Vòng Gốm Alumina Cao Cấp cho Thiết Bị Bán Dẫn Chúng tôi sản xuất các Vòng Gốm Alumina hiệu suất cao, được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng quan trọng trong thiết bị xử lý plasma bán dẫn. Được làm từ Alumina Độ Tinh Khiết Cao A998 (99.8%), các linh kiện của chúng tôi mang lại khả năng kháng plasma ...
Chi tiết sản phẩm
Làm nổi bật:
Vòng gốm alumina độ tinh khiết cao
,Vòng lấy nét gốm alumina
,Vòng cạnh gốm alumina
Material:
Sic
Composition:SiC:
＞85%
Color:
Đen
Density:
≥3,65g/cm3
Max. Service Temp:
1380
Flexural Strength:
250MPa
Hardness:
≥84hra
Water Absorption:
≤0,2%
Abrasion:
<0,02%
Bending Strength:
≥290MPa
Mô tả sản phẩm
Vòng Gốm Alumina Cao Cấp cho Thiết Bị Bán Dẫn
Chúng tôi sản xuất các Vòng Gốm Alumina hiệu suất cao, được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng quan trọng trong thiết bị xử lý plasma bán dẫn. Được làm từ Alumina Độ Tinh Khiết Cao A998 (99.8%), các linh kiện của chúng tôi mang lại khả năng kháng plasma và độ tin cậy vượt trội trong các buồng khắc và CVD đòi hỏi khắt khe.
Tổng quan sản phẩm
- Vòng Cạnh Cổ / Vòng Dep
- Vòng Tập trung
- Lớp lót & Chèn Buồng
- Các thành phần Bộ dụng cụ Quy trình Tùy chỉnh Khác
Các thành phần này được thiết kế chính xác để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của công cụ chế tạo bán dẫn 200mm và 300mm, đảm bảo sự ổn định và năng suất của quy trình.
Các tính chất và ưu điểm vật liệu chính
| Tính năng | Lợi ích cho Quy trình của Bạn |
|---|---|
| Khả năng kháng plasma vượt trội | Kéo dài tuổi thọ: Chịu được môi trường plasma khắc nghiệt trong buồng khắc và lắng đọng, giảm thiểu sự hình thành hạt và tần suất thay thế. |
| Điện trở cách điện cao | Cách điện vượt trội: Ngăn ngừa rò rỉ dòng điện và phóng điện hồ quang, đảm bảo sự ổn định của quy trình và bảo vệ các thành phần buồng nhạy cảm. |
| Khả năng chống ăn mòn cao | Trơ về mặt hóa học: Chống ăn mòn từ các loại khí gốc halogen (ví dụ: CF₄, Cl₂) và các loại khí quy trình khác, duy trì tính toàn vẹn hình học và tính nhất quán của quy trình. |
| Độ tinh khiết cao (A998) | Giảm thiểu ô nhiễm: Hàm lượng alumina 99.8% đảm bảo không có ô nhiễm kim loại, điều này rất quan trọng đối với việc sản xuất wafer có độ tinh khiết cao và tỷ lệ năng suất cao. |
| Độ bền cơ học tuyệt vời | Bền và đáng tin cậy: Duy trì tính toàn vẹn cấu trúc dưới ứng suất nhiệt và cơ học, đảm bảo hiệu suất lâu dài và giảm thời gian ngừng hoạt động không theo kế hoạch. |
Các ứng dụng chính trong sản xuất chất bán dẫn
Vòng gốm của chúng tôi là vật tư tiêu hao và linh kiện quan trọng trong buồng plasma:
- Hệ thống Khắc: Được sử dụng làm Vòng Tập trung và Lớp lót Buồng trong các công cụ Khắc Điện môi và Dẫn điện để kiểm soát chính xác mật độ plasma và bảo vệ thành buồng.
- Hệ thống CVD/PVD: Hoạt động như Vòng Cạnh Cổ và Chèn để xác định môi trường xử lý và ngăn chặn sự lắng đọng không mong muốn.
- Buồng làm sạch plasma: Hoạt động như Lớp lót bền bỉ, chống lại sự xói mòn từ plasma O₂ hoặc NF₃, kéo dài chu kỳ bảo trì.
Tại sao nên chọn Vòng Gốm Alumina của chúng tôi?
- Sản xuất chính xác: Chúng tôi chuyên sản xuất các linh kiện với dung sai chặt chẽ và bề mặt hoàn thiện vượt trội, đảm bảo sự phù hợp hoàn hảo và hiệu suất plasma tối ưu trong bộ công cụ cụ thể của bạn.
- Được thiết kế cho hiệu suất: Sự tập trung của chúng tôi vào khoa học vật liệu và kỹ thuật tạo ra các bộ phận mang lại tuổi thọ cao hơn, giảm số lượng hạt và cải thiện khả năng lặp lại của quy trình.
- Tương thích với các nền tảng chính: Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để sử dụng trong nhiều loại thiết bị bán dẫn 200mm và 300mm từ các OEM hàng đầu.
Bạn đang tìm kiếm một đối tác đáng tin cậy cho các linh kiện gốm bán dẫn của mình? Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để biết thông số kỹ thuật, giá cả và thảo luận về các giải pháp tùy chỉnh cho ứng dụng của bạn.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- E-mail: scarlett.s@kegugroup.com
- Điện thoại: 8616602956098
- WhatsApp: 8613390790728
-
WeChat:
Scarlettseren533
Sản phẩm liên quan
-
Nhẫn niêm phong Silicon Carbide với nhiệt độ phục vụ tối đa 1650 °C, Độ bền uốn cong 380MPa và khả năng chống ăn mòn
Nhẫn niêm phong Silicon Carbide (SiC) Hiệu suất nâng cao cho các ứng dụng đòi hỏi Tổng quan sản phẩm Vòng niêm phong Silicon Carbide không áp suất của chúng tôi đại diện cho đỉnh cao của công nghệ niêm phong, được thiết kế để cung cấp hiệu suất không sánh ngang trong điều kiện hoạt động cực đoan.Sử ... -
Đầu đốt ống gốm silicon carbide tùy chỉnh với nhiệt độ phục vụ tối đa 1650°C, giảm 20% nhiên liệu và khả năng chống sốc nhiệt
Ống đốt gốm cacbua silic tùy chỉnh và Ống bức xạ có cánh ZG Industrial cung cấp ống đốt gốm cacbua silic tùy chỉnh và ống bức xạ có cánh hiệu suất cao. Được thiết kế cho các điều kiện khắc nghiệt, ống composite Si/SiC của chúng tôi mang lại khả năng truyền nhiệt vượt trội, độ bền đặc biệt và tiết ki... -
Silicon Carbide Sandblasting Nozzle với khả năng chống mòn vượt trội, tuổi thọ kéo dài và kỹ thuật chính xác cho các ứng dụng công nghiệp
Vòi phun cát Silicon Carbide (SiC) Khả năng chống mài mòn vượt trội cho các ứng dụng xử lý bề mặt công nghiệp Vòi phun cát Silicon Carbide của chúng tôi được thiết kế để có độ bền và độ chính xác cao trong các ứng dụng xử lý bề mặt đòi hỏi khắt khe. Được sản xuất thông qua công nghệ ép đẳng tĩnh ti... -
NIJ chứng nhận giáp thân Silicon Carbide với khả năng tấn công nhiều lần và phòng thủ nhẹ để bảo vệ đạn đạo
Giáp gốm silicon carbide: Bảo vệ đạn đạo vượt trội Giáp gốm silicon carbide (SiC) tiên tiến của chúng tôi đại diện cho đỉnh cao của công nghệ vật liệu đạn đạo, kết hợp độ cứng đặc biệt (9.5 Mohs) với trọng lượng giảm đáng kể để mang lại sự bảo vệ vô song cho nhân viên và phương tiện trước các mối đe ...
