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Componentes cerâmicos de carburo de silício de alta resistência à corrosão para aplicações de semicondutores em cupos HDPCVD de 200 mm/300 mm

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China Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Certificações
China Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Certificações
Revisões do cliente
NGK valoriza a nossa parceria de longa data com Shaanxi Kegu. As suas cerâmicas SSiC se destacam em qualidade e inovação, impulsionando o nosso sucesso mútuo.

—— NGK Thermal Technology Co.,Ltd

Na Huike, orgulhamo-nos da nossa longa parceria com a Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., uma colaboração enraizada na confiança, inovação e excelência partilhada. A sua experiência em cerâmica SSiC e soluções confiáveis têm consistentemente apoiado os nossos projetos.

—— SuzhouHuike Technology Co.,Ltd

Nós, da Keda, apreciamos muito nossa longa parceria com a Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. Suas soluções cerâmicas SSiC de alta qualidade têm sido parte integrante de nossos projetos e esperamos uma colaboração contínua e sucesso compartilhado.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

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Componentes cerâmicos de carburo de silício de alta resistência à corrosão para aplicações de semicondutores em cupos HDPCVD de 200 mm/300 mm

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes
High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

Imagem Grande :  Componentes cerâmicos de carburo de silício de alta resistência à corrosão para aplicações de semicondutores em cupos HDPCVD de 200 mm/300 mm

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Componentes cerâmicos de carburo de silício de alta resistência à corrosão para aplicações de semicondutores em cupos HDPCVD de 200 mm/300 mm

descrição
Destacar:

Componentes Cerâmicos de Carbeto de Silício com Alta Resistência à Corrosão

,

Cúpula HDPCVD para Aplicações em Semicondutores

,

Peças Cerâmicas Industriais em Configurações de 200mm/300mm

Partes cerâmicas industriais de alta resistência à corrosão: cúpulas e componentes HDPCVD
Soluções cerâmicas avançadas para aplicações de semicondutores exigentes
Os nossos componentes cerâmicos industriais de alto desempenho são projetados para ambientes extremos na fabricação de semicondutores, incluindo processos de deposição de vapor químico de plasma de alta densidade (HDPCVD).Disponível em múltiplas opções de materiais para atender às temperaturas específicas, requisitos de resistência mecânica e à corrosão.
Produtos de cúpula HDPCVD
Tipos e especificações disponíveis:
  • Domo HDP padrão: configurações de 200 mm / 300 mm
  • SpeedDome: Otimizado para processos de alta produtividade
  • DPS Dome: Projetos de resistência ao plasma melhorados
  • Roughness por encomenda: acabamento da superfície do contorno interno de Ra 0,5 a Ra 5.3
  • Principais benefícios: Previne o derramamento de filme, minimiza a contaminação por partículas, é compatível com vários requisitos de processo
Guia de selecção de material
Imóveis Alumínio (Al2O3) Nitreto de alumínio (AlN) Circónio (ZrO2) Carbono de silício (SiC) Safira (Al2O3)
Densidade (g/cm3) 3.9 3.3 6.0 3.21 3.97
Dureza (GPa) 14 a 17 10 a 12 13 27 a 28 22.5
Modulo elástico (GPa) 350 a 400 300 a 350 200 a 250 420 a 470 440 a 690
Resistência à fractura (MPa*m1/2) 3 a 4 2.8-3.3 10-11 3.5-3.6 2.6
Conductividade térmica (W/m*K) 28 a 32 180-200 2 a 3 160-200 40
Resistência a choques térmicos 200-280°C Excelente. 300°C Excelente. 800°C
Constante dielétrica (1MHz) 9.8 8.5-9 30 a 33 Condutor 9.3
Resistividade por volume (Ω*cm) > 1014 > 1014 Ajustável Vários > 1014
Principais vantagens materiais
Alumínio (Al2O3)
  • Excelente estabilidade química e resistência à corrosão
  • Alta dureza e resistência ao desgaste
  • Ideal para componentes de desgaste, substratos isolantes, recipientes resistentes à corrosão
Nitreto de alumínio (AlN)
  • Conductividade térmica superior para dissipação de calor
  • Excelentes propriedades de isolamento elétrico
  • Perfeito para dissipadores de calor eletrônicos, embalagens de dispositivos de alta potência
Circónio (ZrO2)
  • Resistência à fractura excepcional
  • Mecanismo de endurecimento por transformação
  • Apto para ferramentas de corte, sensores de oxigénio, células de combustível
Carbono de silício (SiC)
  • Dureza extrema e condutividade térmica
  • Excelente para blindagem balística, rolamentos de alta temperatura, componentes de semicondutores
Safira (Al2O3)
  • Transparência óptica combinada com alta dureza
  • Resistência superior a choques térmicos
  • Ideal para aplicações ópticas especializadas e ambientes extremos
Características de desempenho
  • Resistência superior à corrosão: Resiste a ambientes químicos agressivos no processamento de semicondutores
  • Geração mínima de partículas: As superfícies de engenharia reduzem a contaminação nos ambientes de salas limpas
  • Propriedades de superfície personalizáveis: Especificação da rugosidade e do acabamento para satisfazer os requisitos específicos do processo
  • Estabilidade térmica: Mantenha a integridade dimensional em ciclos térmicos rápidos
  • Isolamento elétrico: Excelentes propriedades dieléctricas para aplicações de plasma
Aplicações
  • Processamento de semicondutores: câmaras HDPCVD, componentes de gravação, ambientes de plasma
  • Embalagens eletrónicasDispersores de calor, substratos isolantes
  • Componentes industriais: Peças resistentes ao desgaste, recipientes resistentes à corrosão
  • Investigação Avançada: Equipamento de laboratório especializado, componentes ópticos

etiqueta:

Cerâmica de carburo de silício,

SIC sinterizado sem pressão,

Sic cerâmica

Contacto
Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd

Pessoa de Contato: Ms. Yuki

Telefone: 8615517781293

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Cerâmica de carburo de silício

Forcos de SiC resistentes a altas temperaturas com temperatura de serviço máxima de 1650°C e resistência flexural de 3800MPa para fabrico de semicondutores

Rolo de SiC sinterizado sem pressão personalizável 1650°C Resistente ao calor para fornos de fogão de rolos

Carbono de silício ligado por reação

Tubos de refrigeração a ar de carburo de silício sinterizado por reação para refrigeração industrial de alta temperatura, com temperatura de serviço máxima de 1380 °C e resistência flexural de 250 MPa

Quemador de SiC estável a altas temperaturas com resistência a choques térmicos e corrosão para fornos industriais

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