حلقه های سرامیکی آلومینیوم A998 (99.8٪) با طهارت بالا برای ابزارهای نیمه هادی 200mm و 300mm با مقاومت استثنایی به پلازما
خواص اساسی
محل مبدا:
چین
نام تجاری:
KEGU
شماره مدل:
قابل تنظیم
املاک تجاری
قیمت:
200-500 yuan/kg
شرایط پرداخت:
L/C،D/A،D/P،T/T،Western Union،MoneyGram
توانایی تامین:
2000 عدد در ماه
خلاصه محصول
حلقههای سرامیکی آلومینا پیشرفته برای تجهیزات نیمههادی ما با عملکرد بالا تولید میکنیم حلقههای سرامیکی آلومینا که بهطور خاص برای کاربردهای حیاتی در تجهیزات پردازش پلاسما نیمههادی طراحی شدهاند. ساخته شده از آلومینای با خلوص بالا A998 (99.8%)، اجزای ما مقاومت و قابلیت اطمینان بینظیری در برابر پل...
جزئیات محصول
برجسته کردن:
حلقه ی سرامیکی آلومینا با خلوص بالا
,حلقه ی فوکوس سرامیکی آلومینا
,حلقه ی لبه ی سرامیکی آلومینا
Material:
باکره
Composition:SiC:
＞85%
Color:
مشکی
Density:
.65 گرم/cm3
Max. Service Temp:
1380
Flexural Strength:
250 مگا پاسکال
Hardness:
84HRA
Water Absorption:
0.2 ٪
Abrasion:
<0.02 ٪
Bending Strength:
≥290MPa
توضیحات محصول
حلقههای سرامیکی آلومینا پیشرفته برای تجهیزات نیمههادی
ما با عملکرد بالا تولید میکنیم حلقههای سرامیکی آلومینا که بهطور خاص برای کاربردهای حیاتی در تجهیزات پردازش پلاسما نیمههادی طراحی شدهاند. ساخته شده از آلومینای با خلوص بالا A998 (99.8%)، اجزای ما مقاومت و قابلیت اطمینان بینظیری در برابر پلاسما در محفظههای اچ و CVD سخت ارائه میدهند.
بررسی اجمالی محصول
- حلقههای لبه یقه / حلقههای رسوب
- حلقههای فوکوس
- درجها و آسترهای محفظه
- سایر اجزای کیت فرآیند سفارشی
این اجزا با دقت مهندسی شدهاند تا الزامات سختگیرانه را برآورده کنند ابزارهای ساخت نیمههادی 200 میلیمتری و 300 میلیمتری، تضمین پایداری فرآیند و بازده.
ویژگیهای کلیدی مواد و مزایا
| ویژگی | مزیت برای فرآیند شما |
|---|---|
| مقاومت استثنایی در برابر پلاسما | طول عمر را افزایش میدهد: در برابر محیطهای پلاسما تهاجمی در محفظههای اچ و رسوب مقاومت میکند، تولید ذرات و دفعات تعویض را کاهش میدهد. |
| استحکام دیالکتریک بالا | عایق الکتریکی برتر: از نشت جریان و قوسزدگی جلوگیری میکند، پایداری فرآیند را تضمین میکند و از اجزای حساس محفظه محافظت میکند. |
| مقاومت در برابر خوردگی بالا | از نظر شیمیایی بیاثر: در برابر خوردگی ناشی از هالوژنها (به عنوان مثال، CF₄، Cl₂) و سایر گازهای فرآیند مقاومت میکند، یکپارچگی هندسی و ثبات فرآیند را حفظ میکند. |
| خلوص بالا (A998) | آلودگی را به حداقل میرساند: محتوای 99.8٪ آلومینا از عدم آلودگی فلزی اطمینان میدهد، که برای تولید ویفرهای با خلوص بالا و نرخ بازده بالا حیاتی است. |
| استحکام مکانیکی عالی | بادوام و قابل اعتماد: یکپارچگی ساختاری را تحت تنش حرارتی و مکانیکی حفظ میکند، عملکرد طولانیمدت را تضمین میکند و زمان خرابی برنامهریزینشده را کاهش میدهد. |
کاربردهای اصلی در تولید نیمههادی
حلقههای سرامیکی ما مواد مصرفی و اجزای حیاتی در داخل محفظههای پلاسما هستند:
- سیستمهای اچ: به عنوان حلقههای فوکوس و آسترهای محفظه در ابزارهای اچ دیالکتریک و هادی برای کنترل دقیق چگالی پلاسما و محافظت از دیوارههای محفظه استفاده میشود.
- سیستمهای CVD/PVD: به عنوان حلقههای لبه یقه و درجها برای تعریف محیط پردازش و جلوگیری از رسوب ناخواسته عمل میکنند.
- محفظههای تمیز کردن پلاسما: به عنوان آسترهای بادوام عمل میکنند که در برابر فرسایش ناشی از پلاسماهای O₂ یا NF₃ مقاومت میکنند و چرخههای نگهداری را افزایش میدهند.
چرا حلقههای سرامیکی آلومینای ما را انتخاب کنید؟
- ساخته شده برای دقت: ما در تولید اجزایی با تلرانسهای دقیق و پرداخت سطح برتر تخصص داریم و از تناسب کامل و عملکرد بهینه پلاسما در مجموعه ابزار خاص شما اطمینان حاصل میکنیم.
- طراحی شده برای عملکرد: تمرکز ما بر علم مواد و مهندسی منجر به قطعاتی میشود که عمر سرویس طولانیتر، تعداد ذرات کاهشیافته و تکرارپذیری فرآیند بهبود یافته را ارائه میدهند.
- سازگار با پلتفرمهای اصلی: محصولات ما برای استفاده در طیف گستردهای از تجهیزات نیمههادی 200 میلیمتری و 300 میلیمتری از تولیدکنندگان تجهیزات اصلی پیشرو طراحی شدهاند.
آیا به دنبال یک شریک قابل اعتماد برای اجزای سرامیکی نیمههادی خود هستید؟ امروز با ما تماس بگیرید تا مشخصات فنی، قیمتگذاری و راهحلهای سفارشی برای کاربرد خود را بررسی کنید.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- ایمیل: scarlett.s@kegugroup.com
- تلفن: 8616602956098
- واتساپ: 8613390790728
-
وی چت:
Scarlettseren533
محصولات مرتبط
-
حلقه های مهر و موم کربید سیلیکون با حداکثر دمای 1650 درجه سانتیگراد، مقاومت انعطاف پذیری 380MPa و مقاومت در برابر خوردگی
حلقههای آببندی کاربید سیلیکون (SiC) عملکرد پیشرفته برای کاربردهای دشوار بررسی اجمالی محصول حلقههای آببندی کاربید سیلیکون تفجوشی بدون فشار ما، اوج فناوری آببندی را نشان میدهند که برای ارائه عملکرد بینظیر در شرایط عملیاتی شدید طراحی شدهاند. با استفاده از فرآیندهای تولید پیشرفته از جمله پرس خشک ... -
مشعل های لوله ای سرامیکی کاربید سیلیکون سفارشی با حداکثر دمای سرویس 1650 درجه سانتیگراد، 20٪ کاهش مصرف سوخت و مقاومت در برابر شوک حرارتی
سوختن لوله های سرامیکی کربید سیلیکون سفارشی ZG صنعتي سوختن هاي سراميکي با کاربيد سيليکوني با کارايي بالا و لوله هاي تابش دار را عرضه مي کندلوله های کامپوزیت Si/SiC ما انتقال گرما برتر را ارائه می دهند، دوام استثنایی و صرفه جویی های قابل توجهی در انرژی برای کاربردهای گرمایش صنعتی در دسترس برای نصب فو... -
نوزل شن و ماسه کشی کربید سیلیکون با مقاومت لباس برتر، طول عمر طولانی مدت و مهندسی دقیق برای کاربردهای صنعتی
فنجان های شن و ماسه کشی از کربید سیلیکون (SiC) مقاومت لباس برتر برای کاربردهای صنعتی برای درمان سطح فنجان های شن و ماسه زدن کربید سیلیکون ما برای دوام و دقت فوق العاده در کاربردهای درمان سطح مورد نیاز طراحی شده اند.تولید شده با استفاده از فشرده سازی ایزواستاتیک پیشرفته و فن آوری سینتر کردن بدون فشار... -
زره بدنی کربید سیلیکون با قابلیت ضربات متعدد و دفاع سبک برای حفاظت بالستیک
زره سرامیکی کاربید سیلیکون: حفاظت بالستیک برتر زره سرامیکی کاربید سیلیکون (SiC) پیشرفته ما، اوج فناوری مواد بالستیک را نشان میدهد و سختی استثنایی (9.5 موس) را با وزن به طور قابل توجهی کاهش یافته ترکیب میکند تا حفاظت بینظیری را برای پرسنل و وسایل نقلیه در برابر تهدیدات با سرعت بالا و نفوذکننده زره ...
