고순도 알루미나 A998 (99.8%) 비범한 플라즈마 저항을 가진 200mm 및 300mm 반도체 도구용 세라믹 링
기본 특성
원산지:
중국
브랜드 이름:
KEGU
모델 번호:
사용자 정의 가능
부동산 거래
가격:
200-500 yuan/kg
지불 조건:
L/C,D/A,D/P,T/T,웨스턴 유니온,MoneyGram
공급능력:
2,000 PC / 달
제품 요약
반도체 장비용 고급 알루미나 세라믹 링 우리는 고성능을 생산합니다알루미나 세라믹 링반도체 플라즈마 처리 장비의 중요한 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 다음으로 제작됨고순도 알루미나 A998 (99.8%), 당사의 부품은 까다로운 식각 및 CVD 챔버에서 탁월한 플라즈마 저항성과 신뢰성을 제공합니다. 제품개요 칼라 엣지 링 / 딥 링 초점 링 챔버 인서트 및 라이너 기타 맞춤형 프로세스 키트 구성요소 이러한 구성 요소는 엄격한 요구 사항을 충족하도록 정밀하게 설계되었습니다.200mm 및 300mm 반도체 제조 도구, 공정 안...
제품 상세정보
강조하다:
고순도 알루미나 세라믹 링
,알루미나 세라믹 포커스 링
,알루미나 세라믹 엣지 링
Material:
sic
Composition:SiC:
>85%
Color:
검은색
Density:
≥3.65g/cm3
Max. Service Temp:
1380 ℃
Flexural Strength:
250MPa
Hardness:
≥84HRA
Water Absorption:
≤0.2%
Abrasion:
<0.02%
Bending Strength:
≥290MPa
제품 설명
반도체 장비용 고급 알루미나 세라믹 링
우리는 고성능을 생산합니다알루미나 세라믹 링반도체 플라즈마 처리 장비의 중요한 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 다음으로 제작됨고순도 알루미나 A998 (99.8%), 당사의 부품은 까다로운 식각 및 CVD 챔버에서 탁월한 플라즈마 저항성과 신뢰성을 제공합니다.
제품개요
- 칼라 엣지 링 / 딥 링
- 초점 링
- 챔버 인서트 및 라이너
- 기타 맞춤형 프로세스 키트 구성요소
이러한 구성 요소는 엄격한 요구 사항을 충족하도록 정밀하게 설계되었습니다.200mm 및 300mm 반도체 제조 도구, 공정 안정성과 수율을 보장합니다.
주요 재료 특성 및 장점
| 특징 | 귀하의 공정에 대한 이점 |
|---|---|
| 뛰어난 플라즈마 저항 | 서비스 수명 연장:식각 및 증착 챔버의 공격적인 플라즈마 환경을 견디며 입자 생성과 교체 빈도를 줄입니다. |
| 높은 유전 강도 | 우수한 전기 절연성:전류 누출 및 아크를 방지하여 공정 안정성을 보장하고 민감한 챔버 구성 요소를 보호합니다. |
| 높은 내식성 | 화학적으로 불활성:할로겐 기반(예: CF₄, Cl2) 및 기타 공정 가스로 인한 부식을 방지하여 기하학적 무결성과 공정 일관성을 유지합니다. |
| 고순도(A998) | 오염 최소화:99.8%의 알루미나 함량은 금속 오염을 방지하며 이는 고순도 웨이퍼 제조 및 높은 수율에 매우 중요합니다. |
| 우수한 기계적 강도 | 내구성과 신뢰성:열적 및 기계적 응력 하에서 구조적 무결성을 유지하여 장기적인 성능을 보장하고 예상치 못한 가동 중지 시간을 줄입니다. |
반도체 제조의 주요 응용 분야
당사의 세라믹 링은 플라즈마 챔버 내의 필수 소모품이자 구성 요소입니다.
- 에칭 시스템:다음과 같이 사용됨초점 링그리고챔버 라이너유전체 및 도체 식각 도구를 사용하여 플라즈마 밀도를 정밀하게 제어하고 챔버 벽을 보호합니다.
- CVD/PVD 시스템:역할을 하다칼라 엣지 링그리고인서트처리 환경을 정의하고 원치 않는 증착을 방지합니다.
- 플라즈마 세척 챔버:내구성 있는 역할 수행라이너O₂ 또는 NF₃ 플라즈마로 인한 침식을 방지하여 유지 관리 주기를 연장합니다.
알루미나 세라믹 링을 선택하는 이유는 무엇입니까?
- 정밀성을 위해 제조됨:우리는 엄격한 공차와 탁월한 표면 마감을 갖춘 부품 생산을 전문으로 하며 특정 도구 세트에 완벽한 맞춤과 최적의 플라즈마 성능을 보장합니다.
- 성능을 위해 설계됨:재료 과학 및 엔지니어링에 중점을 두어 서비스 수명을 연장하고 입자 수를 줄이며 공정 반복성을 향상시키는 부품을 생산합니다.
- 주요 플랫폼과 호환 가능:당사의 제품은 다양한 분야에서 사용하도록 설계되었습니다.200mm 및 300mm 반도체 장비주요 OEM으로부터.
반도체 세라믹 부품에 대한 신뢰할 수 있는 파트너를 찾고 계십니까?기술 사양, 가격 및 귀하의 애플리케이션에 대한 맞춤형 솔루션에 대해 논의하려면 지금 당사에 문의하십시오.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- 이메일: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel: 8616602956098
- 왓츠앱: 8613390790728
-
웨이 채팅:
Scarlettseren533
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