200mm/300mm HDPCVD डोम में सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उच्च-संक्षारण प्रतिरोध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक घटक
मूलभूत गुण
उत्पत्ति का स्थान:
चीन
ब्रांड नाम:
KEGU
मॉडल नंबर:
अनुकूलन
व्यापारिक संपत्तियाँ
न्यूनतम आदेश मात्रा:
बातचीत योग्य
कीमत:
विनिमय योग्य
भुगतान की शर्तें:
एल/सी, डी/ए, डी/पी, टी/टी, वेस्टर्न यूनियन, मनीग्राम
उत्पाद सारांश
उच्च-संक्षारण प्रतिरोध औद्योगिक सिरेमिक पार्ट्स: एचडीपीसीवीडी डोम और घटक मांग वाले सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उन्नत सिरेमिक समाधान हमारे उच्च-प्रदर्शन वाले औद्योगिक सिरेमिक घटक सेमीकंडक्टर निर्माण में चरम वातावरण के लिए इंजीनियर किए गए हैं, जिसमें एचडीपीसीवीडी (उच्च-घनत्व प्लाज्मा रासायनिक वाष्प ...
उत्पाद का विवरण
प्रमुखता देना:
उच्च संक्षारण प्रतिरोध सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक घटक
,सेमीकंडक्टर अनुप्रयोग HDPCVD डोम
,200mm/300mm कॉन्फ़िगरेशन औद्योगिक सिरेमिक पार्ट्स
Usage:
उद्योग उपयोग
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
उच्च पहनने का प्रतिरोध
Thermal Expansion Coefficient:
4.0-4.5 × 10^-6 /के
Material Composition:
4%Si>96%Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
घिसाव और घर्षण प्रतिरोध
Purity:
98%
Material:
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक
Acid Alkaline Proof:
उत्कृष्ट
Solubility:
अघुलनशील
Open Porosity:
<0.1%
Flexural Strength:
350-550 एमपीए
उत्पाद का वर्णन
उच्च-संक्षारण प्रतिरोध औद्योगिक सिरेमिक पार्ट्स: एचडीपीसीवीडी डोम और घटक
मांग वाले सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए उन्नत सिरेमिक समाधान
हमारे उच्च-प्रदर्शन वाले औद्योगिक सिरेमिक घटक सेमीकंडक्टर निर्माण में चरम वातावरण के लिए इंजीनियर किए गए हैं, जिसमें एचडीपीसीवीडी (उच्च-घनत्व प्लाज्मा रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रियाएं शामिल हैं। विशिष्ट तापीय, यांत्रिक और संक्षारण प्रतिरोध आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कई सामग्री विकल्पों में उपलब्ध हैं।
हमारे उच्च-प्रदर्शन वाले औद्योगिक सिरेमिक घटक सेमीकंडक्टर निर्माण में चरम वातावरण के लिए इंजीनियर किए गए हैं, जिसमें एचडीपीसीवीडी (उच्च-घनत्व प्लाज्मा रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रियाएं शामिल हैं। विशिष्ट तापीय, यांत्रिक और संक्षारण प्रतिरोध आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कई सामग्री विकल्पों में उपलब्ध हैं।
एचडीपीसीवीडी डोम उत्पाद
उपलब्ध प्रकार और विनिर्देश:
- मानक एचडीपी डोम: 200 मिमी / 300 मिमी विन्यास
- स्पीडडोम: उच्च-थ्रूपुट प्रक्रियाओं के लिए अनुकूलित
- डीपीएस डोम: उन्नत प्लाज्मा प्रतिरोध डिजाइन
- कस्टम खुरदरापन: रा 0.5 से रा 5.3 तक आंतरिक समोच्च सतह खत्म
- मुख्य लाभ: फिल्म शेडिंग को रोकता है, कण संदूषण को कम करता है, विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताओं के साथ संगत
सामग्री चयन मार्गदर्शिका
| संपत्ति | एल्यूमिना (Al₂O₃) | एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN) | ज़िरकोनिया (ZrO₂) | सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) | नीलम (एकल क्रिस्टल Al₂O₃) |
|---|---|---|---|---|---|
| घनत्व (g/cm³) | 3.9 | 3.3 | 6.0 | 3.21 | 3.97 |
| कठोरता (GPa) | 14-17 | 10-12 | 13 | 27-28 | 22.5 |
| लोचदार मापांक (GPa) | 350-400 | 300-350 | 200-250 | 420-470 | 440-690 |
| भंगुरता (MPa*m¹/²) | 3-4 | 2.8-3.3 | 10-11 | 3.5-3.6 | 2.6 |
| थर्मल चालकता (W/m*K) | 28-32 | 180-200 | 2-3 | 160-200 | 40 |
| थर्मल शॉक प्रतिरोध | 200-280°C | उत्कृष्ट | 300°C | उत्कृष्ट | 800°C |
| ढांकता हुआ स्थिरांक (1MHz) | 9.8 | 8.5-9 | 30-33 | प्रवाहकीय | 9.3 |
| वॉल्यूम प्रतिरोधकता (Ω*cm) | >10¹⁴ | >10¹⁴ | समायोज्य | भिन्न होता है | >10¹⁴ |
मुख्य सामग्री लाभ
एल्यूमिना (Al₂O₃)
- उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता और संक्षारण प्रतिरोध
- उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध
- पहनने वाले घटकों, इन्सुलेटिंग सब्सट्रेट, संक्षारण-प्रतिरोधी कंटेनरों के लिए आदर्श
एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN)
- गर्मी अपव्यय के लिए बेहतर तापीय चालकता
- उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन गुण
- इलेक्ट्रॉनिक हीट सिंक, उच्च-शक्ति डिवाइस पैकेजिंग के लिए बिल्कुल सही
ज़िरकोनिया (ZrO₂)
- असाधारण फ्रैक्चर क्रूरता
- रूपांतरण सख्त तंत्र
- कटिंग टूल्स, ऑक्सीजन सेंसर, फ्यूल सेल के लिए उपयुक्त
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC)
- अत्यधिक कठोरता और तापीय चालकता
- बैलिस्टिक कवच, उच्च तापमान बीयरिंग, सेमीकंडक्टर घटकों के लिए उत्कृष्ट
नीलम (एकल क्रिस्टल Al₂O₃)
- उच्च कठोरता के साथ संयुक्त ऑप्टिकल पारदर्शिता
- बेहतर थर्मल शॉक प्रतिरोध
- विशेष ऑप्टिकल और चरम पर्यावरण अनुप्रयोगों के लिए आदर्श
प्रदर्शन विशेषताएं
- बेहतर संक्षारण प्रतिरोध: सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में आक्रामक रासायनिक वातावरण का सामना करता है
- न्यूनतम कण पीढ़ी: इंजीनियर सतहें क्लीनरूम वातावरण में संदूषण को कम करती हैं
- अनुकूलन योग्य सतह गुण: विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सिलवाया गया खुरदरापन और परिष्करण
- थर्मल स्थिरता: तेजी से थर्मल साइकिलिंग के तहत आयामी अखंडता बनाए रखता है
- विद्युत इन्सुलेशन: प्लाज्मा अनुप्रयोगों के लिए उत्कृष्ट ढांकता हुआ गुण
अनुप्रयोग
- सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण: एचडीपीसीवीडी चैंबर, एट्च घटक, प्लाज्मा वातावरण
- इलेक्ट्रॉनिक पैकेजिंग: हीट स्प्रेडर, इन्सुलेटिंग सब्सट्रेट
- औद्योगिक घटक: पहनने वाले प्रतिरोधी हिस्से, संक्षारण-प्रतिरोधी कंटेनर
- उन्नत अनुसंधान: विशेष प्रयोगशाला उपकरण, ऑप्टिकल घटक
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- ईमेल: scarlett.s@kegugroup.com
- टेलीफोन: 8616602956098
- व्हाट्सएप: 8613390790728
-
वीचैट:
Scarlettseren533
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