고순도 알루미나 A998 (99.8%) 비범한 플라즈마 저항을 가진 200mm 및 300mm 반도체 도구용 세라믹 링
기본 특성
원산지:
중국
브랜드 이름:
KEGU
모델 번호:
사용자 정의 가능
부동산 거래
가격:
200-500 yuan/kg
지불 조건:
L/C,D/A,D/P,T/T,웨스턴 유니온,
공급능력:
2,000 PC / 달
제품 요약
반도체 장비용 고급 알루미나 세라믹 링 우리는 고성능을 생산합니다알루미나 세라믹 링반도체 플라즈마 처리 장비의 중요한 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 다음으로 제작됨고순도 알루미나 A998 (99.8%), 당사의 부품은 까다로운 식각 및 CVD 챔버에서 탁월한 플라즈마 저항성과 신뢰성을 제공합니다. 제품개요 칼라 엣지 링 / 딥 링 초점 링 챔버 인서트 및 라이너 기타 맞춤형 프로세스 키트 구성요소 이러한 구성 요소는 엄격한 요구 사항을 충족하도록 정밀하게 설계되었습니다.200mm 및 300mm 반도체 제조 도구, 공정 안...
제품 상세정보
강조하다:
고순도 알루미나 세라믹 링
,알루미나 세라믹 포커스 링
,알루미나 세라믹 엣지 링
Material:
sic
Composition:SiC:
>85%
Color:
검은색
Density:
≥3.65g/cm3
Max. Service Temp:
1380 ℃
Flexural Strength:
250MPa
Hardness:
≥84HRA
Water Absorption:
≤0.2%
Abrasion:
<0.02%
Bending Strength:
≥290MPa
제품 설명
반도체 장비용 고급 알루미나 세라믹 링
우리는 고성능을 생산합니다알루미나 세라믹 링반도체 플라즈마 처리 장비의 중요한 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 다음으로 제작됨고순도 알루미나 A998 (99.8%), 당사의 부품은 까다로운 식각 및 CVD 챔버에서 탁월한 플라즈마 저항성과 신뢰성을 제공합니다.
제품개요
- 칼라 엣지 링 / 딥 링
- 초점 링
- 챔버 인서트 및 라이너
- 기타 맞춤형 프로세스 키트 구성요소
이러한 구성 요소는 엄격한 요구 사항을 충족하도록 정밀하게 설계되었습니다.200mm 및 300mm 반도체 제조 도구, 공정 안정성과 수율을 보장합니다.
주요 재료 특성 및 장점
| 특징 | 귀하의 공정에 대한 이점 |
|---|---|
| 뛰어난 플라즈마 저항 | 서비스 수명 연장:식각 및 증착 챔버의 공격적인 플라즈마 환경을 견디며 입자 생성과 교체 빈도를 줄입니다. |
| 높은 유전 강도 | 우수한 전기 절연성:전류 누출 및 아크를 방지하여 공정 안정성을 보장하고 민감한 챔버 구성 요소를 보호합니다. |
| 높은 내식성 | 화학적으로 불활성:할로겐 기반(예: CF₄, Cl2) 및 기타 공정 가스로 인한 부식을 방지하여 기하학적 무결성과 공정 일관성을 유지합니다. |
| 고순도(A998) | 오염 최소화:99.8%의 알루미나 함량은 금속 오염을 방지하며 이는 고순도 웨이퍼 제조 및 높은 수율에 매우 중요합니다. |
| 우수한 기계적 강도 | 내구성과 신뢰성:열적 및 기계적 응력 하에서 구조적 무결성을 유지하여 장기적인 성능을 보장하고 예상치 못한 가동 중지 시간을 줄입니다. |
반도체 제조의 주요 응용 분야
당사의 세라믹 링은 플라즈마 챔버 내의 필수 소모품이자 구성 요소입니다.
- 에칭 시스템:다음과 같이 사용됨초점 링그리고챔버 라이너유전체 및 도체 식각 도구를 사용하여 플라즈마 밀도를 정밀하게 제어하고 챔버 벽을 보호합니다.
- CVD/PVD 시스템:역할을 하다칼라 엣지 링그리고인서트처리 환경을 정의하고 원치 않는 증착을 방지합니다.
- 플라즈마 세척 챔버:내구성 있는 역할 수행라이너O₂ 또는 NF₃ 플라즈마로 인한 침식을 방지하여 유지 관리 주기를 연장합니다.
알루미나 세라믹 링을 선택하는 이유는 무엇입니까?
- 정밀성을 위해 제조됨:우리는 엄격한 공차와 탁월한 표면 마감을 갖춘 부품 생산을 전문으로 하며 특정 도구 세트에 완벽한 맞춤과 최적의 플라즈마 성능을 보장합니다.
- 성능을 위해 설계됨:재료 과학 및 엔지니어링에 중점을 두어 서비스 수명을 연장하고 입자 수를 줄이며 공정 반복성을 향상시키는 부품을 생산합니다.
- 주요 플랫폼과 호환 가능:당사의 제품은 다양한 분야에서 사용하도록 설계되었습니다.200mm 및 300mm 반도체 장비주요 OEM으로부터.
반도체 세라믹 부품에 대한 신뢰할 수 있는 파트너를 찾고 계십니까?기술 사양, 가격 및 귀하의 애플리케이션에 대한 맞춤형 솔루션에 대해 논의하려면 지금 당사에 문의하십시오.
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- 이메일: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel: 8616602956098
- 왓츠앱: 8613390790728
-
웨이 채팅:
Scarlettseren533
관련 제품
-
1650°C 최대 사용 온도, 380MPa 휨 강도, 부식 저항성을 갖춘 탄화규소 씰링 링
Silicon Carbide (SiC) Sealing Rings Advanced Performance for Demanding Applications Product Overview Our Pressureless Sintered Silicon Carbide Sealing Rings represent the pinnacle of sealing technology, engineered to deliver unmatched performance in extreme operating conditions. Utilizing advanced ... -
1650°C 최대 서비스 온도, 20% 연료 감소, 열 충격 저항을 갖춘 맞춤형 실리콘 탄화물 세라믹 파이프 번어
Customized Silicon Carbide Ceramic Pipe Burners Finned Radiant Tubes ZG Industrial supplies high-performance customized silicon carbide ceramic pipe burners and finned radiant tubes. Engineered for extreme conditions, our Si/SiC composite tubes deliver superior heat transfer, exceptional durability, ... -
실리콘 탄화탄 샌드브래싱 노즐, 뛰어난 마모 저항, 연장 서비스 수명, 산업용 정밀 엔지니어링
Silicon Carbide (SiC) Sandblasting Nozzles Superior wear resistance for industrial surface treatment applications Our Silicon Carbide Sandblasting Nozzles are engineered for extreme durability and precision in demanding surface treatment applications. Manufactured through advanced isostatic pressing ... -
NIJ 인증을 받은 실리콘 탄화탄 체조 장갑
Silicon Carbide Ceramic Armor: Superior Ballistic Protection Our advanced silicon carbide (SiC) ceramic armor represents the pinnacle of ballistic materials technology, combining exceptional hardness (9.5 Mohs) with significantly reduced weight to deliver unmatched protection for personnel and ...
