Главная страница Продукция керамика из карбида кремния

Высококоррозионностойкие компоненты из карбида кремния для полупроводниковых применений в куполах HDPCVD 200 мм/300 мм

Name: Высококоррозионностойкие компоненты из карбида кремния для полупроводниковых применений в куполах HDPCVD 200 мм/300 мм
Brand: Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd
Availability: InStock

Все продукты

керамика из карбида кремния
(30)

Карбид кремния, связанный реакцией
(12)

нагревающие элементы
(46)

Керамика из нитрида кремния
(11)

Керамика из оксида алюминия
(34)

керамика из оксида циркония
(2)

Азотистый бор керамический
(4)

керамический порошок
(5)

Сертификация

Китай Shaanxi KeGu New Material Technology Co., Ltd Сертификаты

Просмотрения клиента

NGK ценит наше давнее партнерство с Шэньси Кегу. Их керамика SSiC превосходит качество и инновации, что способствует нашему взаимному успеху.

—— NGK Thermal Technology Co., Ltd.

В Huike мы гордимся нашим давним партнерством с Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd., сотрудничеством, основанным на доверии, инновациях и совместном совершенстве.Их опыт в области керамики SSiC и надежные решения постоянно поддерживали наши проекты.

—— Suzhou Huike Technology Co., Ltd.

Мы, в Keda, высоко ценим наше долгосрочное партнерство с Shaanxi Kegu New Material Technology Co., Ltd. Их высококачественные керамические решения SSiC были неотъемлемой частью наших проектов, и мы рассчитываем на дальнейшее сотрудничество и общий успех.

—— Keda Industrial Group Co.,Ltd.

Оставьте нам сообщение

Высококоррозионностойкие компоненты из карбида кремния для полупроводниковых применений в куполах HDPCVD 200 мм/300 мм

High-Corrosion Resistance Silicon Carbide Ceramic Components for Semiconductor Applications in 200mm/300mm HDPCVD Domes

Большие изображения : Высококоррозионностойкие компоненты из карбида кремния для полупроводниковых применений в куполах HDPCVD 200 мм/300 мм

Подробная информация о продукте:

контакт

Высококоррозионностойкие компоненты из карбида кремния для полупроводниковых применений в куполах HDPCVD 200 мм/300 мм

описание

Выделить:

Высококоррозионностойкие керамические компоненты из карбида кремния

Применение в полупроводниках HDPCVD купол

Промышленные керамические детали для конфигураций 200 мм/300 мм

Промышленные керамические детали с высокой коррозионной стойкостью: купола и компоненты HDPCVD

Передовые керамические решения для требовательных полупроводниковых приложений
Наши высокопроизводительные промышленные керамические компоненты предназначены для экстремальных условий в производстве полупроводников, включая процессы HDPCVD (высокоплотное плазменное химическое отложение паров).Доступен в нескольких вариантах материалов для удовлетворения конкретных термических, механические и коррозионные требования.

Продукты из купола HDPCVD

Доступные типы и спецификации:

Стандартный купол HDPКонфигурации 200 / 300 мм
SpeedDome: Оптимизирован для высокопроизводительных процессов
Купол DPS: Усовершенствованные плазменные конструкции
Обычная грубость: Окончание поверхности внутреннего контура от Ra 0,5 до Ra 5.3
Основные преимущества: Предотвращает сброс пленки, минимизирует загрязнение частицами, совместим с различными требованиями процесса

Руководство по выбору материала

Недвижимость	Алюминий (Al2O3)	Нитрид алюминия (AlN)	Циркония (ZrO2)	Силиконовый карбид (SiC)	Сапфир (однокристаллический Al2O3)
Плотность (г/см3)	3.9	3.3	6.0	3.21	3.97
Твердость (GPa)	14-17	10-12	13	27-28	22.5
Эластичный модуль (GPa)	350 - 400	300-350	200-250	420 - 470	440 - 690
*Прочность на перелом (MPam1/2)**	3-4	2.8-3.3	10-11	3.5-3.6	2.6
*Теплопроводность (W/mK)**	28-32	180-200	2-3	160-200	40
Устойчивость к тепловым ударам	200-280°С	Отлично.	300°С	Отлично.	800°C
Диэлектрическая постоянная (1 МГц)	9.8	8.5-9	30-33	Проводящий	9.3
*Объемное сопротивление (Ωсм)**	>1014	>1014	Регулируемый	Различается	>1014

Основные материальные преимущества

Алюминий (Al2O3)

Отличная химическая устойчивость и коррозионная стойкость
Высокая твердость и износостойкость
Идеально подходит для износоустойчивых компонентов, изоляционных подложков, коррозионно устойчивых контейнеров

Нитрид алюминия (AlN)

Высокая теплопроводность для рассеивания тепла
Отличные электроизоляционные свойства
Идеально подходит для электронных теплоотводов, упаковки высокопроизводительных устройств

Циркония (ZrO2)

Исключительная прочность на перелом
Трансформационный механизм отверждения
Подходит для режущих инструментов, кислородных датчиков, топливных элементов

Силиконовый карбид (SiC)

Сверхтяжесть и теплопроводность
Отлично подходит для баллистической брони, подшипников высокой температуры, полупроводниковых компонентов.

Сапфир (однокристаллический Al2O3)

Оптическая прозрачность в сочетании с высокой твердостью
Высокая термостойкость
Идеально подходит для специализированных оптических и экстремальных приложений

Характеристики производительности

Высокая коррозионная устойчивость: выдерживает агрессивные химические среды в полупроводниковой обработке
Минимальная генерация частиц: Проектированные поверхности уменьшают загрязнение в чистых помещениях
Настраиваемые свойства поверхности: Специализированная шероховатость и отделка для удовлетворения конкретных требований процесса
Тепловая устойчивость: Сохраняет целостность измерений при быстром тепловом цикле
Электрическая изоляция: Отличные диэлектрические свойства для плазменных применений

Заявления

Обработка полупроводников: Камеры HDPCVD, компоненты нарезки, плазменные среды
Электронная упаковка: теплораспределяющие устройства, изоляционные подложки
Промышленные компоненты: износостойкие детали, коррозионностойкие контейнеры
Усовершенствованные исследования: Специализированное лабораторное оборудование, оптические компоненты

тег:

Контактное лицо: Ms. Yuki

Телефон: 8615517781293

Другие продукты