Composants céramiques au carbure de silicium à haute résistance à la corrosion pour les applications de semi-conducteurs dans des dômes HDPCVD de 200 mm/300 mm
Propriétés de base
Lieu d'origine:
Chine
Nom de la marque:
KEGU
Numéro de modèle:
Personnalisable
Propriétés commerciales
Quantité minimum de commande:
Négociable
Prix:
Négociable
Conditions de paiement:
LC, D/A, D/P, T/T, Western Union, MoneyGram
Résumé du produit
Parties céramiques industrielles à haute résistance à la corrosion: dômes et composants HDPCVD Solutions céramiques avancées pour des applications de semi-conducteurs exigeantesNos composants céramiques industriels de haute performance sont conçus pour des environnements extrêmes dans la fabrication ...
Détails de produit
Mettre en évidence:
Composants en céramique de carbure de silicium à haute résistance à la corrosion
,Dôme HDPCVD pour applications semi-conductrices
,Pièces céramiques industrielles pour configurations 200mm/300mm
Usage:
Utilisation de l'industrie
Chemical Composition:
Al2O3, SiO2
Sic Content:
85%
Maximum Temperature:
1600 ℃
Characteristics:
Haute résistance à l'usure
Thermal Expansion Coefficient:
4,0-4,5 × 10^-6 /K
Material Composition:
4%Si >96%Sic
Working Temperature:
1650
Advantage:
Résistance à l'usure et à l'abrasion
Purity:
98%
Material:
céramique au carbure de silicium
Acid Alkaline Proof:
Excellent
Solubility:
Insoluble
Open Porosity:
<0,1%
Flexural Strength:
350 à 550 MPa
Description de produit
Parties céramiques industrielles à haute résistance à la corrosion: dômes et composants HDPCVD
Solutions céramiques avancées pour des applications de semi-conducteurs exigeantes
Nos composants céramiques industriels de haute performance sont conçus pour des environnements extrêmes dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris les processus de dépôt de vapeur chimique de plasma à haute densité (HDPCVD).Disponible en plusieurs options de matériaux pour répondre à des besoins thermiques spécifiques, les exigences mécaniques et de résistance à la corrosion.
Nos composants céramiques industriels de haute performance sont conçus pour des environnements extrêmes dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris les processus de dépôt de vapeur chimique de plasma à haute densité (HDPCVD).Disponible en plusieurs options de matériaux pour répondre à des besoins thermiques spécifiques, les exigences mécaniques et de résistance à la corrosion.
Produits à base de dôme HDPCVD
Types et spécifications disponibles:
- Dôme HDP standard: configurations de 200 mm / 300 mm
- Le SpeedDomeOptimisé pour les processus à haut débit
- Le dôme DPS: Conception améliorée de la résistance au plasma
- Roughness personnalisée: Finition de surface du contour intérieur de Ra 0,5 à Ra 5.3
- Les principaux avantages: prévient la perte de film, minimise la contamination par les particules, est compatible avec les différentes exigences du procédé
Guide de sélection des matériaux
| Les biens immobiliers | Alumine (Al2O3) | Nitrure d'aluminium (AlN) | Zirconium (ZrO2) | Carbure de silicium (SiC) | Saphir (Al2O3) à cristal unique |
|---|---|---|---|---|---|
| Densité (g/cm3) | 3.9 | 3.3 | 6.0 | 3.21 | 3.97 |
| Dureté (GPa) | 14 à 17 | 10 à 12 | 13 | 27 à 28 | 22.5 |
| Module élastique (GPa) | 350 à 400 | 300 à 350 | 200 à 250 | 420 à 470 | 440 à 690 |
| Résistance à la fracture (MPa*m1/2) | 3 à 4 | 2.8 à 3.3 | 10 à 11 | 3.5 à 3.6 | 2.6 |
| Conductivité thermique (W/m*K) | 28 à 32 | 180 à 200 | 2 à 3 | 160 à 200 | 40 |
| Résistance aux chocs thermiques | 200 à 280°C | C' est excellent. | 300°C | C' est excellent. | 800°C |
| Constante diélectrique (1MHz) | 9.8 | 8.5 à 9 | 30 à 33 | Conducteur électrique | 9.3 |
| Résistance au volume (Ω*cm) | > 1014 | > 1014 | Réglable | Varié | > 1014 |
Principaux avantages matériels
Alumine (Al2O3)
- Excellente stabilité chimique et résistance à la corrosion
- Haute dureté et résistance à l'usure
- Idéal pour les composants d'usure, les substrats isolants, les récipients résistants à la corrosion
Nitrure d'aluminium (AlN)
- Conductivité thermique supérieure pour la dissipation de chaleur
- Excellentes propriétés d'isolation électrique
- Parfait pour les dissipateurs de chaleur électroniques, l'emballage des appareils à haute puissance
Zirconium (ZrO2)
- Résistance exceptionnelle à la fracture
- Mécanisme de durcissement par transformation
- Appareils pour la découpe, les capteurs d'oxygène, les piles à combustible
Carbure de silicium (SiC)
- Dureté extrême et conductivité thermique
- Excellent pour l'armure balistique, les roulements à haute température, les composants de semi-conducteurs
Saphir (Al2O3) à cristal unique
- Transparence optique combinée à une dureté élevée
- Résistance aux chocs thermiques supérieure
- Idéal pour les applications optiques spécialisées et en milieu extrême
Caractéristiques de performance
- Résistance supérieure à la corrosion: résiste à des environnements chimiques agressifs dans le traitement des semi-conducteurs
- Génération minimale de particules: Les surfaces modifiées réduisent la contamination dans les salles blanches
- Propriétés de surface personnalisables: Roughness et finition adaptées aux exigences spécifiques du procédé
- Stabilité thermique: Maintient l'intégrité dimensionnelle en cas de cycle thermique rapide
- Isolement électrique: Excellentes propriétés diélectriques pour les applications au plasma
Applications
- Traitement des semi-conducteurs: chambres HDPCVD, composants de gravure, environnements plasma
- Emballage électronique: diffuseurs de chaleur, substrats isolants
- Composants industriels: pièces résistantes à l'usure, récipients résistants à la corrosion
- Recherche avancée: équipements de laboratoire spécialisés, composants optiques
Miss. Scarlett.S
Deputy Head of Foreign Trade Department
- Email: scarlett.s@kegugroup.com
- Téléphone: 8616602956098
- Je suis désolé.: 8613390790728
-
Wechat:
Scarlettseren533
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