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제품 상세 정보:
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| 재료: | sic | 구성:SiC: | >85% |
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| 색상: | 검은색 | 밀도: | ≥3.65g/cm3 |
| 최대. 서비스 온도: | 1380 ℃ | 굴곡강도: | 250MPa |
| 경도: | ≥84HRA | 수분 흡수: | ≤0.2% |
| 찰과상: | <0.02% | 굽힘 강도: | ≥290MPa |
| 강조하다: | 고순도 알루미나 세라믹 링,알루미나 세라믹 포커스 링,알루미나 세라믹 엣지 링 |
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| 특징 | 귀하의 공정에 대한 이점 |
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| 뛰어난 플라즈마 저항 | 서비스 수명 연장:식각 및 증착 챔버의 공격적인 플라즈마 환경을 견디며 입자 생성과 교체 빈도를 줄입니다. |
| 높은 유전 강도 | 우수한 전기 절연성:전류 누출 및 아크를 방지하여 공정 안정성을 보장하고 민감한 챔버 구성 요소를 보호합니다. |
| 높은 내식성 | 화학적으로 불활성:할로겐 기반(예: CF₄, Cl2) 및 기타 공정 가스로 인한 부식을 방지하여 기하학적 무결성과 공정 일관성을 유지합니다. |
| 고순도(A998) | 오염 최소화:99.8%의 알루미나 함량은 금속 오염을 방지하며 이는 고순도 웨이퍼 제조 및 높은 수율에 매우 중요합니다. |
| 우수한 기계적 강도 | 내구성과 신뢰성:열적 및 기계적 응력 하에서 구조적 무결성을 유지하여 장기적인 성능을 보장하고 예상치 못한 가동 중지 시간을 줄입니다. |
담당자: Ms. Yuki
전화 번호: 8615517781293
Korean
