logo
Hoş geldiniz. Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

200mm ve 300mm Yarı İletken Araçları için Yüksek Saflıkta Alümina A998 (%99,8) Seramik Halkalar, Olağanüstü Plazma Direnciyle

Temel Özellikler
Menşe Yeri: Çin
Marka Adı: KEGU
Model Numarası: özelleştirilebilir
Ticaret Mülkleri
Fiyat: 200-500 yuan/kg
Ödeme Koşulları: L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Tedarik Yeteneği: 2.000 adet/ay
Ürün Özetleri
Yarım iletken ekipmanları için gelişmiş alümina seramik halkalar Yüksek performanslı ürünler üretiyoruz.Alümina Keramik YüzüklerÖzellikle yarı iletkenli plazma işleme ekipmanlarında kritik uygulamalar için tasarlanmıştır.Yüksek saflıklı alümina A998 (99.8%), bileşenlerimiz, zorlu etch ve CVD odalar...

Ürün Ayrıntıları

Vurgulamak:

Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Halka

,

Alümina Seramik Odak Halkası

,

Alümina Seramik Kenar Halkası

Material: Sic
Composition:SiC: >%85
Color: Siyah
Density: ≥3.65g/cm3
Max. Service Temp: 1380 ℃
Flexural Strength: 250MPa
Hardness: ≥84hra
Water Absorption: ≤0,2
Abrasion: <% 0.02
Bending Strength: ≥290MPa
Ürün Tanımı
Yarım iletken ekipmanları için gelişmiş alümina seramik halkalar
Yüksek performanslı ürünler üretiyoruz.Alümina Keramik YüzüklerÖzellikle yarı iletkenli plazma işleme ekipmanlarında kritik uygulamalar için tasarlanmıştır.Yüksek saflıklı alümina A998 (99.8%), bileşenlerimiz, zorlu etch ve CVD odalarında eşsiz plazma direnci ve güvenilirliği sağlar.
Ürün Genel Görünümü
  • Yaka Kenar Yüzükleri / Derin Yüzükler
  • Odaklanma Halkaları
  • Oda Eklemeleri ve Kaplamaları
  • Diğer Özel İşlem Kit Bileşenleri
Bu bileşenler, yüksek hassasiyetle tasarlanmıştır.200 mm ve 300 mm yarı iletken üretim aletleri, sürecin istikrarını ve verimini sağlar.
Ana Malzeme Özellikleri ve Avantajları
Özellik Süreçiniz İçin Yarar
Olağanüstü Plazma Direnci Hizmet ömrünü uzatır:Etch ve deppozisyon odalarında agresif plazma ortamlarına dayanır, parçacık üretimini ve değiştirme sıklığını azaltır.
Yüksek Dielektrik Gücü Üstün elektrik yalıtımı:Akım sızıntısını ve yaylanmasını önler, süreç istikrarını sağlar ve hassas oda bileşenlerini korur.
Yüksek korozyon direnci Kimyasal olarak inert:Geometrik bütünlüğünü ve süreç tutarlılığını koruyan halogen bazlı (örneğin, CF4, Cl2) ve diğer süreç gazlarının korozyona dayanıklıdır.
Yüksek saflık (A998) Kirliliği en aza indirir:99% 0,8 alümina içeriği, yüksek saflıklı vafeler üretimi ve yüksek verim oranları için kritik olan herhangi bir metal kirliliği sağlamamaktadır.
Mekanik Dayanıklılığı Dayanıklı ve Güvenilir:Termal ve mekanik stres altında yapısal bütünlüğü korur, uzun vadeli performans sağlar ve planlanmamış duraklama süresini azaltır.
Yarım iletken üretiminde birincil uygulamalar
Seramik yüzüklerimiz plazma odalarındaki hayati malzemeler ve bileşenlerdir:
  • Etch Sistemleri:Kullanımı:Odaklanma HalkalarıveOda kaplamalarıDielektrik ve iletken kazı aletleri plazma yoğunluğunu doğru bir şekilde kontrol etmek ve oda duvarlarını korumak için.
  • CVD/PVD sistemleri:GöreviYaka Kenar YüzükleriveEklerİşleme ortamını tanımlamak ve istenmeyen deplasmanın önlenmesi için.
  • Plazma temizleme odaları:Dayanıklı davranın.DöşemeO2 veya NF3 plazmalarının erozyonuna dayanıklı, bakım döngülerini uzatır.
Neden Alümina Keramik Yüzüklerimizi Seçiyorsunuz?
  • Kesinlikle üretilen:Sıkı toleranslara ve üstün yüzey bitirme özelliklerine sahip bileşenler üretmekte uzmanlaştık. Bu da özel alet setinizde mükemmel bir uyum ve en iyi plazma performansını sağlar.
  • Performans için tasarlanmış:Malzeme bilimi ve mühendisliğine odaklanmamız, daha uzun kullanım ömrü, daha az parçacık sayımı ve daha iyi süreç tekrar edilebilirliği sağlayan parçalara yol açar.
  • Ana platformlarla uyumlu:Ürünlerimiz çok çeşitli kullanım için tasarlanmıştır.200 mm ve 300 mm yarı iletken ekipmanlarıönde gelen OEM'lerden.
Yarım iletken seramik bileşenleriniz için güvenilir bir ortak mı arıyorsunuz?Teknik özellikler, fiyatlar ve uygulamanız için özel çözümler için bugün bizimle iletişime geçin.
İlgili Ürünler

Soru Gönder