logo
Nhà Sản phẩmgốm oxit nhôm

Vòng gốm Alumina A998 (99.8%) độ tinh khiết cao cho dụng cụ bán dẫn 200mm và 300mm với khả năng kháng plasma vượt trội

Chứng nhận
Trung Quốc Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Chứng chỉ
Trung Quốc Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Chứng chỉ
Khách hàng đánh giá
NGK đánh giá cao mối quan hệ đối tác lâu dài của chúng tôi với Shaanxi Kegu. Gốm SSiC của họ vượt trội về chất lượng và sự đổi mới, thúc đẩy sự thành công chung của chúng ta. Xin chúc mừng sự hợp tác liên tục!

—— Công ty TNHH Công nghệ Nhiệt NGK

Tại Huike, chúng tôi tự hào về mối quan hệ đối tác lâu dài với Công ty Công nghệ Vật liệu Mới Shaanxi Kegu, một sự hợp tác bắt nguồn từ niềm tin, đổi mới và sự xuất sắc chung.Chuyên môn của họ trong gốm SSiC và các giải pháp đáng tin cậy đã liên tục hỗ trợ các dự án của chúng tôi.

—— Suzhou Huike Technology Co.,Ltd

Chúng tôi tại Keda rất đánh giá cao quan hệ đối tác lâu dài của chúng tôi với Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Các giải pháp gốm SSiC chất lượng cao của họ đã là một phần không thể thiếu trong các dự án của chúng tôi và chúng tôi mong đợi sự hợp tác tiếp tục và thành công chung.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

Tôi trò chuyện trực tuyến bây giờ

Vòng gốm Alumina A998 (99.8%) độ tinh khiết cao cho dụng cụ bán dẫn 200mm và 300mm với khả năng kháng plasma vượt trội

High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance

Hình ảnh lớn :  Vòng gốm Alumina A998 (99.8%) độ tinh khiết cao cho dụng cụ bán dẫn 200mm và 300mm với khả năng kháng plasma vượt trội

Thông tin chi tiết sản phẩm:
Nguồn gốc: Trung Quốc
Hàng hiệu: KEGU
Số mô hình: Có thể tùy chỉnh
Thanh toán:
Giá bán: 200-500 yuan/kg
chi tiết đóng gói: Hộp gỗ chắc chắn để vận chuyển toàn cầu
Điều khoản thanh toán: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Khả năng cung cấp: 2.000 chiếc / tháng

Vòng gốm Alumina A998 (99.8%) độ tinh khiết cao cho dụng cụ bán dẫn 200mm và 300mm với khả năng kháng plasma vượt trội

Sự miêu tả
Vật liệu: Sic Thành phần:SiC: >85%
Màu sắc: Đen Tỉ trọng: ≥3,65g/cm3
Tối đa. Nhiệt độ dịch vụ: 1380 Độ bền uốn: 250MPa
độ cứng: ≥84hra Hấp thụ nước: ≤0,2%
mài mòn: <0,02% độ bền uốn: ≥290MPa
Làm nổi bật:

Vòng gốm alumina độ tinh khiết cao

,

Vòng lấy nét gốm alumina

,

Vòng cạnh gốm alumina

Vòng Gốm Alumina Cao Cấp cho Thiết Bị Bán Dẫn
Chúng tôi sản xuất các Vòng Gốm Alumina hiệu suất cao, được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng quan trọng trong thiết bị xử lý plasma bán dẫn. Được làm từ Alumina Độ Tinh Khiết Cao A998 (99.8%), các linh kiện của chúng tôi mang lại khả năng kháng plasma và độ tin cậy vượt trội trong các buồng khắc và CVD đòi hỏi khắt khe.
Tổng quan sản phẩm
  • Vòng Cạnh Cổ / Vòng Dep
  • Vòng Tập trung
  • Lớp lót & Chèn Buồng
  • Các thành phần Bộ dụng cụ Quy trình Tùy chỉnh Khác
Các thành phần này được thiết kế chính xác để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của công cụ chế tạo bán dẫn 200mm và 300mm, đảm bảo sự ổn định và năng suất của quy trình.
Các tính chất và ưu điểm vật liệu chính
Tính năng Lợi ích cho Quy trình của Bạn
Khả năng kháng plasma vượt trội Kéo dài tuổi thọ: Chịu được môi trường plasma khắc nghiệt trong buồng khắc và lắng đọng, giảm thiểu sự hình thành hạt và tần suất thay thế.
Điện trở cách điện cao Cách điện vượt trội: Ngăn ngừa rò rỉ dòng điện và phóng điện hồ quang, đảm bảo sự ổn định của quy trình và bảo vệ các thành phần buồng nhạy cảm.
Khả năng chống ăn mòn cao Trơ về mặt hóa học: Chống ăn mòn từ các loại khí gốc halogen (ví dụ: CF₄, Cl₂) và các loại khí quy trình khác, duy trì tính toàn vẹn hình học và tính nhất quán của quy trình.
Độ tinh khiết cao (A998) Giảm thiểu ô nhiễm: Hàm lượng alumina 99.8% đảm bảo không có ô nhiễm kim loại, điều này rất quan trọng đối với việc sản xuất wafer có độ tinh khiết cao và tỷ lệ năng suất cao.
Độ bền cơ học tuyệt vời Bền và đáng tin cậy: Duy trì tính toàn vẹn cấu trúc dưới ứng suất nhiệt và cơ học, đảm bảo hiệu suất lâu dài và giảm thời gian ngừng hoạt động không theo kế hoạch.
Các ứng dụng chính trong sản xuất chất bán dẫn
Vòng gốm của chúng tôi là vật tư tiêu hao và linh kiện quan trọng trong buồng plasma:
  • Hệ thống Khắc: Được sử dụng làm Vòng Tập trungLớp lót Buồng trong các công cụ Khắc Điện môi và Dẫn điện để kiểm soát chính xác mật độ plasma và bảo vệ thành buồng.
  • Hệ thống CVD/PVD: Hoạt động như Vòng Cạnh CổChèn để xác định môi trường xử lý và ngăn chặn sự lắng đọng không mong muốn.
  • Buồng làm sạch plasma: Hoạt động như Lớp lót bền bỉ, chống lại sự xói mòn từ plasma O₂ hoặc NF₃, kéo dài chu kỳ bảo trì.
Tại sao nên chọn Vòng Gốm Alumina của chúng tôi?
  • Sản xuất chính xác: Chúng tôi chuyên sản xuất các linh kiện với dung sai chặt chẽ và bề mặt hoàn thiện vượt trội, đảm bảo sự phù hợp hoàn hảo và hiệu suất plasma tối ưu trong bộ công cụ cụ thể của bạn.
  • Được thiết kế cho hiệu suất: Sự tập trung của chúng tôi vào khoa học vật liệu và kỹ thuật tạo ra các bộ phận mang lại tuổi thọ cao hơn, giảm số lượng hạt và cải thiện khả năng lặp lại của quy trình.
  • Tương thích với các nền tảng chính: Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để sử dụng trong nhiều loại thiết bị bán dẫn 200mm và 300mm từ các OEM hàng đầu.
Bạn đang tìm kiếm một đối tác đáng tin cậy cho các linh kiện gốm bán dẫn của mình? Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để biết thông số kỹ thuật, giá cả và thảo luận về các giải pháp tùy chỉnh cho ứng dụng của bạn.

Chi tiết liên lạc
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Người liên hệ: Ms. Yuki

Tel: 8615517781293

Gửi yêu cầu thông tin của bạn trực tiếp cho chúng tôi (0 / 3000)