logo
Witamy na Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

Wysokiej czystości aluminium A998 (99,8%) Pierścienie ceramiczne do narzędzi półprzewodnikowych o średnicy 200 mm i 300 mm o wyjątkowej odporności na plazmę

Podstawowe właściwości
Miejsce pochodzenia: Chiny
Nazwa marki: KEGU
Numer modelu: Dostosowywalne
Nieruchomości handlowe
Cena: 200-500 yuan/kg
Warunki płatności: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Możliwość zaopatrzenia: 2000 szt./miesiąc
Podsumowanie produktu
Zaawansowane pierścienie ceramiczne z tlenku glinu do sprzętu półprzewodnikowego Produkujemy o wysokiej wydajnościPierścienie ceramiczne z tlenku glinuspecjalnie zaprojektowane do zastosowań krytycznych w sprzęcie do przetwarzania plazmy półprzewodnikowej. Wykonane zWysokiej czystości tlenek glinu ...

Szczegóły produktu

Podkreślić:

Pierścień ceramiczny z tlenku glinu o wysokiej czystości

,

Ceramiczny pierścień skupiający z tlenku glinu

,

Ceramiczny pierścień krawędziowy z tlenku glinu

Material: Sic
Composition:SiC: > 85%
Color: Czarny
Density: ≥3,65 g/cm3
Max. Service Temp: 1380 ℃
Flexural Strength: 250MPa
Hardness: ≥84Hra
Water Absorption: ≤0,2%
Abrasion: <0,02%
Bending Strength: ≥290MPa
Opis produktu
Zaawansowane pierścienie ceramiczne z tlenku glinu do sprzętu półprzewodnikowego
Produkujemy o wysokiej wydajnościPierścienie ceramiczne z tlenku glinuspecjalnie zaprojektowane do zastosowań krytycznych w sprzęcie do przetwarzania plazmy półprzewodnikowej. Wykonane zWysokiej czystości tlenek glinu A998 (99,8%)nasze komponenty zapewniają niezrównaną odporność na plazmę i niezawodność w wymagających komorach trawienia i CVD.
Przegląd produktu
  • Pierścienie krawędziowe kołnierza / pierścienie Dep
  • Pierścienie ostrości
  • Wkładki i wkładki komorowe
  • Inne niestandardowe elementy zestawu procesowego
Komponenty te zostały precyzyjnie zaprojektowane, aby spełnić rygorystyczne wymaganiaNarzędzia do produkcji półprzewodników o średnicy 200 mm i 300 mm, zapewniając stabilność procesu i wydajność.
Kluczowe właściwości i zalety materiału
Funkcja Korzyści dla Twojego procesu
Wyjątkowa odporność na plazmę Wydłuża żywotność:Wytrzymuje agresywne środowisko plazmy w komorach trawienia i osadzania, zmniejszając wytwarzanie cząstek i częstotliwość wymiany.
Wysoka wytrzymałość dielektryczna Doskonała izolacja elektryczna:Zapobiega upływowi prądu i wyładowaniom łukowym, zapewniając stabilność procesu i chroniąc wrażliwe elementy komory.
Wysoka odporność na korozję Chemicznie obojętny:Odporny na korozję powodowaną przez halogeny (np. CF₄, Cl₂) i inne gazy procesowe, zachowując integralność geometryczną i spójność procesu.
Wysoka czystość (A998) Minimalizuje zanieczyszczenia:Zawartość tlenku glinu na poziomie 99,8% gwarantuje brak zanieczyszczeń metalicznych, co ma kluczowe znaczenie dla produkcji płytek o wysokiej czystości i wysokich współczynników wydajności.
Doskonała wytrzymałość mechaniczna Trwałe i niezawodne:Utrzymuje integralność strukturalną pod wpływem naprężeń termicznych i mechanicznych, zapewniając długoterminową wydajność i redukując nieplanowane przestoje.
Podstawowe zastosowania w produkcji półprzewodników
Nasze pierścienie ceramiczne są niezbędnymi materiałami eksploatacyjnymi i komponentami komór plazmowych:
  • Systemy wytrawiania:Używany jakoPierścienie ostrościIWkładki komorowew narzędziach do wytrawiania dielektryka i przewodnika, aby precyzyjnie kontrolować gęstość plazmy i chronić ściany komory.
  • Systemy CVD/PVD:Służyć jakoPierścienie krawędziowe kołnierzaIWkładkiw celu zdefiniowania środowiska przetwarzania i zapobiegania niepożądanemu osadzaniu się.
  • Komory do czyszczenia plazmowego:Działaj jako trwałyWkładkiodporne na erozję powodowaną przez plazmę O₂ lub NF₃, wydłużając cykle konserwacji.
Dlaczego warto wybrać nasze pierścienie ceramiczne z tlenku glinu?
  • Wyprodukowano z myślą o precyzji:Specjalizujemy się w produkcji komponentów o wąskich tolerancjach i doskonałym wykończeniu powierzchni, zapewniającym idealne dopasowanie i optymalną wydajność plazmy w konkretnym zestawie narzędzi.
  • Zaprojektowany z myślą o wydajności:Nasze skupienie się na materiałoznawstwie i inżynierii skutkuje częściami, które zapewniają dłuższą żywotność, zmniejszoną liczbę cząstek i lepszą powtarzalność procesu.
  • Kompatybilny z głównymi platformami:Nasze produkty przeznaczone są do stosowania w szerokim zakresieSprzęt półprzewodnikowy 200 mm i 300 mmod wiodących producentów OEM.
Szukasz niezawodnego partnera w zakresie półprzewodnikowych elementów ceramicznych?Skontaktuj się z nami już dziś, aby uzyskać specyfikacje techniczne, ceny i omówić niestandardowe rozwiązania dla Twojej aplikacji.
Powiązane produkty

Wyślij zapytanie