200mm/300mm HDPCVD 돔의 반도체 응용용 고성질 실리콘 탄화물 세라믹 부품
기본 특성
원산지:
중국
브랜드 이름:
KEGU
모델 번호:
맞춤형
부동산 거래
최소 주문 수량:
협상 가능
가격:
협상 가능
지불 조건:
L/C,D/A,D/P,T/T,웨스턴 유니온,MoneyGram
제품 요약
고성질 산업용 세라믹 부품: HDPCVD 돔 및 부품 까다로운 반도체 애플리케이션을 위한 첨단 세라믹 솔루션우리의 고성능 산업용 세라믹 부품은 HDPCVD (고밀도 플라즈마 화학 증기 퇴적) 프로세스를 포함한 반도체 제조에서 극단적인 환경에 설계되었습니다.특정 열을 충족하기 위해 여러 가지 재료 옵션으로 제공됩니다., 기계적, 그리고 경화 저항 요구 사항 HDPCVD 돔 제품 사용 가능한 유형 및 사양: 표준 HDP 돔: 200mm / 300mm 구성 스피드돔: 높은 처리량 프로세스에 최적화 DPS 돔: 향상 된 플라즈마 저항 설계 ...
제품 상세정보
강조하다:
고내식성 탄화규소 세라믹 부품
,반도체 응용 분야 HDPCVD 돔
,200mm/300mm 구성 산업용 세라믹 부품
Usage:
산업 사용
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
높은 내마모성
Thermal Expansion Coefficient:
4.0-4.5 × 10^-6 /K
Material Composition:
4%Si >96%Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
마모 및 마모 저항
Purity:
98%
Material:
실리콘카바이드 세라믹
Acid Alkaline Proof:
훌륭한
Solubility:
불용성
Open Porosity:
<0.1%
Flexural Strength:
350~550MPa
제품 설명
고성질 산업용 세라믹 부품: HDPCVD 돔 및 부품
까다로운 반도체 애플리케이션을 위한 첨단 세라믹 솔루션
우리의 고성능 산업용 세라믹 부품은 HDPCVD (고밀도 플라즈마 화학 증기 퇴적) 프로세스를 포함한 반도체 제조에서 극단적인 환경에 설계되었습니다.특정 열을 충족하기 위해 여러 가지 재료 옵션으로 제공됩니다., 기계적, 그리고 경화 저항 요구 사항
우리의 고성능 산업용 세라믹 부품은 HDPCVD (고밀도 플라즈마 화학 증기 퇴적) 프로세스를 포함한 반도체 제조에서 극단적인 환경에 설계되었습니다.특정 열을 충족하기 위해 여러 가지 재료 옵션으로 제공됩니다., 기계적, 그리고 경화 저항 요구 사항
HDPCVD 돔 제품
사용 가능한 유형 및 사양:
- 표준 HDP 돔: 200mm / 300mm 구성
- 스피드돔: 높은 처리량 프로세스에 최적화
- DPS 돔: 향상 된 플라즈마 저항 설계
- 맞춤형 거칠성: Ra 0.5에서 Ra 5까지의 내부 윤곽 표면 마감3
- 주요 이점: 필름 분출을 방지하고 입자 오염을 최소화하며 다양한 공정 요구 사항에 호환됩니다.
재료 선택 가이드
| 재산 | 알루미나 (Al2O3) | 알루미늄 나이트라이드 (AlN) | 지르코니아 (ZrO2) | 실리콘 카비드 (SiC) | 사피르 (일체 결정 Al2O3) |
|---|---|---|---|---|---|
| 밀도 (g/cm3) | 3.9 | 3.3 | 6.0 | 3.21 | 3.97 |
| 강도 (GPa) | 14-17 | 10-12 | 13 | 27-28 | 22.5 |
| 탄력 모듈 (GPa) | 350-400 | 300~350 | 200~250 | 420~470 | 440-690 |
| 분쇄 강도 (MPa*m1/2) | 3~4 | 2.8-3.3 | 10-11 | 3.5-3.6 | 2.6 |
| 열전도 (W/m*K) | 28 ~ 32 | 180~200 | 2-3 | 160~200 | 40 |
| 열 충격 저항성 | 200~280°C | 훌륭해요 | 300°C | 훌륭해요 | 800°C |
| 다이렉트릭 상수 (1MHz) | 9.8 | 8.5-9 | 30~33 | 전도 | 9.3 |
| 부피 저항성 (Ω*cm) | >1014 | >1014 | 조정 가능 | 다양하다 | >1014 |
주요 물질 이점
알루미나 (Al2O3)
- 우수한 화학적 안정성 및 부식 저항성
- 높은 강도와 마모 저항성
- 마모 부품, 단열 기판, 부식 저항 용기
알루미늄 나이트라이드 (AlN)
- 열분해에 대한 우수한 열전도성
- 우수한 전기 단열 특성
- 전자 히트 싱크, 고전력 장치 패키지
지르코니아 (ZrO2)
- 특별한 골절 강도
- 변환 경화 메커니즘
- 절단 도구, 산소 센서, 연료전지
실리콘 카비드 (SiC)
- 극심한 경직성 및 열전도성
- 탄도 장갑, 고온 베어링, 반도체 부품
사피르 (일체 결정 Al2O3)
- 광학 투명성과 높은 경직성
- 열 충격 저항성
- 특수 광학 및 극한 환경 응용 프로그램에 이상적입니다.
성능 특징
- 우수한 부식 저항성: 반도체 처리에서 공격적인 화학 환경에 견딜 수 있습니다.
- 최소 입자 생성: 엔지니어링 된 표면 은 청정실 환경 에서 오염 을 감소 시킨다
- 사용자 정의 가능한 표면 특성: 특정 공정 요구 사항을 충족시키기 위해 맞춤형 거칠성 및 마무리
- 열 안정성: 급속한 열순환에서 차원의 무결성을 유지합니다.
- 전기 단열: 플라즈마 용 용품에 대한 우수한 변압성 특성
신청서
- 반도체 처리: HDPCVD 챔버, 에치 컴포넌트, 플라즈마 환경
- 전자 포장: 열 분산기, 단열 기판
- 산업용 부품: 마모 저항 부품, 부식 저항 용기
- 첨단 연구: 전문 연구소 장비, 광학 부품
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- 이메일: scarlett.s@kegugroup.com
- Tel: 8616602956098
- 왓츠앱: 8613390790728
-
웨이 채팅:
Scarlettseren533
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