logo
درخواست نقل قول |
خانه محصولاتسرامیک اکسید آلومینیوم

حلقه های سرامیکی آلومینیوم A998 (99.8٪) با طهارت بالا برای ابزارهای نیمه هادی 200mm و 300mm با مقاومت استثنایی به پلازما

همه محصولات

سرامیک کربید سیلیکون

(30)

کربید سیلیکون با واکنش

(12)

عناصر گرمایشی

(46)

سرامیک نیترید سیلیکون

(11)

سرامیک اکسید آلومینیوم

(34)

سرامیک از اکسید زیرکونیا

(2)

سرامیک نیترید بور

(4)

پودر سرامیک

(5)
گواهی
چین Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd گواهینامه ها
چین Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd گواهینامه ها
نظرات مشتریان
NGK برای شراکت دیرینه خود با Shaanxi Kegu ارزش قائل است. سرامیک‌های SSiC آن‌ها در کیفیت و نوآوری عالی هستند و موفقیت متقابل ما را رقم می‌زنند. به همکاری مستمر!

—— شرکت فناوری حرارتی NGK

در هویک، ما به شراکت دیرینه خود با شرکت فناوری مواد جدید شاآنشی کگو، با همکاری ریشه در اعتماد، نوآوری و برتری مشترک، افتخار می کنیم. تخصص آنها در سرامیک SSiC و راه حل های قابل اعتماد به طور مداوم از پروژه های ما پشتیبانی کرده است.

—— شرکت فناوری سوزو هویک

ما در "کدا" به شدت از همکاری های طولانی مدتمان با شرکت فناوری مواد جدید شانسی کگو (Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd) قدردانی می کنیم.راه حل های سرامیکی SSiC با کیفیت بالا آنها بخش مهمی از پروژه های ما بوده و ما به دنبال ادامه همکاری و موفقیت مشترک هستیم.

—— گروه صنعتی Keda Co.,Ltd.

چت IM آنلاین در حال حاضر

حلقه های سرامیکی آلومینیوم A998 (99.8٪) با طهارت بالا برای ابزارهای نیمه هادی 200mm و 300mm با مقاومت استثنایی به پلازما

High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance
High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance High-Purity Alumina A998 (99.8%) Ceramic Rings for 200mm and 300mm Semiconductor Tools with Exceptional Plasma Resistance

تصویر بزرگ :  حلقه های سرامیکی آلومینیوم A998 (99.8٪) با طهارت بالا برای ابزارهای نیمه هادی 200mm و 300mm با مقاومت استثنایی به پلازما

جزئیات محصول:
محل منبع: چین
نام تجاری: KEGU
شماره مدل: قابل تنظیم
پرداخت:
قیمت: 200-500 yuan/kg
جزئیات بسته بندی: جعبه چوبی قوی برای حمل و نقل جهانی
شرایط پرداخت: L/C،D/A،D/P،T/T،Western Union،MoneyGram
قابلیت ارائه: 2000 عدد در ماه
مخاطب

حلقه های سرامیکی آلومینیوم A998 (99.8٪) با طهارت بالا برای ابزارهای نیمه هادی 200mm و 300mm با مقاومت استثنایی به پلازما

شرح
مواد: باکره ترکیب: SiC: ＞85%
رنگ: مشکی تراکم: .65 گرم/cm3
حداکثر دمای سرویس: 1380 قدرت خمشی: 250 مگا پاسکال
سختی: 84HRA جذب آب: 0.2 ٪
سایش: <0.02 ٪ قدرت خمشی: ≥290MPa
برجسته کردن:

حلقه ی سرامیکی آلومینا با خلوص بالا,حلقه ی فوکوس سرامیکی آلومینا,حلقه ی لبه ی سرامیکی آلومینا

,

Alumina Ceramic Focus Ring

,

Alumina Ceramic Edge Ring

حلقه‌های سرامیکی آلومینا پیشرفته برای تجهیزات نیمه‌هادی
ما با عملکرد بالا تولید می‌کنیم حلقه‌های سرامیکی آلومینا که به‌طور خاص برای کاربردهای حیاتی در تجهیزات پردازش پلاسما نیمه‌هادی طراحی شده‌اند. ساخته شده از آلومینای با خلوص بالا A998 (99.8%)، اجزای ما مقاومت و قابلیت اطمینان بی‌نظیری در برابر پلاسما در محفظه‌های اچ و CVD سخت ارائه می‌دهند.
بررسی اجمالی محصول
  • حلقه‌های لبه یقه / حلقه‌های رسوب
  • حلقه‌های فوکوس
  • درج‌ها و آسترهای محفظه
  • سایر اجزای کیت فرآیند سفارشی
این اجزا با دقت مهندسی شده‌اند تا الزامات سختگیرانه را برآورده کنند ابزارهای ساخت نیمه‌هادی 200 میلی‌متری و 300 میلی‌متری، تضمین پایداری فرآیند و بازده.
ویژگی‌های کلیدی مواد و مزایا
ویژگی مزیت برای فرآیند شما
مقاومت استثنایی در برابر پلاسما طول عمر را افزایش می‌دهد: در برابر محیط‌های پلاسما تهاجمی در محفظه‌های اچ و رسوب مقاومت می‌کند، تولید ذرات و دفعات تعویض را کاهش می‌دهد.
استحکام دی‌الکتریک بالا عایق الکتریکی برتر: از نشت جریان و قوس‌زدگی جلوگیری می‌کند، پایداری فرآیند را تضمین می‌کند و از اجزای حساس محفظه محافظت می‌کند.
مقاومت در برابر خوردگی بالا از نظر شیمیایی بی‌اثر: در برابر خوردگی ناشی از هالوژن‌ها (به عنوان مثال، CF₄، Cl₂) و سایر گازهای فرآیند مقاومت می‌کند، یکپارچگی هندسی و ثبات فرآیند را حفظ می‌کند.
خلوص بالا (A998) آلودگی را به حداقل می‌رساند: محتوای 99.8٪ آلومینا از عدم آلودگی فلزی اطمینان می‌دهد، که برای تولید ویفرهای با خلوص بالا و نرخ بازده بالا حیاتی است.
استحکام مکانیکی عالی بادوام و قابل اعتماد: یکپارچگی ساختاری را تحت تنش حرارتی و مکانیکی حفظ می‌کند، عملکرد طولانی‌مدت را تضمین می‌کند و زمان خرابی برنامه‌ریزی‌نشده را کاهش می‌دهد.
کاربردهای اصلی در تولید نیمه‌هادی
حلقه‌های سرامیکی ما مواد مصرفی و اجزای حیاتی در داخل محفظه‌های پلاسما هستند:
  • سیستم‌های اچ: به عنوان حلقه‌های فوکوس و آسترهای محفظه در ابزارهای اچ دی‌الکتریک و هادی برای کنترل دقیق چگالی پلاسما و محافظت از دیواره‌های محفظه استفاده می‌شود.
  • سیستم‌های CVD/PVD: به عنوان حلقه‌های لبه یقه و درج‌ها برای تعریف محیط پردازش و جلوگیری از رسوب ناخواسته عمل می‌کنند.
  • محفظه‌های تمیز کردن پلاسما: به عنوان آسترهای بادوام عمل می‌کنند که در برابر فرسایش ناشی از پلاسماهای O₂ یا NF₃ مقاومت می‌کنند و چرخه‌های نگهداری را افزایش می‌دهند.
چرا حلقه‌های سرامیکی آلومینای ما را انتخاب کنید؟
  • ساخته شده برای دقت: ما در تولید اجزایی با تلرانس‌های دقیق و پرداخت سطح برتر تخصص داریم و از تناسب کامل و عملکرد بهینه پلاسما در مجموعه ابزار خاص شما اطمینان حاصل می‌کنیم.
  • طراحی شده برای عملکرد: تمرکز ما بر علم مواد و مهندسی منجر به قطعاتی می‌شود که عمر سرویس طولانی‌تر، تعداد ذرات کاهش‌یافته و تکرارپذیری فرآیند بهبود یافته را ارائه می‌دهند.
  • سازگار با پلتفرم‌های اصلی: محصولات ما برای استفاده در طیف گسترده‌ای از تجهیزات نیمه‌هادی 200 میلی‌متری و 300 میلی‌متری از تولیدکنندگان تجهیزات اصلی پیشرو طراحی شده‌اند.
آیا به دنبال یک شریک قابل اعتماد برای اجزای سرامیکی نیمه‌هادی خود هستید؟ امروز با ما تماس بگیرید تا مشخصات فنی، قیمت‌گذاری و راه‌حل‌های سفارشی برای کاربرد خود را بررسی کنید.

برچسب:

حامل کاتالیزور آلومینیوم,زیرلایه‌های سرامیکی آلومینا,سرامیک آلومینا,

حلقه ی سرامیکی آلومینا با خلوص بالا,حلقه ی فوکوس سرامیکی آلومینا,حلقه ی لبه ی سرامیکی آلومینا,

Alumina Ceramic

اطلاعات تماس
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

تماس با شخص: Ms. Yuki

تلفن: 8615517781293

ارسال درخواست خود را به طور مستقیم به ما (0 / 3000)

در باره

سرامیک کربید سیلیکون

چنگال های SiC مقاوم به دمای بالا با حداکثر دمای کار 1650 درجه سانتیگراد و مقاومت انعطاف پذیری 3800MPa برای تولید نیمه هادی

غلتک SiC زینتر شده بدون فشار قابل تنظیم 1650 درجه سانتیگراد مقاوم در برابر حرارت برای کوره های رولری

کربید سیلیکون با واکنش

لوله های خنک کننده هوای کربید سیلیکون سینتر شده برای خنک کننده صنعتی با دمای بالا با دمای حداکثر 1380 درجه سانتیگراد و مقاومت خم 250MPa

سوزان SiC با دمای بالا با مقاومت در برابر شوک حرارتی و خوردگی برای کوره های صنعتی

پیغام بگذارید

سیاست حفظ حریم خصوصی | چین خوب کیفیت سرامیک کربید سیلیکون تامین کننده. © 2025 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.