วงแหวนเซรามิกอะลูมินาบริสุทธิ์สูง A998 (99.8%) สำหรับเครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม. พร้อมความทนทานต่อพลาสมาเป็นพิเศษ
คุณสมบัติพื้นฐาน
สถานที่กำเนิด:
จีน
ชื่อแบรนด์:
KEGU
หมายเลขรุ่น:
ปรับแต่งได้
การซื้อขายอสังหาริมทรัพย์
ราคา:
200-500 yuan/kg
เงื่อนไขการชำระเงิน:
L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
ความสามารถในการจัดหา:
2,000 ชิ้น/เดือน
สรุปผลิตภัณฑ์
วงแหวนเซรามิกอะลูมินาขั้นสูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เราผลิต วงแหวนเซรามิกอะลูมินา ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานที่สำคัญในอุปกรณ์ประมวลผลพลาสมาเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตจาก อะลูมินาบริสุทธิ์สูง A998 (99.8%) ส่วนประกอบของเราให้ความทนทานต่อพลาสมาและความน่าเชื่อถือที่เหนือกว่าในห้องกัด...
รายละเอียดสินค้า
เน้น:
แหวนเซรามิกอัลลูมิเนียความบริสุทธิ์สูง
,แหวนฟอกัสเซรามิกอัลลูมิเนีย
,อัลลูมิเนีย เซรามิค เริ่มวงแหวน
Material:
sic
Composition:SiC:
>85%
Color:
สีดำ
Density:
≥3.65g/cm3
Max. Service Temp:
1380 ℃
Flexural Strength:
250MPa
Hardness:
≥84HRA
Water Absorption:
≤0.2%
Abrasion:
<0.02%
Bending Strength:
≥290MPa
คําอธิบายสินค้า
วงแหวนเซรามิกอะลูมินาขั้นสูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
เราผลิต วงแหวนเซรามิกอะลูมินา ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานที่สำคัญในอุปกรณ์ประมวลผลพลาสมาเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตจาก อะลูมินาบริสุทธิ์สูง A998 (99.8%) ส่วนประกอบของเราให้ความทนทานต่อพลาสมาและความน่าเชื่อถือที่เหนือกว่าในห้องกัดและ CVD ที่ต้องการ
ภาพรวมผลิตภัณฑ์
- วงแหวนขอบปลอก/วงแหวน Dep
- วงแหวนโฟกัส
- เม็ดมีดและซับในห้อง
- ส่วนประกอบชุดกระบวนการอื่นๆ ที่ปรับแต่งได้
ส่วนประกอบเหล่านี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของ เครื่องมือผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม. เพื่อให้มั่นใจถึงเสถียรภาพและผลผลิตของกระบวนการ
คุณสมบัติและข้อดีของวัสดุหลัก
| คุณสมบัติ | ประโยชน์สำหรับกระบวนการของคุณ |
|---|---|
| ความทนทานต่อพลาสมาเป็นพิเศษ | ยืดอายุการใช้งาน: ทนทานต่อสภาพแวดล้อมพลาสมาที่รุนแรงในห้องกัดและห้องสะสม ลดการสร้างอนุภาคและความถี่ในการเปลี่ยน |
| ความแข็งแรงไดอิเล็กทริกสูง | ฉนวนไฟฟ้าที่เหนือกว่า: ป้องกันการรั่วไหลของกระแสไฟฟ้าและการเกิดอาร์ค ทำให้มั่นใจได้ถึงเสถียรภาพของกระบวนการและปกป้องส่วนประกอบของห้องที่ละเอียดอ่อน |
| ความต้านทานการกัดกร่อนสูง | เฉื่อยทางเคมี: ทนทานต่อการกัดกร่อนจากฮาโลเจน (เช่น CF₄, Cl₂) และก๊าซกระบวนการอื่นๆ รักษาความสมบูรณ์ทางเรขาคณิตและความสม่ำเสมอของกระบวนการ |
| ความบริสุทธิ์สูง (A998) | ลดการปนเปื้อน: ปริมาณอะลูมินา 99.8% ช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะไม่มีการปนเปื้อนของโลหะ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการผลิตเวเฟอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและอัตราผลตอบแทนสูง |
| ความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยม | ทนทานและเชื่อถือได้: รักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้ความเครียดจากความร้อนและกลไก ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพในระยะยาวและลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดหมาย |
การใช้งานหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
วงแหวนเซรามิกของเราเป็นวัสดุสิ้นเปลืองและส่วนประกอบที่สำคัญภายในห้องพลาสมา:
- ระบบกัด: ใช้เป็น วงแหวนโฟกัส และ ซับในห้อง ในเครื่องมือ Dielectric และ Conductor Etch เพื่อควบคุมความหนาแน่นของพลาสมาอย่างแม่นยำและปกป้องผนังห้อง
- ระบบ CVD/PVD: ทำหน้าที่เป็น วงแหวนขอบปลอก และ เม็ดมีด เพื่อกำหนดสภาพแวดล้อมการประมวลผลและป้องกันการสะสมที่ไม่ต้องการ
- ห้องทำความสะอาดพลาสมา: ทำหน้าที่เป็น ซับใน ที่ทนทานต่อการกัดกร่อนจากพลาสมา O₂ หรือ NF₃ ซึ่งช่วยยืดวงจรการบำรุงรักษา
ทำไมต้องเลือกวงแหวนเซรามิกอะลูมินาของเรา?
- ผลิตด้วยความแม่นยำ: เราเชี่ยวชาญในการผลิตส่วนประกอบที่มีความคลาดเคลื่อนที่แคบและการตกแต่งพื้นผิวที่เหนือกว่า ทำให้มั่นใจได้ถึงความพอดีที่สมบูรณ์แบบและประสิทธิภาพของพลาสมาที่ดีที่สุดในชุดเครื่องมือเฉพาะของคุณ
- ออกแบบมาเพื่อประสิทธิภาพ: การมุ่งเน้นของเราในด้านวิทยาศาสตร์วัสดุและวิศวกรรมส่งผลให้ชิ้นส่วนมีอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น ลดจำนวนอนุภาค และปรับปรุงความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ
- เข้ากันได้กับแพลตฟอร์มหลัก: ผลิตภัณฑ์ของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้ใน อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม. ที่หลากหลายจากผู้ผลิต OEM ชั้นนำ
กำลังมองหาพันธมิตรที่เชื่อถือได้สำหรับส่วนประกอบเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ของคุณหรือไม่? ติดต่อเราวันนี้เพื่อดูข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค ราคา และเพื่อหารือเกี่ยวกับโซลูชันที่กำหนดเองสำหรับการใช้งานของคุณ
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- อีเมล: scarlett.s@kegugroup.com
- โทรศัพท์: 8616602956098
- Whatsapp: 8613390790728
-
Wechat:
Scarlettseren533
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
-
แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีอุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1650 °C ความแข็งแรงในการบิด 380MPa และความทนทานต่อการกัดกร่อน
แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ผลงานที่พัฒนาขึ้นสําหรับการใช้งานที่ต้องการ ภาพรวมสินค้า แหวนปิดซิลิคอนคาร์ไบด์แบบไม่กระตุ้นแรงกดของเรา เป็นจุดสูงสุดของเทคโนโลยีปิดซิลิคอนการใช้กระบวนการผลิตที่ก้าวหน้ารวมถึงการกดแหวนแหวนขนาดเล็กและการกดไอโซสแตติกสําหรับส่วนประกอบขนาดใหญ่, เราให้บริการแก้ไขการปิดที่ถูกต... -
เครื่องเผาท่อซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกที่กําหนดเองที่มีอุณหภูมิการใช้งานสูงสุด 1650 °C ลดน้ํามัน 20% และมีความทนต่อการกระแทกทางอุณหภูมิ
ท่อเผาไหม้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองและท่อแผ่รังสีแบบมีครีบ ZG Industrial จัดหาท่อเผาไหม้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองและท่อแผ่รังสีแบบมีครีบประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาสำหรับสภาวะที่รุนแรง ท่อคอมโพสิต Si/SiC ของเราให้การถ่ายเทความร้อนที่เหนือกว่า ความทนทานเป็นพิเศษ และการประหยัดพลังงานอย่างมา... -
ช่องฉีดทรายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความทนทานต่อการใช้งานที่ดีกว่า, อายุการใช้งานยาวนานและวิศวกรรมแม่นยําสําหรับการใช้งานอุตสาหกรรม
เครื่องฉีดทรายจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ความทนทานต่อการสวมใส่ที่ดีกว่าสําหรับการใช้งานในการบําบัดพื้นผิวอุตสาหกรรม เครื่องฉีดทรายซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรา ถูกออกแบบมาเพื่อความทนทานและความแม่นยําสูงสุด ในการใช้งานในการบํารุงผิวที่ต้องการผลิตโดยใช้เทคโนโลยีบดแบบไอโซสแตติกที่ทันสมัยและบดความดันโดยไม่ใช้น้ํา... -
เกราะป้องกันร่างกายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ได้รับการรับรองจาก NIJ พร้อมความสามารถในการรับแรงกระแทกหลายครั้งและการป้องกันน้ำหนักเบาเพื่อการป้องกันขีปนาวุธ
เกราะเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์: การป้องกันขีปนาวุธที่เหนือกว่า เกราะเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ขั้นสูงของเราเป็นสุดยอดของเทคโนโลยีวัสดุขีปนาวุธ ผสมผสานความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ (9.5 Mohs) เข้ากับน้ำหนักที่ลดลงอย่างมาก เพื่อมอบการป้องกันที่ไม่เหมือนใครสำหรับบุคลากรและยานพาหนะจากภัยคุกคามความเร็วสูงและเจา...
