Keramische onderdelen van siliciumcarbide met een hoge corrosiebestendigheid voor halfgeleidertoepassingen in HDPCVD-koepels van 200 mm/300 mm
Basis eigenschappen
Plaats van herkomst:
China
Merknaam:
KEGU
Modelnummer:
Aanpasbaar
Handelsgoederen
Minimale bestelhoeveelheid:
Bespreekbaar
Prijs:
Onderhandelbaar
Betalingsvoorwaarden:
L/C, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Productoverzicht
Industriële keramische onderdelen met een hoge corrosiebestendigheid: HDPCVD-koepels en -componenten Geavanceerde keramische oplossingen voor veeleisende halfgeleidertoepassingenOnze hoogwaardige industriële keramische componenten zijn ontworpen voor extreme omgevingen in de halfgeleiderproductie, ...
Productdetails
Markeren:
Hoge corrosiebestendigheid siliciumcarbide keramische componenten
,Halfgeleider toepassingen HDPCVD-koepel
,200mm/300mm configuraties industriële keramische onderdelen
Usage:
Gebruik van de industrie
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
Hoge slijtvastheid
Thermal Expansion Coefficient:
4,0-4,5 × 10^-6/K
Material Composition:
4%Si >96%Si
Working Temperature:
1650
Advantage:
Slijtage- en slijtvastheid
Purity:
98%
Material:
siliciumcarbide keramiek
Acid Alkaline Proof:
Uitstekend
Solubility:
Onoplosbaar
Open Porosity:
<0,1%
Flexural Strength:
350 tot 550 MPa
Productomschrijving
Industriële keramische onderdelen met een hoge corrosiebestendigheid: HDPCVD-koepels en -componenten
Geavanceerde keramische oplossingen voor veeleisende halfgeleidertoepassingen
Onze hoogwaardige industriële keramische componenten zijn ontworpen voor extreme omgevingen in de halfgeleiderproductie, waaronder HDPCVD-processen (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition).Verkrijgbaar in meerdere materiaalopties om aan specifieke thermische, mechanische en corrosiebestendigheid.
Onze hoogwaardige industriële keramische componenten zijn ontworpen voor extreme omgevingen in de halfgeleiderproductie, waaronder HDPCVD-processen (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition).Verkrijgbaar in meerdere materiaalopties om aan specifieke thermische, mechanische en corrosiebestendigheid.
HDPCVD-domeproducten
Beschikbare typen en specificaties:
- Standaard HDP Dome: 200 mm / 300 mm-configuraties
- SpeedDome: Geoptimaliseerd voor processen met een hoge doorvoer
- DPS Dome: Verbeterde plasmaweerstandsontwerpen
- Gepaste ruwheid: Afwerking van het binnenste contouroppervlak van Ra 0,5 tot en met Ra 5.3
- Belangrijkste voordelen: voorkomt filmverlies, beperkt de verontreiniging door deeltjes tot een minimum, verenigbaar met verschillende procesvereisten
Gids voor materiaalkeuze
| Vastgoed | Aluminium (Al2O3) | Aluminiumnitride (AlN) | Zirkonium (ZrO2) | Siliciumcarbide (SiC) | Sapfieren (eenkristallijn Al2O3) |
|---|---|---|---|---|---|
| Dichtheid (g/cm3) | 3.9 | 3.3 | 6.0 | 3.21 | 3.97 |
| Hardheid (GPa) | 14-17 | 10-12 | 13 | 27-28 | 22.5 |
| Elastische modulus (GPa) | 350 tot 400 | 300 tot en met 350 | 200 tot 250 | 420 tot en met 470 | 440 tot en met 690 |
| Breuksterkte (MPa*m1/2) | 3-4 | 2.8-3.3 | 10-11 | 3.5-3.6 | 2.6 |
| Thermische geleidbaarheid (W/m*K) | 28 tot 32 | 180-200 | 2-3 | 160-200 | 40 |
| Thermische schokbestendigheid | 200-280°C | Uitstekend. | 300°C | Uitstekend. | 800°C |
| Dielectrische constante (1MHz) | 9.8 | 8.5-9 | 30 tot 33 | Leidende | 9.3 |
| Volumeweerstand (Ω*cm) | >1014 | >1014 | Verstelbaar | Verschillend | >1014 |
Belangrijkste materiële voordelen
Aluminium (Al2O3)
- Uitstekende chemische stabiliteit en corrosiebestendigheid
- Hoge hardheid en slijtvastheid
- Ideaal voor slijtagecomponenten, isolatiesubstraten, corrosiebestendige containers
Aluminiumnitride (AlN)
- Superieure thermische geleidbaarheid voor warmteafvoer
- Uitstekende elektrische isolatie eigenschappen
- Perfect voor elektronische hitteafvoeringen, verpakkingen voor krachtige apparaten
Zirkonium (ZrO2)
- Uitzonderlijke breuksterkte
- Transformatieverhardingsmechanisme
- geschikt voor snijgereedschappen, zuurstofsensoren, brandstofcellen
Siliciumcarbide (SiC)
- Extreme hardheid en thermische geleidbaarheid
- Uitstekend voor ballistische pantsering, hoge temperatuur lagers, halfgeleidercomponenten
Sapfieren (eenkristallijn Al2O3)
- Optische transparantie gecombineerd met hoge hardheid
- Superieure weerstand tegen thermische schokken
- Ideaal voor gespecialiseerde optische toepassingen en extreme omgevingen
Performance kenmerken
- Superieure corrosiebestendigheid: bestand tegen agressieve chemische omgevingen bij de verwerking van halfgeleiders
- Minimale deeltjesopwekking: Ingenieursoppervlakken verminderen verontreiniging in cleanroomomgevingen
- Aanpasbare oppervlakte-eigenschappen: Op maat gemaakte ruwheid en afwerking om aan specifieke procesvereisten te voldoen
- Thermische stabiliteit: Behoudt dimensionale integriteit bij snelle thermische cyclus
- Elektrische isolatie: Uitstekende diëlektrische eigenschappen voor plasma toepassingen
Toepassingen
- Verwerking van halfgeleiders: HDPCVD-kamers, etchcomponenten, plasmaomgevingen
- Elektronische verpakkingen: warmteverspreiders, isolatiesubstraten
- Industriële onderdelen: slijtagebestendige onderdelen, corrosiebestendige containers
- Geavanceerd onderzoek: Speciale laboratoriumapparatuur, optische componenten
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- E-mail: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel.: 8616602956098
- whatsapp: 8613390790728
-
Wechat:
Scarlettseren533
Gerelateerde producten
-
Siliciumcarbide-dichtingsringen met 1650°C maximale temperatuur, 380MPa buigsterkte en corrosiebestendigheid
Siliciumcarbide (SiC) afdichtingsringen Geavanceerde prestaties voor veeleisende toepassingen Productoverzicht Onze drukloze gesinterde siliconcarbide afdichtingsringen vertegenwoordigen de top van afdichtingstechnologie, ontworpen om ongeëvenaarde prestaties te leveren onder extreme bedrijfsomstand... -
Op maat gemaakte siliconcarbide keramische pijpleidingsbranders met 1650°C maximale temperatuur, 20% brandstofreductie en thermische schokbestendigheid
Gepersonaliseerde keramische siliconcarbide-buisbrander ZG Industrial levert hoogwaardige, op maat gemaakte siliconcarbide keramische pijpbranders en stralingsbuizen.onze Si/SiC composiet buizen leveren superieure warmteoverdracht, uitzonderlijke duurzaamheid en aanzienlijke energiebesparingen voor ... -
Siliciumcarbide zandblaasbuis met superieure slijtvastheid, langere levensduur en precisie-engineering voor industriële toepassingen
Silicon Carbide (SiC) Zandstraalmondstukken Superieure slijtvastheid voor industriële oppervlaktebehandelingstoepassingen Onze Silicon Carbide Zandstraalmondstukken zijn ontworpen voor extreme duurzaamheid en precisie in veeleisende oppervlaktebehandelingstoepassingen. Vervaardigd door middel van ... -
NIJ gecertificeerde siliciumcarbide body armor met multi-hit capaciteit en lichtgewicht verdediging voor ballistische bescherming
Silicon Carbide Keramische Pantser: Superieure Ballistische Bescherming Ons geavanceerde siliciumcarbide (SiC) keramische pantser vertegenwoordigt het toppunt van ballistische materialentechnologie, waarbij uitzonderlijke hardheid (9,5 Mohs) wordt gecombineerd met aanzienlijk verminderd gewicht om ...
