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Aperçu Produitscéramique au carbure de silicium

Composants céramiques au carbure de silicium à haute résistance à la corrosion pour les applications de semi-conducteurs dans des dômes HDPCVD de 200 mm/300 mm

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céramique au carbure de silicium

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Certificat
Chine Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certifications
Chine Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd certifications
Examens de client
NGK apprécie son partenariat de longue date avec Shaanxi Kegu. Leurs céramiques SSiC excellent en qualité et en innovation, ce qui favorise notre succès mutuel. Continuons à collaborer !

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Chez Huike, nous sommes fiers de notre partenariat de longue date avec Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., une collaboration basée sur la confiance, l'innovation et l'excellence partagée.Leur expertise en céramique SSiC et leurs solutions fiables ont toujours soutenu nos projets.

—— La société Suzhou Huike Technology Co., Ltd. est une société de technologie

Chez Keda, nous apprécions grandement notre partenariat de longue date avec la société Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd.Leurs solutions de céramique SSiC de haute qualité ont été intégrées à nos projets et nous attendons avec impatience une collaboration continue et un succès partagé..

—— Le groupe Keda Industrial Group Co., Ltd.

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Composants céramiques au carbure de silicium à haute résistance à la corrosion pour les applications de semi-conducteurs dans des dômes HDPCVD de 200 mm/300 mm

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes
High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

Image Grand :  Composants céramiques au carbure de silicium à haute résistance à la corrosion pour les applications de semi-conducteurs dans des dômes HDPCVD de 200 mm/300 mm

Détails sur le produit:
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Composants céramiques au carbure de silicium à haute résistance à la corrosion pour les applications de semi-conducteurs dans des dômes HDPCVD de 200 mm/300 mm

description de
Usage: Utilisation de l'industrie Composition chimique: Al2O3, SiO2
Contenu: 85% température maximale: 1600 ℃
Caractéristiques: Haute résistance à l'usure Coefficient de dilatation thermique: 4,0-4,5 × 10^-6 /K
Composition du matériau: 4%Si >96%Sic Température de fonctionnement: 1650
Avantage: Résistance à l'usure et à l'abrasion Pureté: 98%
Matériel: céramique au carbure de silicium Preuve acide alcaline: Excellent
Solubilité: Insoluble Porosité ouverte: <0,1%
Résistance à la flexion: 350 à 550 MPa
Mettre en évidence:

Composants en céramique de carbure de silicium à haute résistance à la corrosion

,

Dôme HDPCVD pour applications semi-conductrices

,

Pièces céramiques industrielles pour configurations 200mm/300mm

Parties céramiques industrielles à haute résistance à la corrosion: dômes et composants HDPCVD
Solutions céramiques avancées pour des applications de semi-conducteurs exigeantes
Nos composants céramiques industriels de haute performance sont conçus pour des environnements extrêmes dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris les processus de dépôt de vapeur chimique de plasma à haute densité (HDPCVD).Disponible en plusieurs options de matériaux pour répondre à des besoins thermiques spécifiques, les exigences mécaniques et de résistance à la corrosion.
Produits à base de dôme HDPCVD
Types et spécifications disponibles:
  • Dôme HDP standard: configurations de 200 mm / 300 mm
  • Le SpeedDomeOptimisé pour les processus à haut débit
  • Le dôme DPS: Conception améliorée de la résistance au plasma
  • Roughness personnalisée: Finition de surface du contour intérieur de Ra 0,5 à Ra 5.3
  • Les principaux avantages: prévient la perte de film, minimise la contamination par les particules, est compatible avec les différentes exigences du procédé
Guide de sélection des matériaux
Les biens immobiliers Alumine (Al2O3) Nitrure d'aluminium (AlN) Zirconium (ZrO2) Carbure de silicium (SiC) Saphir (Al2O3) à cristal unique
Densité (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Dureté (GPa) 14 à 17 10 à 12 13 27 à 28 22.5
Module élastique (GPa) 350 à 400 300 à 350 200 à 250 420 à 470 440 à 690
Résistance à la fracture (MPa*m1/2) 3 à 4 2.8 à 3.3 10 à 11 3.5 à 3.6 2.6
Conductivité thermique (W/m*K) 28 à 32 180 à 200 2 à 3 160 à 200 40
Résistance aux chocs thermiques 200 à 280°C C' est excellent. 300°C C' est excellent. 800°C
Constante diélectrique (1MHz) 9.8 8.5 à 9 30 à 33 Conducteur électrique 9.3
Résistance au volume (Ω*cm) > 1014 > 1014 Réglable Varié > 1014
Principaux avantages matériels
Alumine (Al2O3)
  • Excellente stabilité chimique et résistance à la corrosion
  • Haute dureté et résistance à l'usure
  • Idéal pour les composants d'usure, les substrats isolants, les récipients résistants à la corrosion
Nitrure d'aluminium (AlN)
  • Conductivité thermique supérieure pour la dissipation de chaleur
  • Excellentes propriétés d'isolation électrique
  • Parfait pour les dissipateurs de chaleur électroniques, l'emballage des appareils à haute puissance
Zirconium (ZrO2)
  • Résistance exceptionnelle à la fracture
  • Mécanisme de durcissement par transformation
  • Appareils pour la découpe, les capteurs d'oxygène, les piles à combustible
Carbure de silicium (SiC)
  • Dureté extrême et conductivité thermique
  • Excellent pour l'armure balistique, les roulements à haute température, les composants de semi-conducteurs
Saphir (Al2O3) à cristal unique
  • Transparence optique combinée à une dureté élevée
  • Résistance aux chocs thermiques supérieure
  • Idéal pour les applications optiques spécialisées et en milieu extrême
Caractéristiques de performance
  • Résistance supérieure à la corrosion: résiste à des environnements chimiques agressifs dans le traitement des semi-conducteurs
  • Génération minimale de particules: Les surfaces modifiées réduisent la contamination dans les salles blanches
  • Propriétés de surface personnalisables: Roughness et finition adaptées aux exigences spécifiques du procédé
  • Stabilité thermique: Maintient l'intégrité dimensionnelle en cas de cycle thermique rapide
  • Isolement électrique: Excellentes propriétés diélectriques pour les applications au plasma
Applications
  • Traitement des semi-conducteurs: chambres HDPCVD, composants de gravure, environnements plasma
  • Emballage électronique: diffuseurs de chaleur, substrats isolants
  • Composants industriels: pièces résistantes à l'usure, récipients résistants à la corrosion
  • Recherche avancée: équipements de laboratoire spécialisés, composants optiques

Produit Tag:

Céramique au carbure de silicium,

SIC fritté sans pression,

Sic céramique

Coordonnées
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Personne à contacter: Ms. Yuki

Téléphone: 8615517781293

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À propos

céramique au carbure de silicium

fourches SiC résistantes aux températures élevées avec température maximale de service de 1650 °C et résistance à la flexion de 3800 MPa pour la fabrication de semi-conducteurs

Ruloir SiC sintré sans pression 1650°C résistant à la chaleur pour les fours à rouleaux

Carbure de silicium lié par réaction

Tubes de refroidissement à air de carbure de silicium sintré par réaction pour le refroidissement industriel à haute température, à température maximale de service de 1380 °C et résistance à la flexion de 250 MPa

Brûleur à SiC stable à haute température, résistant aux chocs thermiques et à la corrosion pour fours industriels

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