|
Λεπτομέρειες:
|
| Υλικό: | Ούτω | Σύνθεση:SiC: | >85% |
|---|---|---|---|
| χρώμα: | Μαύρος | Πυκνότητα: | ≥3.65g/cm3 |
| Μέγ. Θερμ: | 1380 ℃ | Καμπτική Αντοχή: | 250 MPa |
| Σκληρότητα: | ≥ 84HRA | Απορρόφηση νερού: | ≤0,2% |
| Αβραίωση: | < 0,02% | αντοχή κάμψης: | ≥290MPa |
| Επισημαίνω: | Δακτύλιος κεραμικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας,Δακτύλιος εστίασης κεραμικού αλουμίνας,Δακτύλιος άκρου κεραμικού αλουμίνας |
||
| Χαρακτηριστικό | Όφελος για τη Διεργασία σας |
|---|---|
| Εξαιρετική Αντίσταση στο Πλάσμα | Επεκτείνει τη Διάρκεια Ζωής: Αντέχει σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος σε θαλάμους χάραξης και εναπόθεσης, μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων και τη συχνότητα αντικατάστασης. |
| Υψηλή Διηλεκτρική Αντοχή | Ανώτερη Ηλεκτρική Μόνωση: Αποτρέπει τη διαρροή ρεύματος και την εκκένωση τόξου, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα της διεργασίας και προστατεύοντας ευαίσθητα εξαρτήματα του θαλάμου. |
| Υψηλή Αντοχή στη Διάβρωση | Χημικά Αδρανές: Αντιστέκεται στη διάβρωση από αλογονούχα (π.χ., CF₄, Cl₂) και άλλα αέρια διεργασίας, διατηρώντας τη γεωμετρική ακεραιότητα και τη συνέπεια της διεργασίας. |
| Υψηλή Καθαρότητα (A998) | Ελαχιστοποιεί τη Μόλυνση: Το περιεχόμενο αλουμίνας 99,8% εξασφαλίζει ότι δεν υπάρχει μεταλλική μόλυνση, η οποία είναι κρίσιμη για την κατασκευή γκοφρετών υψηλής καθαρότητας και υψηλά ποσοστά απόδοσης. |
| Εξαιρετική Μηχανική Αντοχή | Ανθεκτικό και Αξιόπιστο: Διατηρεί τη δομική ακεραιότητα υπό θερμική και μηχανική καταπόνηση, εξασφαλίζοντας μακροχρόνια απόδοση και μειώνοντας τον μη προγραμματισμένο χρόνο διακοπής. |
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Ms. Yuki
Τηλ.:: 8615517781293