logo
Thuis Productenkeramische siliconcarbide

Keramische onderdelen van siliciumcarbide met een hoge corrosiebestendigheid voor halfgeleidertoepassingen in HDPCVD-koepels van 200 mm/300 mm

Certificaat
China Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certificaten
China Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certificaten
Klantenoverzichten
NGK hecht veel waarde aan onze langdurige samenwerking met Shaanxi Kegu. Hun SSiC-keramiek is uitstekend in kwaliteit en innovatie, wat onze wederzijdse successen bevordert.

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Bij Huike zijn we trots op onze langdurige samenwerking met Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., een samenwerking gebaseerd op vertrouwen, innovatie en gedeelde excellentie.Hun expertise op het gebied van SSiC-keramiek en betrouwbare oplossingen hebben onze projecten consequent ondersteund.

—— Suzhou Huike Technology Co., Ltd.

Wij bij Keda waarderen onze langdurige samenwerking met Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Hun kwalitatief hoogwaardige SSiC keramische oplossingen zijn een integraal onderdeel van onze projecten en we kijken uit naar een verdere samenwerking en gedeeld succes..

—— Keda Industrial Group Co., Ltd.

Ik ben online Chatten Nu

Keramische onderdelen van siliciumcarbide met een hoge corrosiebestendigheid voor halfgeleidertoepassingen in HDPCVD-koepels van 200 mm/300 mm

Keramische onderdelen van siliciumcarbide met een hoge corrosiebestendigheid voor halfgeleidertoepassingen in HDPCVD-koepels van 200 mm/300 mm

beschrijving
Markeren:

Hoge corrosiebestendigheid siliciumcarbide keramische componenten

,

Halfgeleider toepassingen HDPCVD-koepel

,

200mm/300mm configuraties industriële keramische onderdelen

Industriële keramische onderdelen met een hoge corrosiebestendigheid: HDPCVD-koepels en -componenten
Geavanceerde keramische oplossingen voor veeleisende halfgeleidertoepassingen
Onze hoogwaardige industriële keramische componenten zijn ontworpen voor extreme omgevingen in de halfgeleiderproductie, waaronder HDPCVD-processen (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition).Verkrijgbaar in meerdere materiaalopties om aan specifieke thermische, mechanische en corrosiebestendigheid.
HDPCVD-domeproducten
Beschikbare typen en specificaties:
  • Standaard HDP Dome: 200 mm / 300 mm-configuraties
  • SpeedDome: Geoptimaliseerd voor processen met een hoge doorvoer
  • DPS Dome: Verbeterde plasmaweerstandsontwerpen
  • Gepaste ruwheid: Afwerking van het binnenste contouroppervlak van Ra 0,5 tot en met Ra 5.3
  • Belangrijkste voordelen: voorkomt filmverlies, beperkt de verontreiniging door deeltjes tot een minimum, verenigbaar met verschillende procesvereisten
Gids voor materiaalkeuze
Vastgoed Aluminium (Al2O3) Aluminiumnitride (AlN) Zirkonium (ZrO2) Siliciumcarbide (SiC) Sapfieren (eenkristallijn Al2O3)
Dichtheid (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Hardheid (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
Elastische modulus (GPa) 350 tot 400 300 tot en met 350 200 tot 250 420 tot en met 470 440 tot en met 690
Breuksterkte (MPa*m1/2) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
Thermische geleidbaarheid (W/m*K) 28 tot 32 180-200 2-3 160-200 40
Thermische schokbestendigheid 200-280°C Uitstekend. 300°C Uitstekend. 800°C
Dielectrische constante (1MHz) 9.8 8.5-9 30 tot 33 Leidende 9.3
Volumeweerstand (Ω*cm) >1014 >1014 Verstelbaar Verschillend >1014
Belangrijkste materiële voordelen
Aluminium (Al2O3)
  • Uitstekende chemische stabiliteit en corrosiebestendigheid
  • Hoge hardheid en slijtvastheid
  • Ideaal voor slijtagecomponenten, isolatiesubstraten, corrosiebestendige containers
Aluminiumnitride (AlN)
  • Superieure thermische geleidbaarheid voor warmteafvoer
  • Uitstekende elektrische isolatie eigenschappen
  • Perfect voor elektronische hitteafvoeringen, verpakkingen voor krachtige apparaten
Zirkonium (ZrO2)
  • Uitzonderlijke breuksterkte
  • Transformatieverhardingsmechanisme
  • geschikt voor snijgereedschappen, zuurstofsensoren, brandstofcellen
Siliciumcarbide (SiC)
  • Extreme hardheid en thermische geleidbaarheid
  • Uitstekend voor ballistische pantsering, hoge temperatuur lagers, halfgeleidercomponenten
Sapfieren (eenkristallijn Al2O3)
  • Optische transparantie gecombineerd met hoge hardheid
  • Superieure weerstand tegen thermische schokken
  • Ideaal voor gespecialiseerde optische toepassingen en extreme omgevingen
Performance kenmerken
  • Superieure corrosiebestendigheid: bestand tegen agressieve chemische omgevingen bij de verwerking van halfgeleiders
  • Minimale deeltjesopwekking: Ingenieursoppervlakken verminderen verontreiniging in cleanroomomgevingen
  • Aanpasbare oppervlakte-eigenschappen: Op maat gemaakte ruwheid en afwerking om aan specifieke procesvereisten te voldoen
  • Thermische stabiliteit: Behoudt dimensionale integriteit bij snelle thermische cyclus
  • Elektrische isolatie: Uitstekende diëlektrische eigenschappen voor plasma toepassingen
Toepassingen
  • Verwerking van halfgeleiders: HDPCVD-kamers, etchcomponenten, plasmaomgevingen
  • Elektronische verpakkingen: warmteverspreiders, isolatiesubstraten
  • Industriële onderdelen: slijtagebestendige onderdelen, corrosiebestendige containers
  • Geavanceerd onderzoek: Speciale laboratoriumapparatuur, optische componenten

Contactgegevens
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Contactpersoon: Ms. Yuki

Tel.: 8615517781293

Direct Stuur uw aanvraag naar ons (0 / 3000)