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Bienvenue à Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
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Maison / Produits / Composants en céramique d'alumine / Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle
Qualité Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle usine
Qualité Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle usine
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Qualité Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle usine

Anneaux en céramique d'alumine A998 de haute pureté (99,8%) pour outils semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm avec une résistance au plasma exceptionnelle

Propriétés de base
Lieu d'origine: Chine
Nom de la marque: KEGU
Numéro de modèle: Personnalisable
Propriétés commerciales
Prix: 200-500 yuan/kg
Conditions de paiement: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacité d'approvisionnement: 2 000 PCs/mois
Les étiquettes

Boîte à filtres en silicate d'aluminium Flux lisse

Boîte à filtres en silicate d'aluminium sans préchauffage

Pièces en céramique en alumine
Résumé du produit
Anneaux en céramique d'aluminium avancé pour équipements à semi-conducteurs Nous fabriquons des produits de haute performanceAnneaux en céramique d'aluminiumspécialement conçus pour des applications critiques dans les équipements de traitement de plasma à semi-conducteurs.Alumine A998 à haute pureté ...

Détails de produit

Mettre en évidence:

Anneau en céramique d'aluminium de haute pureté

,

Anneau de mise au point en céramique d'aluminium

,

Anneaux de bord en céramique d'aluminium
Material: Sic
Composition:SiC: >85%
Color: Noir
Density: ≥ 3,65 g/cm3
Max. Service Temp: 1380 ℃
Flexural Strength: 250MPa
Hardness: ≥84HRA
Water Absorption: ≤0,2%
Abrasion: < 0,02%
Bending Strength: ≥290MPa
Description de produit
Anneaux en céramique d'aluminium avancé pour équipements à semi-conducteurs
Nous fabriquons des produits de haute performanceAnneaux en céramique d'aluminiumspécialement conçus pour des applications critiques dans les équipements de traitement de plasma à semi-conducteurs.Alumine A998 à haute pureté (99,8%), nos composants offrent une résistance au plasma et une fiabilité inégalées dans les chambres de gravure et de CVD exigeantes.
Vue d'ensemble du produit
  • Rings de bord de collier / Rings de profondeur
  • Anneaux de mise au point
  • Les inserts et revêtements de chambre
  • Autres composants personnalisés du kit de processus
Ces composants sont conçus avec précision pour satisfaire aux exigences strictes deOutils de fabrication de semi-conducteurs de 200 mm et 300 mm, assurant la stabilité et le rendement du processus.
Principales propriétés et avantages du matériau
Caractéristique Des bienfaits pour votre processus
Résistance au plasma exceptionnelle Prolonge la durée de vie:Résiste aux environnements plasmatiques agressifs dans les chambres de gravure et de dépôt, réduisant la production de particules et la fréquence de remplacement.
Résistance diélectrique élevée Isolation électrique supérieure:Prévient les fuites de courant et les arcs, assurant la stabilité du processus et protégeant les composants sensibles de la chambre.
Résistance élevée à la corrosion Chimiquement inerte:Résistant à la corrosion par les halogènes (par exemple, CF4, Cl2) et d'autres gaz de procédé, conservant l'intégrité géométrique et la cohérence du procédé.
Purification élevée Réduit la contamination:99La teneur en aluminium de 0,8% garantit l'absence de contamination métallique, ce qui est essentiel pour la fabrication de plaquettes de haute pureté et des rendements élevés.
Excellente résistance mécanique Durable et fiable:Maintient l'intégrité de la structure sous contrainte thermique et mécanique, assurant des performances à long terme et réduisant les temps d'arrêt imprévus.
Applications principales dans la fabrication de semi-conducteurs
Nos anneaux en céramique sont des consommables et des composants essentiels dans les chambres à plasma:
  • Systèmes de gravure:Utilisé commeAnneaux de mise au pointetLes revêtements de chambreDans les outils de gravure diélectrique et conducteur pour contrôler avec précision la densité du plasma et protéger les parois de la chambre.
  • Systèmes CVD/PVD:Servir commeAnneaux de bord de collieretLes insertspour définir l'environnement de traitement et prévenir les dépôts indésirables.
  • Chambres de nettoyage par plasma:Agir de façon durableLes revêtementsqui résistent à l'érosion par les plasmas O2 ou NF3 et prolongent les cycles de maintenance.
Pourquoi choisir nos anneaux en céramique d'alumine?
  • Fabriqués pour la précision:Nous sommes spécialisés dans la production de composants avec des tolérances serrées et des finitions de surface supérieures, assurant un ajustement parfait et des performances plasmatiques optimales dans votre ensemble d'outils spécifique.
  • Conçu pour des performances:Notre concentration sur les sciences des matériaux et l'ingénierie aboutit à des pièces qui offrent une durée de vie plus longue, une réduction du nombre de particules et une meilleure répétabilité du processus.
  • Compatible avec les principales plateformes:Nos produits sont conçus pour une large gamme deÉquipements à semi-conducteurs de 200 mm et 300 mmdes principaux OEM.
Vous cherchez un partenaire fiable pour vos composants céramiques semi-conducteurs?Contactez-nous aujourd'hui pour les spécifications techniques, les prix et pour discuter de solutions personnalisées pour votre application.

Miss. Scarlett.S

Deputy Head of Foreign Trade Department

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