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Keramische Bauteile aus Siliziumkarbid mit hoher Korrosionsbeständigkeit für Halbleiteranwendungen in 200 mm/300 mm HDPCVD-Kuppeln

Name: Keramische Bauteile aus Siliziumkarbid mit hoher Korrosionsbeständigkeit für Halbleiteranwendungen in 200 mm/300 mm HDPCVD-Kuppeln
Brand: Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
Availability: InStock

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China Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd zertifizierungen

Kunden-Berichte

NGK schätzt unsere langjährige Partnerschaft mit Shaanxi Kegu. Ihre SSiC-Keramiken zeichnen sich durch Qualität und Innovation aus und treiben unseren gemeinsamen Erfolg voran. Auf weiterhin gute Zusammenarbeit!

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Bei Huike sind wir stolz auf unsere langjährige Partnerschaft mit der Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., eine Zusammenarbeit, die auf Vertrauen, Innovation und gemeinsamer Exzellenz basiert.Ihre Expertise in SSiC-Keramik und zuverlässige Lösungen haben unsere Projekte konsequent unterstützt.

—— Suzhou Huike Technology Co.,Ltd.

Wir bei Keda schätzen unsere langjährige Partnerschaft mit Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. sehr. Ihre hochwertigen SSiC-Keramik-Lösungen sind ein wesentlicher Bestandteil unserer Projekte und wir freuen uns auf die weitere Zusammenarbeit und den gemeinsamen Erfolg.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

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Keramische Bauteile aus Siliziumkarbid mit hoher Korrosionsbeständigkeit für Halbleiteranwendungen in 200 mm/300 mm HDPCVD-Kuppeln

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

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Produktdetails:

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Keramische Bauteile aus Siliziumkarbid mit hoher Korrosionsbeständigkeit für Halbleiteranwendungen in 200 mm/300 mm HDPCVD-Kuppeln

Beschreibung

Verwendung:	Branchennutzung	Chemische Zusammensetzung:	Al2O3, SiO2
Sic-Inhalt:	85 %	maximale Temperatur:	1600 ℃
Eigenschaften:	Hohe Verschleißfestigkeit	Wärmeleitkoeffizient:	4,0-4,5 × 10^-6 /K
Materialzusammensetzung:	4 % Si > 96 % Si	Arbeitstemperatur:	1650
Vorteil:	Verschleiß- und Abriebfestigkeit	Reinheit:	98 %
Material:	Siliziumkarbid-Keramik	Säure-alkalisch beständig:	Exzellent
Löslichkeit:	Unlöslich	Offene Porosität:	<0,1 %
Biegefestigkeit:	350 bis 550 MPa
Hervorheben:	Hochkorrosionsbeständige Siliziumkarbid-Keramikkomponenten , Halbleiteranwendungen HDPCVD-Dom , 200mm/300mm Konfigurationen Industrielle Keramikteile

Hochkorrosionsbeständige keramische Industrieteile: HDPCVD Kuppeln und Komponenten

Erweiterte keramische Lösungen für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen
Unsere leistungsstarken keramischen Industriekomponenten sind für extreme Umgebungen in der Halbleiterherstellung entwickelt, einschließlich HDPCVD (High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition).Erhältlich in mehreren Materialvarianten, um spezifische thermische Anforderungen zu erfüllen, mechanische und korrosionsbeständige Anforderungen.

HDPCVD Kuppelprodukte

Verfügbare Typen und Spezifikationen:

Standard-HDP-Kuppel: 200 mm / 300 mm Konfigurationen
SpeedDome: Optimiert für Prozesse mit hohem Durchsatz
DPS-Kuppel: Erweiterte Plasmawiderstandskonzepte
Gebräuchliche Rauheit: Oberflächenveredelung der inneren Kontur von Ra 0,5 bis Ra 5.3
Wesentliche Vorteile: Verhindert Filmverlust, minimiert Partikelkontamination, kompatibel mit verschiedenen Prozessanforderungen

Leitfaden zur Auswahl des Materials

Eigentum	Aluminiumoxid (Al2O3)	Aluminiumnitrid (AlN)	Zirkonium (ZrO2)	Siliziumkarbid (SiC)	Saphir (einheitlicher Kristall Al2O3)
Dichte (g/cm3)	3.9	3.3	6.0	3.21	3.97
Härte (GPa)	14 bis 17	10-12 Jahre	13	27 bis 28	22.5
Elastizitätsmodul (GPa)	350 bis 400	300 bis 350	200 bis 250	420 bis 470	440 bis 690
*Bruchfestigkeit (MPam1/2)**	3-4 Jahre	2.8-3.3	10 bis 11	3.5 bis 3.6	2.6
*Wärmeleitfähigkeit (W/mK)**	28 bis 32	180 bis 200	2-3	160 bis 200	40
Wärmeschlagfestigkeit	200 bis 280°C	Ausgezeichnet.	300°C	Ausgezeichnet.	800°C
Dielektrische Konstante (1MHz)	9.8	8.5-9	30 bis 33	Leitung	9.3
*Volumenwiderstand (Ωcm)**	>1014	>1014	Einstellbar	Unterschiede	>1014

Wesentliche Materialvorteile

Aluminiumoxid (Al2O3)

Ausgezeichnete chemische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit
Hohe Härte und Verschleißfestigkeit
Ideal für Verschleißkomponenten, Isolationssubstrate, korrosionsbeständige Behälter

Aluminiumnitrid (AlN)

Überlegene Wärmeleitfähigkeit für die Wärmeableitung
Ausgezeichnete elektrische Dämmungseigenschaften
Perfekt für elektronische Wärmeabnehmer, Verpackung von Hochleistungsgeräten

Zirkonium (ZrO2)

Außergewöhnliche Bruchfestigkeit
Mechanismus zur Transformationshärtung
mit einer Breite von nicht mehr als 20 mm

Siliziumkarbid (SiC)

Extreme Härte und Wärmeleitfähigkeit
Ausgezeichnet für ballistische Rüstungen, Hochtemperaturlager, Halbleiterkomponenten

Saphir (einheitlicher Kristall Al2O3)

Optische Transparenz in Verbindung mit hoher Härte
Überlegene Wärmeschlagfestigkeit
Ideal für spezialisierte optische Anwendungen und für extreme Umgebungen

Leistungsmerkmale

Überlegene Korrosionsbeständigkeit: Widerstandsfähig gegen aggressive chemische Umgebungen bei der Halbleiterverarbeitung
Minimale Partikelentstehung: Technische Oberflächen verringern die Verunreinigung in Reinräumen
Anpassungsfähige Oberflächeigenschaften: Maßgeschneiderte Rauheit und Veredelung für spezifische Prozessanforderungen
Wärmestabilität: Beibehalten der Dimensionsintegrität bei schnellen Wärmezyklen
Elektrische Isolierung: hervorragende dielektrische Eigenschaften für Plasmaanwendungen

Anwendungen

Halbleiterverarbeitung: HDPCVD-Kammern, Ätzungskomponenten, Plasmaumgebungen
Elektronische Verpackungen: Wärmeverbreiter, Isoliersubstrate
Industrielle Komponenten: Verschleißbeständige Teile, korrosionsbeständige Behälter
Fortgeschrittene Forschung: Spezialisierte Laborgeräte, optische Komponenten

Größe und Tag:

Ansprechpartner: Ms. Yuki

Telefon: 8615517781293

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