Anillos cerámicos de aluminio de alta pureza A998 (99,8%) para herramientas semiconductoras de 200 mm y 300 mm con resistencia excepcional al plasma
Propiedades básicas
Lugar de origen:
China
Nombre de la marca:
KEGU
Número de modelo:
Personalizable
Propiedades comerciales
Precio:
200-500 yuan/kg
Condiciones de pago:
L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacidad de suministro:
2.000 PC/mes
Resumen del producto
Anillos cerámicos avanzados de alumina para equipos de semiconductores Fabricamos productos de alto rendimientoAnillos cerámicos de aluminioespecialmente diseñados para aplicaciones críticas en equipos de procesamiento de plasma semiconductor.Aluminio de alta pureza A998 (99,8%), nuestros componente...
Detalles del producto
Resaltar:
Anillo cerámico de alumina de alta pureza
,Anillo de enfoque cerámico de alumina
,Anillo de borde cerámico de aluminio
Material:
Sic
Composition:SiC:
>85%
Color:
Negro
Density:
≥ 3,65 g/cm3
Max. Service Temp:
1380 ℃
Flexural Strength:
250MPa
Hardness:
≥ 84HRA
Water Absorption:
≤0.2%
Abrasion:
< 0,02%
Bending Strength:
≥290MPa
Descripción de producto
Anillos cerámicos avanzados de alumina para equipos de semiconductores
Fabricamos productos de alto rendimientoAnillos cerámicos de aluminioespecialmente diseñados para aplicaciones críticas en equipos de procesamiento de plasma semiconductor.Aluminio de alta pureza A998 (99,8%), nuestros componentes proporcionan una resistencia al plasma sin igual y confiabilidad en demandantes cámaras de etch y CVD.
Resumen del producto
- Anillos de borde de cuello / Anillos de profundidad
- Anillos de enfoque
- Insertores y revestimientos de cámaras
- Otros componentes del kit de procesos personalizados
Estos componentes están diseñados con precisión para cumplir con los estrictos requisitos deHerramientas para la fabricación de semiconductores de 200 mm y 300 mm, garantizando la estabilidad y el rendimiento del proceso.
Principales propiedades y ventajas del material
| Características | Beneficio para su proceso |
|---|---|
| Resistencia al plasma excepcional | Prolonga la vida útil:Resiste ambientes de plasma agresivos en cámaras de grabado y deposición, reduciendo la generación de partículas y la frecuencia de reemplazo. |
| Alta resistencia dieléctrica | El aislamiento eléctrico superior:Previene la fuga de corriente y el arco, garantizando la estabilidad del proceso y protegiendo los componentes sensibles de la cámara. |
| Alta resistencia a la corrosión | Químicamente inerte:Resiste la corrosión de los gases de proceso a base de halógenos (por ejemplo, CF4, Cl2) y otros, manteniendo la integridad geométrica y la consistencia del proceso. |
| Alto grado de pureza (A998) | Minimiza la contaminación:99El contenido de alumina de 0,8% asegura que no haya contaminación metálica, lo cual es crítico para la fabricación de obleas de alta pureza y altas tasas de rendimiento. |
| Excelente resistencia mecánica | Durable y confiable:Mantiene la integridad estructural bajo tensión térmica y mecánica, garantizando el rendimiento a largo plazo y reduciendo el tiempo de inactividad no programado. |
Aplicaciones primarias en la fabricación de semiconductores
Nuestros anillos de cerámica son consumibles vitales y componentes dentro de cámaras de plasma:
- Sistemas de grabado:Se utiliza comoAnillos de enfoqueyEnvases para cámarasEn dieléctrico y conductor herramientas de grabado para controlar con precisión la densidad de plasma y proteger las paredes de la cámara.
- Sistemas de CVD/PVD:Servir comoAnillos en el borde del collaryLas entradaspara definir el entorno de procesamiento y evitar la deposición no deseada.
- Las cámaras de limpieza de plasma:Actuar como duraderoLas líneasque resisten la erosión del plasma de O2 o NF3, extendiendo los ciclos de mantenimiento.
¿Por qué elegir nuestros anillos de cerámica de alumina?
- Fabricados para la precisión:Nos especializamos en la producción de componentes con tolerancias ajustadas y acabados superficiales superiores, asegurando un ajuste perfecto y un rendimiento óptimo de plasma en su conjunto de herramientas específico.
- Diseñado para el rendimiento:Nuestro enfoque en la ciencia y la ingeniería de materiales da como resultado piezas que ofrecen una vida útil más larga, reducen el número de partículas y mejoran la repetibilidad del proceso.
- Compatible con las principales plataformas:Nuestros productos están diseñados para su uso en una amplia gama deEquipo de semiconductores de 200 mm y 300 mmde los principales fabricantes.
¿Busca un socio confiable para sus componentes cerámicos semiconductores?Póngase en contacto con nosotros hoy para especificaciones técnicas, precios y para discutir soluciones personalizadas para su aplicación.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- Correo electrónico: scarlett.s@kegugroup.com
- Teléfono: 8616602956098
- whatsapp: 8613390790728
-
El Wechat:
Scarlettseren533
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