|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
|
| Vật liệu: | Sic | Thành phần:SiC: | >85% |
|---|---|---|---|
| Màu sắc: | Đen | Tỉ trọng: | ≥3,65g/cm3 |
| Tối đa. Nhiệt độ dịch vụ: | 1380 | Độ bền uốn: | 250MPa |
| độ cứng: | ≥84hra | Hấp thụ nước: | ≤0,2% |
| mài mòn: | <0,02% | độ bền uốn: | ≥290MPa |
| Làm nổi bật: | Vòng gốm alumina độ tinh khiết cao,Vòng lấy nét gốm alumina,Vòng cạnh gốm alumina |
||
| Tính năng | Lợi ích cho Quy trình của Bạn |
|---|---|
| Khả năng kháng plasma vượt trội | Kéo dài tuổi thọ: Chịu được môi trường plasma khắc nghiệt trong buồng khắc và lắng đọng, giảm thiểu sự hình thành hạt và tần suất thay thế. |
| Điện trở cách điện cao | Cách điện vượt trội: Ngăn ngừa rò rỉ dòng điện và phóng điện hồ quang, đảm bảo sự ổn định của quy trình và bảo vệ các thành phần buồng nhạy cảm. |
| Khả năng chống ăn mòn cao | Trơ về mặt hóa học: Chống ăn mòn từ các loại khí gốc halogen (ví dụ: CF₄, Cl₂) và các loại khí quy trình khác, duy trì tính toàn vẹn hình học và tính nhất quán của quy trình. |
| Độ tinh khiết cao (A998) | Giảm thiểu ô nhiễm: Hàm lượng alumina 99.8% đảm bảo không có ô nhiễm kim loại, điều này rất quan trọng đối với việc sản xuất wafer có độ tinh khiết cao và tỷ lệ năng suất cao. |
| Độ bền cơ học tuyệt vời | Bền và đáng tin cậy: Duy trì tính toàn vẹn cấu trúc dưới ứng suất nhiệt và cơ học, đảm bảo hiệu suất lâu dài và giảm thời gian ngừng hoạt động không theo kế hoạch. |
Người liên hệ: Ms. Yuki
Tel: 8615517781293