logo
Добро пожаловать в Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098
Дом / продукты / Компоненты глинозема керамические / Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика
Качество Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью Фабрика

Керамические кольца из высокочистого оксида алюминия A998 (99,8%) для полупроводникового оборудования 200 мм и 300 мм с исключительной плазмостойкостью

Основные свойства
Место происхождения: Китай
Название бренда: KEGU
Номер модели: Настраиваемый
Торговая недвижимость
Цена: 200-500 yuan/kg
Условия оплаты: Аккредитив, Документы против акцепта, Документы против платежа, Банковский перевод, Western Union, M
Возможность поставки: 2 000 ПК/месяц
Тэги

Алюминий-силикатный фильтр с плавным потоком

алюминиево-силикатный фильтр без предварительного нагрева

глиноземные керамические детали
Резюме продукта
Продвинутые керамические кольца из алюминия для полупроводникового оборудования Мы производим высокопроизводительныеКерамические кольца из алюминияспециально разработанные для критических применений в полупроводниковом плазменном оборудовании.Алюминий А998 высокой чистоты (99,8%), наши компоненты об...

Детали продукта

Выделить:

Керамическое кольцо из алюминия высокой чистоты

,

Алюминиевое керамическое фокусное кольцо

,

Алюминиевое керамическое кольцо
Material: Sic
Composition:SiC: >85%
Color: Черный
Density: ≥ 3,65 г/см3
Max. Service Temp: 1380 ℃
Flexural Strength: 250МПа
Hardness: ≥ 84HRA
Water Absorption: ≤0,2%
Abrasion: < 0,02%
Bending Strength: ≥290MPa
Характер продукции
Продвинутые керамические кольца из алюминия для полупроводникового оборудования
Мы производим высокопроизводительныеКерамические кольца из алюминияспециально разработанные для критических применений в полупроводниковом плазменном оборудовании.Алюминий А998 высокой чистоты (99,8%), наши компоненты обеспечивают непревзойденную плазменную устойчивость и надежность в требовательных камерх нарезки и СВД.
Обзор продукции
  • Кольца на ошейнике / Кольца на ошейнике
  • Концентрационные кольца
  • Вставки и облицовки камер
  • Другие персонализированные компоненты комплекта процессов
Эти компоненты изготовлены с высокой точностью, чтобы соответствовать строгим требованияминструменты для изготовления полупроводников размером 200 мм и 300 мм, обеспечивая стабильность процесса и урожай.
Ключевые свойства и преимущества материала
Особенность Польза для вашего процесса
Исключительная устойчивость к плазме Удлиняет срок службы:Выдерживает агрессивные плазменные среды в камерах нагрева и осаждения, уменьшая генерацию частиц и частоту замены.
Высокая диэлектрическая прочность Высокая электрическая изоляция:Предотвращает утечку тока и дугу, обеспечивая стабильность процесса и защиту чувствительных компонентов камеры.
Высокая коррозионная устойчивость Химически инертный:Противоречит коррозии галогенов (например, CF4, Cl2) и других процессуальных газов, сохраняя геометрическую целостность и последовательность процесса.
Высокая чистота (A998) Минимизирует загрязнение:99Содержание 0,8% алюминия обеспечивает отсутствие металлического загрязнения, что имеет решающее значение для производства высокочистых пластинок и высоких показателей урожайности.
Отличная механическая прочность Прочный и надежный:Сохраняет структурную целостность при тепловых и механических нагрузках, обеспечивая долгосрочную производительность и сокращая непланированное время простоя.
Основные применения в производстве полупроводников
Наши керамические кольца являются жизненно важными расходными материалами и компонентами в плазменных камерах:
  • Системы эча:Используется какКонцентрационные кольцаиКомнатные облицовкив Диэлектрические и проводниковые резьбы инструменты для точного контроля плотности плазмы и защиты стен камер.
  • Системы CVD/PVD:СлужитьКольца на ошейникеиВставкидля определения среды обработки и предотвращения нежелательного отложения.
  • Камеры для очистки плазмы:Действуют как долговечныеЛинерыкоторые устойчивы к эрозии от плазмы O2 или NF3 и продлевают циклы технического обслуживания.
Почему выбирать наши керамические кольца из алюминия?
  • Изготовлены для точности:Мы специализируемся на изготовлении компонентов с плотно выдерживаемыми толерантностями и превосходными поверхностными отделками, обеспечивающими идеальное соответствие и оптимальную производительность плазмы в вашем конкретном наборе инструментов.
  • Разработан для производительности:Наше внимание к материаловедению и инженерии приводит к производству деталей, которые обеспечивают более длительный срок службы, уменьшают количество частиц и улучшают повторяемость процесса.
  • Совместима с основными платформами:Наши продукты предназначены для использования в широком диапазонеПолупроводниковое оборудование 200 мм и 300 ммот ведущих производителей.
Ищете надежного партнера для полупроводниковых керамических компонентов?Свяжитесь с нами сегодня для технических характеристик, цен и обсудить индивидуальные решения для вашего приложения.

Miss. Scarlett.S

Deputy Head of Foreign Trade Department

Сопутствующие товары

Отправить запрос