logo
Καλώς ήρθατε στο Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

Κερματικά δαχτυλίδια υψηλής καθαρότητας αλουμινίου Α998 (99,8%) για εργαλεία ημιαγωγών 200 mm και 300 mm με εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα

Βασικές Ιδιότητες
Τόπος καταγωγής: Κίνα
Επωνυμία: KEGU
Αριθμός μοντέλου: Προσαρμόσιμη
Εμπορικά Ακίνητα
Τιμή: 200-500 yuan/kg
Όροι πληρωμής: Λ/Κ, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Δυνατότητα Προμήθειας: 2.000 PC/μήνας
Σύνοψη του προϊόντος
Προηγμένοι Κεραμικοί Δακτύλιοι Αλουμίνας για Εξοπλισμό Ημιαγωγών Κατασκευάζουμε υψηλής απόδοσης Κεραμικούς Δακτυλίους Αλουμίνας ειδικά σχεδιασμένους για κρίσιμες εφαρμογές σε εξοπλισμό επεξεργασίας πλάσματος ημιαγωγών. Κατασκευασμένα από Αλουμίνα Υψηλής Καθαρότητας A998 (99,8%), τα εξαρτήματά μας πα...

Λεπτομέρειες προιόντος

Επισημαίνω:

Δακτύλιος κεραμικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας

,

Δακτύλιος εστίασης κεραμικού αλουμίνας

,

Δακτύλιος άκρου κεραμικού αλουμίνας

Material: Ούτω
Composition:SiC: >85%
Color: Μαύρος
Density: ≥3.65g/cm3
Max. Service Temp: 1380 ℃
Flexural Strength: 250 MPa
Hardness: ≥ 84HRA
Water Absorption: ≤0,2%
Abrasion: < 0,02%
Bending Strength: ≥290MPa
Περιγραφή προϊόντων
Προηγμένοι Κεραμικοί Δακτύλιοι Αλουμίνας για Εξοπλισμό Ημιαγωγών
Κατασκευάζουμε υψηλής απόδοσης Κεραμικούς Δακτυλίους Αλουμίνας ειδικά σχεδιασμένους για κρίσιμες εφαρμογές σε εξοπλισμό επεξεργασίας πλάσματος ημιαγωγών. Κατασκευασμένα από Αλουμίνα Υψηλής Καθαρότητας A998 (99,8%), τα εξαρτήματά μας παρέχουν απαράμιλλη αντοχή στο πλάσμα και αξιοπιστία σε απαιτητικούς θαλάμους χάραξης και CVD.
Επισκόπηση Προϊόντος
  • Δακτύλιοι Περιθωρίου Κολάρου / Δακτύλιοι Εναπόθεσης
  • Δακτύλιοι Εστίασης
  • Ενθέματα & Επενδύσεις Θαλάμου
  • Άλλα Εξατομικευμένα Εξαρτήματα Κιτ Διεργασίας
Αυτά τα εξαρτήματα είναι σχεδιασμένα με ακρίβεια για να πληρούν τις αυστηρές απαιτήσεις των εργαλείων κατασκευής ημιαγωγών 200mm και 300mm, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα και την απόδοση της διεργασίας.
Βασικές Ιδιότητες & Πλεονεκτήματα Υλικού
Χαρακτηριστικό Όφελος για τη Διεργασία σας
Εξαιρετική Αντίσταση στο Πλάσμα Επεκτείνει τη Διάρκεια Ζωής: Αντέχει σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος σε θαλάμους χάραξης και εναπόθεσης, μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων και τη συχνότητα αντικατάστασης.
Υψηλή Διηλεκτρική Αντοχή Ανώτερη Ηλεκτρική Μόνωση: Αποτρέπει τη διαρροή ρεύματος και την εκκένωση τόξου, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα της διεργασίας και προστατεύοντας ευαίσθητα εξαρτήματα του θαλάμου.
Υψηλή Αντοχή στη Διάβρωση Χημικά Αδρανές: Αντιστέκεται στη διάβρωση από αλογονούχα (π.χ., CF₄, Cl₂) και άλλα αέρια διεργασίας, διατηρώντας τη γεωμετρική ακεραιότητα και τη συνέπεια της διεργασίας.
Υψηλή Καθαρότητα (A998) Ελαχιστοποιεί τη Μόλυνση: Το περιεχόμενο αλουμίνας 99,8% εξασφαλίζει ότι δεν υπάρχει μεταλλική μόλυνση, η οποία είναι κρίσιμη για την κατασκευή γκοφρετών υψηλής καθαρότητας και υψηλά ποσοστά απόδοσης.
Εξαιρετική Μηχανική Αντοχή Ανθεκτικό και Αξιόπιστο: Διατηρεί τη δομική ακεραιότητα υπό θερμική και μηχανική καταπόνηση, εξασφαλίζοντας μακροχρόνια απόδοση και μειώνοντας τον μη προγραμματισμένο χρόνο διακοπής.
Κύριες Εφαρμογές στην Κατασκευή Ημιαγωγών
Οι κεραμικοί μας δακτύλιοι είναι ζωτικής σημασίας αναλώσιμα και εξαρτήματα εντός θαλάμων πλάσματος:
  • Συστήματα Χάραξης: Χρησιμοποιούνται ως Δακτύλιοι Εστίασης και Επενδύσεις Θαλάμου σε εργαλεία Διηλεκτρικής και Αγωγού Χάραξης για τον ακριβή έλεγχο της πυκνότητας του πλάσματος και την προστασία των τοιχωμάτων του θαλάμου.
  • Συστήματα CVD/PVD: Λειτουργούν ως Δακτύλιοι Περιθωρίου Κολάρου και Ενθέματα για τον καθορισμό του περιβάλλοντος επεξεργασίας και την αποτροπή ανεπιθύμητης εναπόθεσης.
  • Θάλαμοι Καθαρισμού Πλάσματος: Λειτουργούν ως ανθεκτικές Επενδύσεις που αντιστέκονται στη διάβρωση από πλάσματα O₂ ή NF₃, επεκτείνοντας τους κύκλους συντήρησης.
Γιατί να επιλέξετε τους Κεραμικούς Δακτυλίους Αλουμίνας μας;
  • Κατασκευασμένοι για Ακρίβεια: Ειδικευόμαστε στην παραγωγή εξαρτημάτων με στενές ανοχές και ανώτερα φινιρίσματα επιφανειών, εξασφαλίζοντας τέλεια εφαρμογή και βέλτιστη απόδοση πλάσματος στο συγκεκριμένο σύνολο εργαλείων σας.
  • Σχεδιασμένοι για Απόδοση: Η εστίασή μας στην επιστήμη των υλικών και τη μηχανική έχει ως αποτέλεσμα εξαρτήματα που προσφέρουν μεγαλύτερη διάρκεια ζωής, μειωμένους αριθμούς σωματιδίων και βελτιωμένη επαναληψιμότητα της διεργασίας.
  • Συμβατό με τις Κύριες Πλατφόρμες: Τα προϊόντα μας είναι σχεδιασμένα για χρήση σε ένα ευρύ φάσμα εξοπλισμού ημιαγωγών 200mm και 300mm από κορυφαίους OEM.
Ψάχνετε έναν αξιόπιστο συνεργάτη για τα κεραμικά εξαρτήματα ημιαγωγών σας; Επικοινωνήστε μαζί μας σήμερα για τεχνικές προδιαγραφές, τιμές και για να συζητήσουμε προσαρμοσμένες λύσεις για την εφαρμογή σας.
Σχετικά Προϊόντα

Στείλε Ερευνά