|
Productdetails:
|
| Materiaal: | Sic | Samenstelling: SiC: | >85% |
|---|---|---|---|
| kleur: | Zwart | Dikte: | ≥ 3,65 g/cm3 |
| Max. Servicetemp: | 1380 ℃ | Buigsterkte: | 250 MPa |
| Hardheid: | ≥ 84HRA | Wateropname: | ≤0,2% |
| Abrasie: | < 0,02% | buigsterkte: | ≥290MPa |
| Markeren: | Hoge Zuiverheid Aluminiumoxide Keramische Ring,Aluminiumoxide Keramische Focus Ring,Aluminiumoxide Keramische Rand Ring |
||
| Eigenschap | Voordeel voor Uw Proces |
|---|---|
| Uitzonderlijke Plasmabestendigheid | Verlengt de Levensduur: Bestand tegen agressieve plasma-omgevingen in ets- en depositiekamers, waardoor deeltjesgeneratie en de frequentie van vervanging worden verminderd. |
| Hoge Diëlektrische Sterkte | Superieure Elektrische Isolatie: Voorkomt stroomlekkage en vonkvorming, waardoor processtabiliteit wordt gewaarborgd en gevoelige kamercomponenten worden beschermd. |
| Hoge Corrosiebestendigheid | Chemisch Inert: Bestand tegen corrosie door halogenen (bijv. CF₄, Cl₂) en andere procesgassen, waardoor de geometrische integriteit en procesconsistentie behouden blijven. |
| Hoge Zuiverheid (A998) | Minimaliseert Verontreiniging: 99,8% alumina-gehalte zorgt voor geen metallische verontreiniging, wat cruciaal is voor de productie van wafers met hoge zuiverheid en hoge opbrengst. |
| Uitstekende Mechanische Sterkte | Duurzaam en Betrouwbaar: Behoudt structurele integriteit onder thermische en mechanische belasting, waardoor langdurige prestaties worden gegarandeerd en ongeplande uitvaltijd wordt verminderd. |
Contactpersoon: Ms. Yuki
Tel.: 8615517781293