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200mm/300mm HDPCVD 돔의 반도체 응용용 고성질 실리콘 탄화물 세라믹 부품

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중국 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd 인증
중국 Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd 인증
고객 검토
NGK는 산시 케구와의 오랜 파트너십을 소중히 여기고 있습니다. 그들의 SSiC 세라믹은 품질과 혁신에 탁월하며, 우리의 상호 성공을 이끌고 있습니다.

—— NGK 열 기술 회사

후이커는 신뢰, 혁신, 그리고 공동의 우수성을 바탕으로 하는 산시 커구 신소재 기술 유한 회사와의 오랜 파트너십에 자부심을 느낍니다. SSiC 세라믹에 대한 그들의 전문 지식과 안정적인 솔루션은 지속적으로 저희 프로젝트를 지원해 왔습니다.

—— 쑤저우 후이커 기술 유한 회사

케다에서 우리는 산시 케구 신소재 기술 회사와 오랜 파트너십을 매우 높이 평가합니다.그들의 고품질의 SSiC 세라믹 솔루션은 우리의 프로젝트에 필수 요소였습니다. 우리는 지속적인 협업과 공동의 성공을 기대합니다..

—— 케다 산업 그룹 (Keda Industrial Group Co.,Ltd)

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200mm/300mm HDPCVD 돔의 반도체 응용용 고성질 실리콘 탄화물 세라믹 부품

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes
High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

큰 이미지 :  200mm/300mm HDPCVD 돔의 반도체 응용용 고성질 실리콘 탄화물 세라믹 부품

제품 상세 정보:
접촉

200mm/300mm HDPCVD 돔의 반도체 응용용 고성질 실리콘 탄화물 세라믹 부품

설명
강조하다:

고내식성 탄화규소 세라믹 부품

,

반도체 응용 분야 HDPCVD 돔

,

200mm/300mm 구성 산업용 세라믹 부품

고성질 산업용 세라믹 부품: HDPCVD 돔 및 부품
까다로운 반도체 애플리케이션을 위한 첨단 세라믹 솔루션
우리의 고성능 산업용 세라믹 부품은 HDPCVD (고밀도 플라즈마 화학 증기 퇴적) 프로세스를 포함한 반도체 제조에서 극단적인 환경에 설계되었습니다.특정 열을 충족하기 위해 여러 가지 재료 옵션으로 제공됩니다., 기계적, 그리고 경화 저항 요구 사항
HDPCVD 돔 제품
사용 가능한 유형 및 사양:
  • 표준 HDP 돔: 200mm / 300mm 구성
  • 스피드돔: 높은 처리량 프로세스에 최적화
  • DPS 돔: 향상 된 플라즈마 저항 설계
  • 맞춤형 거칠성: Ra 0.5에서 Ra 5까지의 내부 윤곽 표면 마감3
  • 주요 이점: 필름 분출을 방지하고 입자 오염을 최소화하며 다양한 공정 요구 사항에 호환됩니다.
재료 선택 가이드
재산 알루미나 (Al2O3) 알루미늄 나이트라이드 (AlN) 지르코니아 (ZrO2) 실리콘 카비드 (SiC) 사피르 (일체 결정 Al2O3)
밀도 (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
강도 (GPa) 14-17 10-12 13 27-28 22.5
탄력 모듈 (GPa) 350-400 300~350 200~250 420~470 440-690
분쇄 강도 (MPa*m1/2) 3~4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
열전도 (W/m*K) 28 ~ 32 180~200 2-3 160~200 40
열 충격 저항성 200~280°C 훌륭해요 300°C 훌륭해요 800°C
다이렉트릭 상수 (1MHz) 9.8 8.5-9 30~33 전도 9.3
부피 저항성 (Ω*cm) >1014 >1014 조정 가능 다양하다 >1014
주요 물질 이점
알루미나 (Al2O3)
  • 우수한 화학적 안정성 및 부식 저항성
  • 높은 강도와 마모 저항성
  • 마모 부품, 단열 기판, 부식 저항 용기
알루미늄 나이트라이드 (AlN)
  • 열분해에 대한 우수한 열전도성
  • 우수한 전기 단열 특성
  • 전자 히트 싱크, 고전력 장치 패키지
지르코니아 (ZrO2)
  • 특별한 골절 강도
  • 변환 경화 메커니즘
  • 절단 도구, 산소 센서, 연료전지
실리콘 카비드 (SiC)
  • 극심한 경직성 및 열전도성
  • 탄도 장갑, 고온 베어링, 반도체 부품
사피르 (일체 결정 Al2O3)
  • 광학 투명성과 높은 경직성
  • 열 충격 저항성
  • 특수 광학 및 극한 환경 응용 프로그램에 이상적입니다.
성능 특징
  • 우수한 부식 저항성: 반도체 처리에서 공격적인 화학 환경에 견딜 수 있습니다.
  • 최소 입자 생성: 엔지니어링 된 표면 은 청정실 환경 에서 오염 을 감소 시킨다
  • 사용자 정의 가능한 표면 특성: 특정 공정 요구 사항을 충족시키기 위해 맞춤형 거칠성 및 마무리
  • 열 안정성: 급속한 열순환에서 차원의 무결성을 유지합니다.
  • 전기 단열: 플라즈마 용 용품에 대한 우수한 변압성 특성
신청서
  • 반도체 처리: HDPCVD 챔버, 에치 컴포넌트, 플라즈마 환경
  • 전자 포장: 열 분산기, 단열 기판
  • 산업용 부품: 마모 저항 부품, 부식 저항 용기
  • 첨단 연구: 전문 연구소 장비, 광학 부품

태그:

탄화규소계 세라믹스,

압력 없는 합금 SIC,

원문대로 도자기류

연락처 세부 사항
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

담당자: Ms. Yuki

전화 번호: 8615517781293

회사에 직접 문의 보내기 (0 / 3000)

약

실리콘카바이드 세라믹

반도체 제조용 1650°C 최대 서비스 온도 및 3800MPa 굴절 강도 높은 온도 내성 SiC 포크

맞춤형 무압 소결 SiC 롤러 1650°C 내열 롤러 하스 가마용

반응 결합 실리콘 탄화물

1 380°C 최대 서비스 온도와 250MPa 굴절 강도와 함께 고온 산업 냉각용 반응 합성 실리콘 탄화탄 공기 냉각 튜브

산업용 오븐용 열 충격 및 염화 저항성 높은 온도 안정성 SiC 연장기

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