logo
مرحباً بك في Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
8616602956098

مكونات سيراميك كربيد السيليكون عالية المقاومة للتآكل لتطبيقات أشباه الموصلات في قباب HDPCVD بحجم 200 مم / 300 مم

الخصائص الأساسية
مكان المنشأ: الصين
اسم العلامة التجارية: KEGU
رقم الموديل: قابلة للتخصيص
تداول العقارات
الحد الأدنى لكمية الطلب: قابل للتفاوض
سعر: قابل للتفاوض
شروط الدفع: خطاب الاعتماد، D/A، D/P، T/T، ويسترن يونيون، موني جرام
ملخص المنتج
أجزاء السيراميك الصناعية عالية المقاومة للتآكل: قبوات HDPCVD ومكوناتها حلول السيراميك المتقدمة لتطبيقات أشباه الموصلات المطالبةمكوناتنا السيراميكية الصناعية عالية الأداء مصممة لبيئات متطرفة في تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك عمليات HDPCVD (ترسب البخار الكيميائي البلازما عالي الكثافة).متوفرة في خيار...

تفاصيل المنتج

إبراز:

مكونات سيراميك كربيد السيليكون عالية المقاومة للتآكل

,

قبة HDPCVD لتطبيقات أشباه الموصلات

,

أجزاء سيراميك صناعية بتكوينات 200 مم / 300 مم

Usage: استخدام الصناعة
Chemical Composition: Al2O3، SiO2
Sic Content: 85%
Maximum Temperature: 1600 ℃
Characteristics: مقاومة التآكل العالية
Thermal Expansion Coefficient: 4.0-4.5 × 10^-6 /ك
Material Composition: 4% سي > 96% سيك
Working Temperature: 1650
Advantage: مقاومة التآكل والتآكل
Purity: 98%
Material: السيراميك من كربيد السيليكون
Acid Alkaline Proof: ممتاز
Solubility: غير قابل للذوبان
Open Porosity: <0.1%
Flexural Strength: 350-550 ميجا باسكال
وصف المنتج
أجزاء السيراميك الصناعية عالية المقاومة للتآكل: قبوات HDPCVD ومكوناتها
حلول السيراميك المتقدمة لتطبيقات أشباه الموصلات المطالبة
مكوناتنا السيراميكية الصناعية عالية الأداء مصممة لبيئات متطرفة في تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك عمليات HDPCVD (ترسب البخار الكيميائي البلازما عالي الكثافة).متوفرة في خيارات مواد متعددة لتلبية الحرارة المحددةمتطلبات مقاومة التآكل والميكانيكية.
منتجات قبة HDPCVD
الأنواع المتاحة والمواصفات:
  • القبة HDP القياسية: 200mm / 300mm تكوينات
  • سبيد دوم: مُحسّنة لعمليات عالية الإنتاجية
  • قبة DPS: تصاميم المقاومة البلازما المحسنة
  • الخامة المخصصة: تصفية سطح الخط الداخلي من Ra 0.5 إلى Ra 5.3
  • الفوائد الرئيسية: يمنع تساقط الفيلم ، يقلل من تلوث الجسيمات ، متوافق مع متطلبات العملية المختلفة
دليل اختيار المواد
الممتلكات الألومينا (Al2O3) نتريد الألومنيوم (AlN) الزركونيا (ZrO2) كربيد السيليكون (SiC) الزعفري (البلور الأحد Al2O3)
الكثافة (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
صلابة (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
النموذج المرن (GPa) 350 إلى 400 300-350 200-250 420-470 440-690
صلابة الكسر (MPa*m1/2) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-36 2.6
التوصيل الحراري (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
مقاومة الصدمات الحرارية 200-280 درجة مئوية ممتاز 300 درجة مئوية ممتاز 800 درجة مئوية
الثابتة الكهربائية (1MHz) 9.8 8.5-9 30 إلى 33 موصل 9.3
المقاومة الحجمية (Ω*cm) >1014 >1014 قابلة للتعديل يختلف >1014
المزايا الرئيسية للمواد
الألومينا (Al2O3)
  • استقرار كيميائي ممتاز ومقاومة للتآكل
  • صلابة عالية ومقاومة للارتداء
  • مثالية لمكونات التآكل ، والأسطوانات العازلة ، والحاويات المقاومة للتآكل
نتريد الألومنيوم (AlN)
  • التوصيل الحراري العالي لتبديد الحرارة
  • خصائص عزل كهربائية ممتازة
  • مثالي للاستعمال في أجهزة حرارة إلكترونية
الزركونيا (ZrO2)
  • صلابة كسر استثنائية
  • آلية تصلب التحول
  • مناسبة لأدوات القطع وأجهزة استشعار الأكسجين وخلايا الوقود
كربيد السيليكون (SiC)
  • صلابة شديدة وموصلية حرارية
  • ممتازة للدرع الباليستيكي، المحامل عالية درجة الحرارة، مكونات أشباه الموصلات
الزعفري (البلور الأحد Al2O3)
  • الشفافية البصرية جنبا إلى جنب مع صلابة عالية
  • المقاومة العالية للصدمات الحرارية
  • مثالية للتطبيقات البصرية المتخصصة والبيئة القاسية
خصائص الأداء
  • مقاومة التآكل العالية: يتحمل البيئات الكيميائية العدوانية في معالجة أشباه الموصلات
  • الحد الأدنى لتوليد الجسيمات: الأسطح المهندسية تقلل من التلوث في بيئات الغرف النظيفة
  • خصائص السطح القابلة للتخصيص: الخام والتشطيبات المخصصة لتلبية متطلبات عملية محددة
  • الاستقرار الحراري: يحافظ على سلامة الأبعاد تحت الدورة الحرارية السريعة
  • العزل الكهربائي: خصائص كهربائية ممتازة لتطبيقات البلازما
التطبيقات
  • معالجة أشباه الموصلات: غرف HDPCVD ، مكونات الحفر ، بيئات البلازما
  • التعبئة الإلكترونية: أجهزة نشر الحرارة، الأساس العازل
  • المكونات الصناعية: أجزاء مقاومة للاستعمال والحاويات المقاومة للتآكل
  • البحوث المتقدمة: معدات مختبرات متخصصة، مكونات بصرية
المنتجات ذات الصلة

أرسل استفسارًا