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200mm/300mm HDPCVD डोम में सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उच्च-संक्षारण प्रतिरोध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक घटक

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सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक

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प्रमाणन
चीन Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd प्रमाणपत्र
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ग्राहक समीक्षा
एनजीके शांक्सी केगू के साथ हमारी लंबे समय से चली आ रही साझेदारी को महत्व देता है। उनके एसSiC सिरेमिक गुणवत्ता और नवाचार में उत्कृष्ट हैं, जो हमारी आपसी सफलता को बढ़ावा देते हैं। निरंतर सहयोग के लिए यहाँ!

—— एनजीके थर्मल टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड

हुईके में, हमें शानक्सी केगु न्यू मटेरियल टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड के साथ अपनी लंबे समय से चली आ रही साझेदारी पर गर्व है, जो विश्वास, नवाचार और साझा उत्कृष्टता में निहित है। SSiC सिरेमिक और विश्वसनीय समाधानों में उनकी विशेषज्ञता ने लगातार हमारी परियोजनाओं का समर्थन किया है।

—— सूज़ौ हुईके टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड

केडा में, हम शानक्सी केगु न्यू मटेरियल टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड के साथ अपनी लंबे समय से चली आ रही साझेदारी की बहुत सराहना करते हैं। उनके उच्च-गुणवत्ता वाले एसSiC सिरेमिक समाधान हमारी परियोजनाओं के लिए अभिन्न अंग रहे हैं और हम निरंतर सहयोग और साझा सफलता की आशा करते हैं।

—— केडा इंडस्ट्रियल ग्रुप कंपनी लिमिटेड

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200mm/300mm HDPCVD डोम में सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उच्च-संक्षारण प्रतिरोध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक घटक

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes
High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

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उत्पाद विवरण:
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200mm/300mm HDPCVD डोम में सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उच्च-संक्षारण प्रतिरोध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक घटक

वर्णन
प्रमुखता देना:

उच्च संक्षारण प्रतिरोध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक घटक

,

सेमीकंडक्टर अनुप्रयोग HDPCVD डोम

,

200mm/300mm कॉन्फ़िगरेशन औद्योगिक सिरेमिक पार्ट्स

उच्च-संक्षारण प्रतिरोध औद्योगिक सिरेमिक पार्ट्स: एचडीपीसीवीडी डोम और घटक
मांग वाले सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उन्नत सिरेमिक समाधान
हमारे उच्च-प्रदर्शन वाले औद्योगिक सिरेमिक घटक सेमीकंडक्टर निर्माण में चरम वातावरण के लिए इंजीनियर किए गए हैं, जिसमें एचडीपीसीवीडी (उच्च-घनत्व प्लाज्मा रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रियाएं शामिल हैं। विशिष्ट तापीय, यांत्रिक और संक्षारण प्रतिरोध आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कई सामग्री विकल्पों में उपलब्ध हैं।
एचडीपीसीवीडी डोम उत्पाद
उपलब्ध प्रकार और विनिर्देश:
  • मानक एचडीपी डोम: 200 मिमी / 300 मिमी विन्यास
  • स्पीडडोम: उच्च-थ्रूपुट प्रक्रियाओं के लिए अनुकूलित
  • डीपीएस डोम: उन्नत प्लाज्मा प्रतिरोध डिजाइन
  • कस्टम खुरदरापन: रा 0.5 से रा 5.3 तक आंतरिक समोच्च सतह खत्म
  • मुख्य लाभ: फिल्म शेडिंग को रोकता है, कण संदूषण को कम करता है, विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताओं के साथ संगत
सामग्री चयन मार्गदर्शिका
संपत्ति एल्यूमिना (Al₂O₃) एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN) ज़िरकोनिया (ZrO₂) सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) नीलम (एकल क्रिस्टल Al₂O₃)
घनत्व (g/cm³) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
कठोरता (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
लोचदार मापांक (GPa) 350-400 300-350 200-250 420-470 440-690
भंगुरता (MPa*m¹/²) 3-4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
थर्मल चालकता (W/m*K) 28-32 180-200 2-3 160-200 40
थर्मल शॉक प्रतिरोध 200-280°C उत्कृष्ट 300°C उत्कृष्ट 800°C
ढांकता हुआ स्थिरांक (1MHz) 9.8 8.5-9 30-33 प्रवाहकीय 9.3
वॉल्यूम प्रतिरोधकता (Ω*cm) >10¹⁴ >10¹⁴ समायोज्य भिन्न होता है >10¹⁴
मुख्य सामग्री लाभ
एल्यूमिना (Al₂O₃)
  • उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता और संक्षारण प्रतिरोध
  • उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध
  • पहनने वाले घटकों, इन्सुलेटिंग सब्सट्रेट, संक्षारण-प्रतिरोधी कंटेनरों के लिए आदर्श
एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN)
  • गर्मी अपव्यय के लिए बेहतर तापीय चालकता
  • उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन गुण
  • इलेक्ट्रॉनिक हीट सिंक, उच्च-शक्ति डिवाइस पैकेजिंग के लिए बिल्कुल सही
ज़िरकोनिया (ZrO₂)
  • असाधारण फ्रैक्चर क्रूरता
  • रूपांतरण सख्त तंत्र
  • कटिंग टूल्स, ऑक्सीजन सेंसर, फ्यूल सेल के लिए उपयुक्त
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC)
  • अत्यधिक कठोरता और तापीय चालकता
  • बैलिस्टिक कवच, उच्च तापमान बीयरिंग, सेमीकंडक्टर घटकों के लिए उत्कृष्ट
नीलम (एकल क्रिस्टल Al₂O₃)
  • उच्च कठोरता के साथ संयुक्त ऑप्टिकल पारदर्शिता
  • बेहतर थर्मल शॉक प्रतिरोध
  • विशेष ऑप्टिकल और चरम पर्यावरण अनुप्रयोगों के लिए आदर्श
प्रदर्शन विशेषताएं
  • बेहतर संक्षारण प्रतिरोध: सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में आक्रामक रासायनिक वातावरण का सामना करता है
  • न्यूनतम कण पीढ़ी: इंजीनियर सतहें क्लीनरूम वातावरण में संदूषण को कम करती हैं
  • अनुकूलन योग्य सतह गुण: विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सिलवाया गया खुरदरापन और परिष्करण
  • थर्मल स्थिरता: तेजी से थर्मल साइकिलिंग के तहत आयामी अखंडता बनाए रखता है
  • विद्युत इन्सुलेशन: प्लाज्मा अनुप्रयोगों के लिए उत्कृष्ट ढांकता हुआ गुण
अनुप्रयोग
  • सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण: एचडीपीसीवीडी चैंबर, एट्च घटक, प्लाज्मा वातावरण
  • इलेक्ट्रॉनिक पैकेजिंग: हीट स्प्रेडर, इन्सुलेटिंग सब्सट्रेट
  • औद्योगिक घटक: पहनने वाले प्रतिरोधी हिस्से, संक्षारण-प्रतिरोधी कंटेनर
  • उन्नत अनुसंधान: विशेष प्रयोगशाला उपकरण, ऑप्टिकल घटक

टैग:

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक,

बिना दबाव वाले सिंटर किए गए एसआईसी,

इस प्रकार मिट्टी के पात्र

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Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

व्यक्ति से संपर्क करें: Ms. Yuki

दूरभाष: 8615517781293

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सामग्री: सिक

रचना:SiC: > 98%
बहु-हिट क्षमता और बैलिस्टिक सुरक्षा के लिए हल्के रक्षा के साथ एनआईजे प्रमाणित सिलिकॉन कार्बाइड बॉडी कवच

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सामग्री: सिक

रचना:SiC: > 98%

रंग: काला

घनत्व: > 3.05g/cm3
1650°C मैक्स सर्विस टेम्प दबाव रहित सिंटर एसआईसी सैगर्सः मांग वाले अनुप्रयोगों के लिए कस्टम उच्च तापमान समाधान

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सामग्री: सिक

रचना:SiC: > 98%

रंग: काला

घनत्व: > 3.05g/cm3
प्रेशरलेस सिन्टर्ड SiC ग्राइंडिंग बॉल्स - खनन और सिरेमिक के लिए उच्च-दक्षता संक्षारण प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड ग्राइंडिंग मीडिया

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सामग्री: सिक

रचना:SiC: > 98%

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घनत्व: > 3.05g/cm3
औद्योगिक-श्रेणी SSiC स्क्वायर बीम जिसमें 1650°C अधिकतम सेवा तापमान, 380MPa फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ, और बेहतर एंटी-क्रीप प्रदर्शन है

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सामग्री: सिक

रचना:SiC: > 98%

रंग: काला

घनत्व: > 3.05g/cm3
के बारे में

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक

उच्च तापमान प्रतिरोधी SiC कांटे 1650°C अधिकतम सेवा तापमान और 3800MPa फ्लेक्सुरल ताकत के साथ अर्धचालक निर्माण के लिए

अनुकूलन योग्य दबाव रहित सिंटरित सीआईसी रोलर 1650°C रोलर फायर ओवन के लिए गर्मी प्रतिरोधी

रिएक्शन बॉन्ड्ड सिलिकॉन कार्बाइड

प्रतिक्रिया सिंटर सिलिकॉन कार्बाइड वायु शीतलन ट्यूब उच्च-अवधि औद्योगिक शीतलन के लिए 1380°C अधिकतम सेवा तापमान और 250MPa झुकने की ताकत के साथ

औद्योगिक भट्टियों के लिए थर्मल शॉक और संक्षारण प्रतिरोध के साथ उच्च तापमान स्थिर सीआईसी बर्नर

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