logo
منزل المنتجاتالسيراميك من كربيد السيليكون

مكونات سيراميك كربيد السيليكون عالية المقاومة للتآكل لتطبيقات أشباه الموصلات في قباب HDPCVD بحجم 200 مم / 300 مم

شهادة
الصين Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd الشهادات
الصين Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd الشهادات
زبون مراجعة
تقدر NGK شراكتنا طويلة الأمد مع Shaanxi Kegu. تتفوق سيراميك SSiC الخاصة بهم في الجودة والابتكار، مما يدفع نجاحنا المتبادل. إليكم التعاون المستمر!

—— شركة NGK Thermal Technology Co.,Ltd

في هويك، نفخر بشراكتنا طويلة الأمد مع شركة شانشي كيغو للمواد الجديدة للتكنولوجيا المحدودة، وهو تعاون متجذر في الثقة والابتكار والتميز المشترك. لقد دعمت خبرتهم في سيراميك SSiC والحلول الموثوقة مشاريعنا باستمرار.

—— شركة سوتشو هويك للتكنولوجيا المحدودة

نحن في "كيدا" نقدر بشدة شراكتنا الطويلة مع شركة "شانشي كيغو" لتكنولوجيا المواد الجديدةحلولهم السيراميكية عالية الجودة كانت جزءا لا يتجزأ من مشاريعنا ونحن نتطلع إلى مواصلة التعاون والنجاح المشترك.

—— مجموعة كيدا الصناعية المحدودة

ابن دردش الآن

مكونات سيراميك كربيد السيليكون عالية المقاومة للتآكل لتطبيقات أشباه الموصلات في قباب HDPCVD بحجم 200 مم / 300 مم

مكونات سيراميك كربيد السيليكون عالية المقاومة للتآكل لتطبيقات أشباه الموصلات في قباب HDPCVD بحجم 200 مم / 300 مم

وصف
إبراز:

مكونات سيراميك كربيد السيليكون عالية المقاومة للتآكل,قبة HDPCVD لتطبيقات أشباه الموصلات,أجزاء سيراميك صناعية بتكوينات 200 مم / 300 مم

,

Semiconductor Applications HDPCVD Dome

,

200mm/300mm Configurations Industrial Ceramic Parts

أجزاء السيراميك الصناعية عالية المقاومة للتآكل: قبوات HDPCVD ومكوناتها
حلول السيراميك المتقدمة لتطبيقات أشباه الموصلات المطالبة
مكوناتنا السيراميكية الصناعية عالية الأداء مصممة لبيئات متطرفة في تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك عمليات HDPCVD (ترسب البخار الكيميائي البلازما عالي الكثافة).متوفرة في خيارات مواد متعددة لتلبية الحرارة المحددةمتطلبات مقاومة التآكل والميكانيكية.
منتجات قبة HDPCVD
الأنواع المتاحة والمواصفات:
  • القبة HDP القياسية: 200mm / 300mm تكوينات
  • سبيد دوم: مُحسّنة لعمليات عالية الإنتاجية
  • قبة DPS: تصاميم المقاومة البلازما المحسنة
  • الخامة المخصصة: تصفية سطح الخط الداخلي من Ra 0.5 إلى Ra 5.3
  • الفوائد الرئيسية: يمنع تساقط الفيلم ، يقلل من تلوث الجسيمات ، متوافق مع متطلبات العملية المختلفة
دليل اختيار المواد
الممتلكات الألومينا (Al2O3) نتريد الألومنيوم (AlN) الزركونيا (ZrO2) كربيد السيليكون (SiC) الزعفري (البلور الأحد Al2O3)
الكثافة (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
صلابة (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
النموذج المرن (GPa) 350 إلى 400 300-350 200-250 420-470 440-690
صلابة الكسر (MPa*m1/2) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-36 2.6
التوصيل الحراري (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
مقاومة الصدمات الحرارية 200-280 درجة مئوية ممتاز 300 درجة مئوية ممتاز 800 درجة مئوية
الثابتة الكهربائية (1MHz) 9.8 8.5-9 30 إلى 33 موصل 9.3
المقاومة الحجمية (Ω*cm) >1014 >1014 قابلة للتعديل يختلف >1014
المزايا الرئيسية للمواد
الألومينا (Al2O3)
  • استقرار كيميائي ممتاز ومقاومة للتآكل
  • صلابة عالية ومقاومة للارتداء
  • مثالية لمكونات التآكل ، والأسطوانات العازلة ، والحاويات المقاومة للتآكل
نتريد الألومنيوم (AlN)
  • التوصيل الحراري العالي لتبديد الحرارة
  • خصائص عزل كهربائية ممتازة
  • مثالي للاستعمال في أجهزة حرارة إلكترونية
الزركونيا (ZrO2)
  • صلابة كسر استثنائية
  • آلية تصلب التحول
  • مناسبة لأدوات القطع وأجهزة استشعار الأكسجين وخلايا الوقود
كربيد السيليكون (SiC)
  • صلابة شديدة وموصلية حرارية
  • ممتازة للدرع الباليستيكي، المحامل عالية درجة الحرارة، مكونات أشباه الموصلات
الزعفري (البلور الأحد Al2O3)
  • الشفافية البصرية جنبا إلى جنب مع صلابة عالية
  • المقاومة العالية للصدمات الحرارية
  • مثالية للتطبيقات البصرية المتخصصة والبيئة القاسية
خصائص الأداء
  • مقاومة التآكل العالية: يتحمل البيئات الكيميائية العدوانية في معالجة أشباه الموصلات
  • الحد الأدنى لتوليد الجسيمات: الأسطح المهندسية تقلل من التلوث في بيئات الغرف النظيفة
  • خصائص السطح القابلة للتخصيص: الخام والتشطيبات المخصصة لتلبية متطلبات عملية محددة
  • الاستقرار الحراري: يحافظ على سلامة الأبعاد تحت الدورة الحرارية السريعة
  • العزل الكهربائي: خصائص كهربائية ممتازة لتطبيقات البلازما
التطبيقات
  • معالجة أشباه الموصلات: غرف HDPCVD ، مكونات الحفر ، بيئات البلازما
  • التعبئة الإلكترونية: أجهزة نشر الحرارة، الأساس العازل
  • المكونات الصناعية: أجزاء مقاومة للاستعمال والحاويات المقاومة للتآكل
  • البحوث المتقدمة: معدات مختبرات متخصصة، مكونات بصرية

تفاصيل الاتصال
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

اتصل شخص: Ms. Yuki

الهاتف :: 8615517781293

إرسال استفسارك مباشرة لنا (0 / 3000)