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उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम ए 998 (99.8%) 200 मिमी और 300 मिमी के अर्धचालक उपकरण के लिए सिरेमिक रिंग

मूलभूत गुण
उत्पत्ति का स्थान: चीन
ब्रांड नाम: KEGU
मॉडल नंबर: अनुकूलन योग्य
व्यापारिक संपत्तियाँ
कीमत: 200-500 yuan/kg
भुगतान की शर्तें: एल/सी, डी/ए, डी/पी, टी/टी, वेस्टर्न यूनियन, मनीग्राम
आपूर्ति की योग्यता: 2,000 पीसी / माह
उत्पाद सारांश
अर्धचालक उपकरण के लिए उन्नत एल्युमिनियम सिरेमिक रिंग हम उच्च प्रदर्शन का निर्माणएल्युमिनियम सिरेमिक रिंगविशेष रूप से अर्धचालक प्लाज्मा प्रसंस्करण उपकरण में महत्वपूर्ण अनुप्रयोगों के लिए बनाया गया है।उच्च शुद्धता वाला एल्युमिनियम ए९९८ (९९.८%), हमारे घटकों की मांग etch और सीवीडी कक्षों में बेजोड़ प्ला...

उत्पाद का विवरण

प्रमुखता देना:

उच्च शुद्धता एल्यूमिना सिरेमिक रिंग

,

एल्यूमिना सिरेमिक फोकस रिंग

,

एल्यूमिना सिरेमिक एज रिंग

Material: सिक
Composition:SiC: >85%
Color: काला
Density: ≥3.65g/cm3
Max. Service Temp: 1380 ℃
Flexural Strength: 250MPa
Hardness: ≥84hra
Water Absorption: ≤0.2%
Abrasion: <0.02%
Bending Strength: ≥290MPa
उत्पाद का वर्णन
अर्धचालक उपकरण के लिए उन्नत एल्युमिनियम सिरेमिक रिंग
हम उच्च प्रदर्शन का निर्माणएल्युमिनियम सिरेमिक रिंगविशेष रूप से अर्धचालक प्लाज्मा प्रसंस्करण उपकरण में महत्वपूर्ण अनुप्रयोगों के लिए बनाया गया है।उच्च शुद्धता वाला एल्युमिनियम ए९९८ (९९.८%), हमारे घटकों की मांग etch और सीवीडी कक्षों में बेजोड़ प्लाज्मा प्रतिरोध और विश्वसनीयता प्रदान करते हैं।
उत्पाद का अवलोकन
  • कॉलर एज रिंग / डीप रिंग
  • फोकस रिंग
  • कक्ष सम्मिलन और लाइनर
  • अन्य अनुकूलित प्रक्रिया किट घटक
इन घटकों को सख्त आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए परिशुद्धता इंजीनियर हैं200 मिमी और 300 मिमी के अर्धचालक निर्माण उपकरण, प्रक्रिया स्थिरता और उपज सुनिश्चित करता है।
मुख्य सामग्री गुण और लाभ
विशेषता आपकी प्रक्रिया के लिए लाभ
प्लाज्मा प्रतिरोध सेवा जीवन बढ़ाता हैःईट और जमाव कक्षों में आक्रामक प्लाज्मा वातावरण का सामना करता है, कणों के उत्पादन और प्रतिस्थापन की आवृत्ति को कम करता है।
उच्च विद्युतरोधक शक्ति उच्च विद्युत इन्सुलेशनःवर्तमान रिसाव और आर्किंग को रोकता है, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करता है और संवेदनशील कक्ष घटकों की रक्षा करता है।
उच्च जंग प्रतिरोध रासायनिक रूप से निष्क्रिय:हेलोजन आधारित (जैसे, CF4, Cl2) और अन्य प्रक्रिया गैसों से संक्षारण का प्रतिरोध करता है, ज्यामितीय अखंडता और प्रक्रिया स्थिरता बनाए रखता है।
उच्च शुद्धता (A998) प्रदूषण को कम करता हैः99.8% एल्यूमीनियम सामग्री धातु दूषितता सुनिश्चित नहीं करती है, जो उच्च शुद्धता वाले वेफर निर्माण और उच्च उपज दरों के लिए महत्वपूर्ण है।
उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति टिकाऊ और विश्वसनीय:थर्मल और यांत्रिक तनाव के तहत संरचनात्मक अखंडता बनाए रखता है, दीर्घकालिक प्रदर्शन सुनिश्चित करता है और अनियोजित डाउनटाइम को कम करता है।
अर्धचालक विनिर्माण में प्राथमिक अनुप्रयोग
हमारे सिरेमिक छल्ले प्लाज्मा कक्षों के भीतर महत्वपूर्ण उपभोग्य सामग्रियों और घटकों हैंः
  • एच सिस्टम:के रूप में इस्तेमाल कियाफोकस रिंगऔरकक्ष लाइनरप्लाज्मा घनत्व को सटीक रूप से नियंत्रित करने और कक्ष की दीवारों की सुरक्षा के लिए डाईलेक्ट्रिक और कंडक्टर एच उपकरण।
  • सीवीडी/पीवीडी प्रणालीःकार्य करनाकॉलर के किनारे की अंगूठीऔरसम्मिलनप्रसंस्करण वातावरण को परिभाषित करने और अवांछित जमा को रोकने के लिए।
  • प्लाज्मा सफाई कक्षःटिकाऊलाइनरजो कि ओ2 या एनएफ3 प्लाज्मा से कटाव का विरोध करते हैं, रखरखाव चक्रों का विस्तार करते हैं।
हमारे एल्युमिनियम सिरेमिक रिंग क्यों चुनें?
  • परिशुद्धता के लिए निर्मितःहम तंग सहिष्णुता और उत्कृष्ट सतह खत्म के साथ घटकों का उत्पादन करने में विशेषज्ञ हैं, एक सही फिट और आपके विशिष्ट उपकरण सेट में इष्टतम प्लाज्मा प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।
  • प्रदर्शन के लिए डिज़ाइन किया गया:सामग्री विज्ञान और इंजीनियरिंग पर हमारा ध्यान उन भागों पर केंद्रित है जो लंबे समय तक सेवा जीवन, कम कणों की संख्या, और बेहतर प्रक्रिया दोहराव प्रदान करते हैं।
  • प्रमुख प्लेटफार्मों के साथ संगतःहमारे उत्पादों का उपयोग विभिन्न प्रकार के उपकरणों में किया जाता है।200 मिमी और 300 मिमी के अर्धचालक उपकरणअग्रणी ओईएम से।
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