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Hochreine Aluminiumoxid-A998 (99,8 %) Keramikringe für 200-mm- und 300-mm-Halbleiterwerkzeuge mit außergewöhnlicher Plasmabeständigkeit

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Bescheinigung
China Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd zertifizierungen
China Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd zertifizierungen
Kunden-Berichte
NGK schätzt unsere langjährige Partnerschaft mit Shaanxi Kegu. Ihre SSiC-Keramiken zeichnen sich durch Qualität und Innovation aus und treiben unseren gemeinsamen Erfolg voran. Auf weiterhin gute Zusammenarbeit!

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Bei Huike sind wir stolz auf unsere langjährige Partnerschaft mit der Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., eine Zusammenarbeit, die auf Vertrauen, Innovation und gemeinsamer Exzellenz basiert.Ihre Expertise in SSiC-Keramik und zuverlässige Lösungen haben unsere Projekte konsequent unterstützt.

—— Suzhou Huike Technology Co.,Ltd.

Wir bei Keda schätzen unsere langjährige Partnerschaft mit Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. sehr. Ihre hochwertigen SSiC-Keramik-Lösungen sind ein wesentlicher Bestandteil unserer Projekte und wir freuen uns auf die weitere Zusammenarbeit und den gemeinsamen Erfolg.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

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Hochreine Aluminiumoxid-A998 (99,8 %) Keramikringe für 200-mm- und 300-mm-Halbleiterwerkzeuge mit außergewöhnlicher Plasmabeständigkeit

High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance

Großes Bild :  Hochreine Aluminiumoxid-A998 (99,8 %) Keramikringe für 200-mm- und 300-mm-Halbleiterwerkzeuge mit außergewöhnlicher Plasmabeständigkeit

Produktdetails:
Herkunftsort: China
Markenname: KEGU
Modellnummer: Anpassbar
Zahlung und Versand AGB:
Preis: 200-500 yuan/kg
Verpackung Informationen: Starke Holzkisten für den weltweiten Versand
Zahlungsbedingungen: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 2.000 PC/Monat
Kontakt

Hochreine Aluminiumoxid-A998 (99,8 %) Keramikringe für 200-mm- und 300-mm-Halbleiterwerkzeuge mit außergewöhnlicher Plasmabeständigkeit

Beschreibung
Material: Sic Zusammensetzung:SiC: >85 %
Farbe: Schwarz Dichte: ≥ 3,65 g/cm3
Max. Service-Temp: 1380 ℃ Biegefestigkeit: 250 MPa
Härte: ≥84HRA Wasseraufnahme: ≤ 0,2%
Abrasionen: < 0,02% Biegefestigkeit: ≥290MPa
Hervorheben:

Hochreiner Aluminiumoxid-Keramikring

,

Aluminiumoxid-Keramik-Fokusring

,

Aluminiumoxid-Keramik-Kantenring

Fortschrittliche Aluminiumoxid-Keramikringe für Halbleitergeräte
Wir fertigen leistungsstarkRinge aus Aluminiumoxidkeramikspeziell für kritische Anwendungen in Halbleiter-Plasmaverarbeitungsgeräten entwickelt. Hergestellt ausHochreines Aluminiumoxid A998 (99,8 %)Unsere Komponenten bieten unübertroffene Plasmabeständigkeit und Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Ätz- und CVD-Kammern.
Produktübersicht
  • Kragenrandringe / Dep-Ringe
  • Fokusringe
  • Kammereinsätze und Liner
  • Andere kundenspezifische Prozesskit-Komponenten
Diese Komponenten sind präzisionsgefertigt, um die strengen Anforderungen von zu erfüllen200-mm- und 300-mm-Halbleiterfertigungswerkzeuge, wodurch Prozessstabilität und Ausbeute gewährleistet werden.
Wichtige Materialeigenschaften und Vorteile
Besonderheit Nutzen Sie Ihren Prozess
Außergewöhnliche Plasmabeständigkeit Verlängert die Lebensdauer:Widersteht aggressiven Plasmaumgebungen in Ätz- und Abscheidungskammern und reduziert so die Partikelerzeugung und die Häufigkeit des Austauschs.
Hohe Spannungsfestigkeit Hervorragende elektrische Isolierung:Verhindert Leckströme und Lichtbögen, sorgt für Prozessstabilität und schützt empfindliche Kammerkomponenten.
Hohe Korrosionsbeständigkeit Chemisch inert:Beständig gegen Korrosion durch halogenbasierte (z. B. CF₄, Cl₂) und andere Prozessgase und sorgt für geometrische Integrität und Prozesskonsistenz.
Hohe Reinheit (A998) Minimiert die Kontamination:Der Aluminiumoxidgehalt von 99,8 % stellt sicher, dass keine metallischen Verunreinigungen vorhanden sind, was für die Herstellung hochreiner Wafer und hohe Ausbeuten von entscheidender Bedeutung ist.
Ausgezeichnete mechanische Festigkeit Langlebig und zuverlässig:Behält die strukturelle Integrität unter thermischer und mechanischer Belastung bei, sorgt für langfristige Leistung und reduziert ungeplante Ausfallzeiten.
Hauptanwendungen in der Halbleiterfertigung
Unsere Keramikringe sind wichtige Verbrauchsmaterialien und Komponenten in Plasmakammern:
  • Ätzsysteme:Verwendet alsFokusringeUndKammereinlagenin Werkzeugen zum Ätzen von Dielektrika und Leitern, um die Plasmadichte präzise zu steuern und Kammerwände zu schützen.
  • CVD/PVD-Systeme:Servieren alsKragenrandringeUndEinlagenum die Verarbeitungsumgebung zu definieren und unerwünschte Ablagerungen zu verhindern.
  • Plasma-Reinigungskammern:Als langlebig fungierenLinerdie der Erosion durch O₂- oder NF₃-Plasmen widerstehen und so die Wartungszyklen verlängern.
Warum sollten Sie sich für unsere Aluminiumoxid-Keramikringe entscheiden?
  • Hergestellt für Präzision:Wir sind auf die Herstellung von Komponenten mit engen Toleranzen und hervorragenden Oberflächengüten spezialisiert und gewährleisten so eine perfekte Passform und optimale Plasmaleistung in Ihrem spezifischen Werkzeugsatz.
  • Auf Leistung ausgelegt:Unser Fokus auf Materialwissenschaft und Technik führt zu Teilen, die eine längere Lebensdauer, eine geringere Partikelanzahl und eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit bieten.
  • Kompatibel mit den wichtigsten Plattformen:Unsere Produkte sind für den Einsatz in einer Vielzahl von Bereichen konzipiert200-mm- und 300-mm-Halbleiterausrüstungvon führenden OEMs.
Sie suchen einen zuverlässigen Partner für Ihre Halbleiter-Keramik-Komponenten?Kontaktieren Sie uns noch heute, um technische Spezifikationen und Preise zu erfahren und maßgeschneiderte Lösungen für Ihre Anwendung zu besprechen.

Größe und Tag:

Aluminiumoxid-Katalysatorträger,

keramische Substrate der Tonerde,

Tonerde keramisch

Kontaktdaten
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Ansprechpartner: Ms. Yuki

Telefon: 8615517781293

Senden Sie Ihre Anfrage direkt an uns (0 / 3000)

über

Keramik aus Siliziumcarbid

Hochtemperaturbeständige SiC-Gabeln mit maximaler Betriebstemperatur von 1650 °C und biegsamer Festigkeit von 3800 MPa für die Halbleiterherstellung

Anpassungsfähige Drucklose Sinter SiC-Rolle 1650°C Hitzebeständig für Rollenheizöfen

Reaktionsgebundenes Siliziumkarbid

Reaktionssintertierte Silikonkarbidluftkühlröhren für die industrielle Hochtemperaturkühlung mit maximaler Betriebstemperatur von 1380 °C und biegender Festigkeit von 250 MPa

Hochtemperaturstabiler SiC-Brenner mit Wärmeschlag- und Korrosionsbeständigkeit für industrielle Öfen

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