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Anelli ceramici in allumina ad alta purezza A998 (99,8%) per strumenti a semiconduttore da 200 mm e 300 mm con eccezionale resistenza al plasma

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Certificazione
Cina Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Certificazioni
Cina Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Certificazioni
Rassegne del cliente
NGK apprezza la nostra partnership di lunga data con Shaanxi Kegu. Le loro ceramiche SSiC eccellono per qualità e innovazione, guidando il nostro reciproco successo.

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

In Huike, siamo orgogliosi della nostra lunga collaborazione con Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., una collaborazione basata sulla fiducia, l'innovazione e l'eccellenza condivisa. La loro competenza nelle ceramiche SSiC e le soluzioni affidabili hanno costantemente supportato i nostri progetti.

—— SuzhouHuike Technology Co.,Ltd

Noi di Keda apprezziamo molto la nostra partnership di lunga data con la Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Le loro soluzioni ceramiche SSiC di alta qualità sono state parte integrante dei nostri progetti e ci auguriamo una continua collaborazione e un successo condiviso..

—— Keda Industrial Group Co., Ltd.

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Anelli ceramici in allumina ad alta purezza A998 (99,8%) per strumenti a semiconduttore da 200 mm e 300 mm con eccezionale resistenza al plasma

High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance

Grande immagine :  Anelli ceramici in allumina ad alta purezza A998 (99,8%) per strumenti a semiconduttore da 200 mm e 300 mm con eccezionale resistenza al plasma

Dettagli:
Luogo di origine: Cina
Marca: KEGU
Numero di modello: Personalizzabile
Termini di pagamento e spedizione:
Prezzo: 200-500 yuan/kg
Imballaggi particolari: Casella di legno resistente per il trasporto globale
Termini di pagamento: L/C,D/A,D/P,T/T,Western Union,MoneyGram
Capacità di alimentazione: 2.000 pc/mese
Contatto

Anelli ceramici in allumina ad alta purezza A998 (99,8%) per strumenti a semiconduttore da 200 mm e 300 mm con eccezionale resistenza al plasma

descrizione
Materiale: Sic Composizione:SiC: >85%
colore: Nero Densità: ≥3.65g/cm3
Massimo. Temp. di servizio: 1380 ℃ Resistenza alla flessione: 250MPa
Durezza: ≥84HRA Assorbimento d'acqua: ≤0,2%
Abrasione: < 0,02% forza di flessione: ≥290MPa
Evidenziare:

Anello in ceramica di allumina di alta purezza

,

Anello focale in ceramica di alluminio

,

Anello di bordo in ceramica di alluminio

Anelli ceramici avanzati in allumina per apparecchiature a semiconduttore
Produciamo prodotti ad alte prestazioni.Anelli in ceramica di alluminacon una lunghezza massima di 20 mm o più ma non superiore a 30 mm,Alumina di alta purezza A998 (99,8%), i nostri componenti forniscono una resistenza al plasma e affidabilità senza pari nelle camere di incisione e CVD.
Visualizzazione del prodotto
  • Anelli di bordo del colletto / anelli di profondità
  • Anelli di messa a fuoco
  • Inserti e rivestimenti della camera
  • Altri componenti del kit di processo personalizzati
Questi componenti sono progettati con precisione per soddisfare i severi requisitiStrumenti per la fabbricazione di semiconduttori di 200 mm e 300 mm, garantendo la stabilità del processo e il rendimento.
Proprietà e vantaggi principali del materiale
Caratteristica Benefici per il vostro processo
Resistenza al plasma eccezionale Prolunga la vita utile:Resiste a ambienti plasmatici aggressivi nelle camere di incisione e di deposizione, riducendo la generazione di particelle e la frequenza di sostituzione.
Alta resistenza dielettrica Isolamento elettrico superiore:Previene le perdite di corrente e l'arco, garantendo la stabilità del processo e proteggendo i componenti sensibili della camera.
Alta resistenza alla corrosione Inerte chimicamente:Resistente alla corrosione da parte di gas a base di alogeni (ad esempio, CF4, Cl2) e altri gas di processo, mantenendo l'integrità geometrica e la consistenza del processo.
Alta purezza (A998) Minimizza la contaminazione:99Il contenuto di allumina pari allo 0,8% garantisce l'assenza di contaminazione metallica, che è fondamentale per la produzione di wafer ad alta purezza e per un alto rendimento.
Eccellente resistenza meccanica Durabile e affidabile:Mantiene l'integrità strutturale sotto stress termico e meccanico, garantendo prestazioni a lungo termine e riducendo i tempi di inattività non pianificati.
Applicazioni primarie nella produzione di semiconduttori
I nostri anelli di ceramica sono consumabili vitali e componenti nelle camere al plasma:
  • Sistemi Etch:Utilizzato comeAnelli di messa a fuoco- eInfissi di camerein Dielettrico e Conductor Etch strumenti per controllare con precisione la densità del plasma e proteggere le pareti della camera.
  • Sistemi CVD/PVD:Servire comeAnelli sul bordo del colletto- eInsertidefinire l'ambiente di lavorazione e prevenire depositi indesiderati.
  • Camere di pulizia del plasma:Agire come durevoleAltre naviche resistono all'erosione da plasma O2 o NF3, prolungando i cicli di manutenzione.
Perché scegliere i nostri anelli in ceramica di allumina?
  • Prodotto per la precisione:Siamo specializzati nella produzione di componenti con tolleranze strette e finiture superficiali superiori, garantendo un perfetto adattamento e prestazioni plasmatiche ottimali nel tuo set di strumenti specifico.
  • Progettato per prestazioni:La nostra attenzione alla scienza dei materiali e all'ingegneria si traduce in parti che offrono una durata di vita più lunga, un numero ridotto di particelle e una migliore ripetibilità dei processi.
  • Compatibile con le principali piattaforme:I nostri prodotti sono progettati per l'uso in una vasta gamma diattrezzature per semiconduttori da 200 mm e 300 mmdai principali OEM.
Cerchi un partner affidabile per i tuoi componenti ceramici semiconduttori?Contattaci oggi per le specifiche tecniche, i prezzi e per discutere soluzioni personalizzate per la tua applicazione.

Prodotto Tag:

Portatore del catalizzatore di alluminio,

substrati ceramici dell'allumina,

Allumina ceramica

Dettagli di contatto
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Persona di contatto: Ms. Yuki

Telefono: 8615517781293

Invia la tua richiesta direttamente a noi (0 / 3000)

circa

ceramiche a carburo di silicio

Forchette SiC resistenti alle alte temperature con temperatura di servizio massima di 1650°C e resistenza flessibile di 3800MPa per la produzione di semiconduttori

Rulli SiC sinterizzati senza pressione 1650°C

Carburo di silicio legato per reazione

Tubi di raffreddamento ad aria a carburo di silicio sinterizzati per raffreddamento industriale ad alta temperatura con temperatura di servizio massima di 1380°C e resistenza flessibile di 250 MPa

Bruciatore SiC stabile ad alta temperatura con resistenza allo shock termico e alla corrosione per forni industriali

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